本实用新型专利技术公开了一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，属于机械设备技术领域，包括连接支架以及安装于连接支架内部的安装支板，所述安装支板内部顶端通过支架安装有直流电机，所述直流电机动力输出端连接有联轴器，所述联轴器动力输出端贯穿所述安装支板固定连接有驱动圆盘，所述驱动圆盘转动连接于所述安装支板顶面，所述安装支板顶面远离所述驱动圆盘一侧固定安装有滑轨，所述滑轨和所述驱动圆盘之间设置有用于润滑所述滑轨的润滑机构，所述滑轨顶面滑动连接有滑块；它可以实现简化传统结构的双导轨结构和凸轮轴承结构，可降低成本，同时降低凸轮轴承的更换频率和降低设备维护的时间，提高摇摆驱动机构的稳定性。提高摇摆驱动机构的稳定性。提高摇摆驱动机构的稳定性。
A new driving device for spray swing mechanism of etcher
【技术实现步骤摘要】
一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置
[0001]本技术涉及机械设备
，更具体地说，涉及一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置。
技术介绍
[0002]在薄膜晶体管液晶显示器(TFT
‑
LCD)生产行业中，在玻璃基板进行药液刻蚀工艺中，为了确保刻蚀的均一性，玻璃基板上部的喷嘴需要做摇摆往复运动，使刻蚀液能均匀喷洒在玻璃基板上，从而保证玻璃基板刻蚀的均一性。喷嘴做摇摆往复运动，工作原理是将电机的圆周运动，通过连杆转换成拉杆的直线往复运动，拉杆和喷淋管通过连接件进行连接，再将拉杆的直线往复运动转换成喷淋管的往复摇摆运动。
[0003]现有摇摆驱动机构是通过电机旋转带动圆盘旋转，在圆盘上距离旋转中心一定距离安装一个凸轮轴承，再有一个横梁安装在圆盘上方，横梁两端和直线导轨固定，在横梁的中间加工有一个长孔，凸轮轴承固定在长孔里面，这样当圆盘转动时，凸轮轴承会带着横梁前后往复移动，从而将电机的旋转运动转换成直线往复运动，存在以下缺陷：
[0004]1、摇摆驱动机构因为使用两个导轨，所需空间大，费用高。
[0005]2、圆盘上面的凸轮轴承在横梁中运动时，受力比较大，容易破损或者和横梁之间磨损比较严重，需要定期更换横梁和凸轮轴承。
技术实现思路
[0006]1.要解决的技术问题
[0007]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，它可以实现简化传统结构的双导轨结构和凸轮轴承结构，可降低成本，同时降低凸轮轴承的更换频率和降低设备维护的时间，提高摇摆驱动机构的稳定性。
[0008]2.技术方案
[0009]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0010]一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，包括连接支架以及安装于连接支架内部的安装支板，所述安装支板内部顶端通过支架安装有直流电机，所述直流电机动力输出端连接有联轴器，所述联轴器动力输出端贯穿所述安装支板固定连接有驱动圆盘，所述驱动圆盘转动连接于所述安装支板顶面，所述安装支板顶面远离所述驱动圆盘一侧固定安装有滑轨，所述滑轨和所述驱动圆盘之间设置有用于润滑所述滑轨的润滑机构，所述滑轨顶面滑动连接有滑块，所述滑块顶端固定安装有连接支座，所述连接支座顶面靠近所述驱动圆盘一端固定焊接有第一连接栓，所述第一连接栓与所述驱动圆盘之间通过设置有连杆机构传动连接，所述连杆机构其中一端转动连接于所述第一连接栓上，另一端通过设置有调节机构与所述驱动圆盘顶面一侧转动连接，所述连接支座侧面垂直焊接有连接轴，所述连接轴远离所述连接支座一端固定安装有转接头。
[0011]进一步的，所述调节机构包括开设于所述驱动圆盘顶面一侧的调节滑槽，所述调
节滑槽内部滑动嵌入有滑座，所述滑座顶端固定焊接有第二连接栓，所述调节滑槽内部贯穿所述滑座转动连接有调节丝杆，所述调节丝杆与所述滑座螺纹连接。
[0012]进一步的，所述调节丝杆其中一端贯穿所述驱动圆盘固定安装有旋转帽。
[0013]进一步的，所述连杆机构包括设置于所述第一连接栓和所述第二连接栓之间的中心连杆，所述中心连杆两端对称螺纹连接有伸缩螺杆，两个所述伸缩螺杆远离所述中心连杆一端均固定焊接有鱼眼接头，其中一个所述鱼眼接头转动套接于所述第二连接栓上，另一个所述鱼眼接头转动套接于所述第一连接栓上。
[0014]进一步的，所述润滑机构包括开设于所述滑轨内部的润滑槽以及均匀贯穿开设于所述滑轨滑道侧壁的出油微孔，所述润滑槽内部嵌入有吸油棉块，所述滑轨靠近所述驱动圆盘一端可拆卸安装有用于封堵所述吸油棉块的密封端盖，所述密封端盖上对称安装有两个输油管，所述输油管表面均匀开设有输油孔，所述输油管嵌入于所述吸油棉块内部，所述安装支板顶面靠近所述密封端盖固定安装有供油管腔，所述供油管腔靠近所述密封端盖一端设置有两个连接端口，所述连接端口与所述输油管的进口端相连接，所述供油管腔内部滑动嵌入有活塞柱，所述活塞柱远离所述连接端口一端固定安装有推柱，所述推柱远离所述活塞柱一端贯穿所述供油管腔固定安装有连接块，所述连接块侧面与所述活塞柱侧面之间固定嵌入有复位弹簧，所述复位弹簧环绕于所述推柱外表面。
[0015]进一步的，所述安装支板顶面靠近所述供油管腔一侧安装有油罐，所述油罐出油口通过管道与所述供油管腔内部相连通。
[0016]进一步的，所述供油管腔的进油孔位置设置于所述供油管腔的长度中心位置，所述活塞柱的延伸长度小于所述供油管腔的二分之一长度，所述供油管腔进油孔内部嵌入有单向阀，且方向朝向所述供油管腔内部。
[0017]进一步的，所述连接端口在与所述输油管连接处嵌入有单向阀，且所述单向阀的流向朝向所述输油管。
[0018]进一步的，所述连接块呈半球状，所述驱动圆盘底面中心轴外表面固定安装有驱动推杆，所述驱动推杆呈凸轮状结构，且侧面与所述连接块外表面相切。
[0019]3.有益效果
[0020]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0021](1)本方案相较于传统结构，简化了传统结构的双导轨结构和凸轮轴承结构，可降低成本，同时降低凸轮轴承的更换频率和降低设备维护的时间，提高摇摆驱动机构的稳定性。
[0022](2)本方案设置有调节机构和连杆机构，可根据需要，适当调整直线往复运动的行程长短，使其更加符合生产要求，使得该装置适用范围更广，便于进行推广。
[0023](3)本方案设置有润滑机构，可在使用的过程中，不断地向滑轨和滑块之间填充润滑油，对滑块的滑动进行润滑，降低摩擦和损耗，从而保证直线往复运动的顺畅性。
附图说明
[0024]图1为本技术的立体结构示意图；
[0025]图2为本技术的局部结构示意图；
[0026]图3为本技术的润滑机构爆炸图；
[0027]图4为本技术的润滑机构剖视结构示意图；
[0028]图5为本技术的调节机构结构示意图；
[0029]图6为本技术的调节机构爆炸图；
[0030]图7为本技术的连杆机构结构示意图。
[0031]图中标号说明：
[0032]1、连接支架；2、安装支板；3、驱动圆盘；4、滑轨；5、滑块；6、连接支座；7、第一连接栓；8、连接轴；9、转接头；10、中心连杆；11、伸缩螺杆；12、鱼眼接头；13、直流电机；14、联轴器；15、调节滑槽；16、滑座；17、第二连接栓；18、调节丝杆；19、旋转帽；20、驱动推杆；21、润滑槽；22、出油微孔；23、密封端盖；24、吸油棉块；25、输油管；26、输油孔；27、供油管腔；28、连接端口；29、活塞柱；30、推柱；31、复位弹簧；32、连接块；33、油罐。
具体实施方式
[0033]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，包括连接支架(1)以及安装于连接支架(1)内部的安装支板(2)，其特征在于：所述安装支板(2)内部顶端通过支架安装有直流电机(13)，所述直流电机(13)动力输出端连接有联轴器(14)，所述联轴器(14)动力输出端贯穿所述安装支板(2)固定连接有驱动圆盘(3)，所述驱动圆盘(3)转动连接于所述安装支板(2)顶面，所述安装支板(2)顶面远离所述驱动圆盘(3)一侧固定安装有滑轨(4)，所述滑轨(4)和所述驱动圆盘(3)之间设置有用于润滑所述滑轨(4)的润滑机构，所述滑轨(4)顶面滑动连接有滑块(5)，所述滑块(5)顶端固定安装有连接支座(6)，所述连接支座(6)顶面靠近所述驱动圆盘(3)一端固定焊接有第一连接栓(7)，所述第一连接栓(7)与所述驱动圆盘(3)之间通过设置有连杆机构传动连接，所述连杆机构其中一端转动连接于所述第一连接栓(7)上，另一端通过设置有调节机构与所述驱动圆盘(3)顶面一侧转动连接，所述连接支座(6)侧面垂直焊接有连接轴(8)，所述连接轴(8)远离所述连接支座(6)一端固定安装有转接头(9)。2.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，其特征在于：所述调节机构包括开设于所述驱动圆盘(3)顶面一侧的调节滑槽(15)，所述调节滑槽(15)内部滑动嵌入有滑座(16)，所述滑座(16)顶端固定焊接有第二连接栓(17)，所述调节滑槽(15)内部贯穿所述滑座(16)转动连接有调节丝杆(18)，所述调节丝杆(18)与所述滑座(16)螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，其特征在于：所述调节丝杆(18)其中一端贯穿所述驱动圆盘(3)固定安装有旋转帽(19)。4.根据权利要求2所述的一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，其特征在于：所述连杆机构包括设置于所述第一连接栓(7)和所述第二连接栓(17)之间的中心连杆(10)，所述中心连杆(10)两端对称螺纹连接有伸缩螺杆(11)，两个所述伸缩螺杆(11)远离所述中心连杆(10)一端均固定焊接有鱼眼接头(12)，其中一个所述鱼眼接头(12)转动套接于所述第二连接栓(17)上，另一个所述鱼眼接头(12)转动套接于所述第一连接栓(7)上。5.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机...
【专利技术属性】
技术研发人员：于德意，乔佳原，祝加贝，
申请(专利权)人：山东瑞翼德科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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