【技术实现步骤摘要】
一种将半导体封装良品芯片与废料分离的工艺
[0001]本专利技术涉及芯片封装检测
,尤其涉及一种将半导体封装良品芯片与废料分离的工艺。
技术介绍
[0002]现有的半导体封装工序中,注塑机将芯片、引线和金属引线边框用树脂材料包裹,形成整条的基板,将基板贴合在承载膜上,承载膜一般为UV膜、蓝膜或绿膜,切割机将基板在承载膜上切割成独立的封装半导体单元。
[0003]由于金属引线边框和塑封面积大于芯片面积,在每条基板的芯片区域四周边缘会产生“飞边”,即金属引线边框和塑封的边缘区域的废料。整条的基板经切割后,飞边形成细碎的“切割飞边”,“切割飞边”混入芯片,会在后道检验工序中频繁引发检测设备的报警和停机,大大降低生产效率,因此切割飞边必须剔除,防止与芯片混料。
[0004]切割飞边的剔除一般需要人工操作,手工将切割飞边从承载膜上铲下。因为承载膜有较强的弹性,变形量大,且薄而易破,一旦承载膜被铲破,就无法继续铲边工作。因此铲飞边工序至今无法实现自动化。
[0005]上述现有的工序中,大部分企业使用人工将切 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种将半导体封装良品芯片与废料分离的工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)以激光照射废料或良品芯片下方的承载膜,使废料或良品芯片下方的承载膜的胶层分解,完全失去粘性或失去部分粘性;(2)当废料或良品芯片下方的承载膜完全失去粘性,则废料或良品芯片直接从承载膜上脱落;当废料或良品芯片下方的承载膜失去部分粘性且仍附着在承载膜上,对承载膜或废料或良品芯片施加作用力,使废料或良品芯片从承载膜上脱落。2.根据权利要求1所述的一种将半导体封装良品芯片与废料分离的工艺,其特征在于,所述步骤(1)中,使用1064nm波段激光器照射废料或良品芯片下方的承载膜,使废料或良品芯片与承载膜之间完全失去粘性或失去部分粘性。3.根据权利要求1所述的一种将半导体封装良品芯片与废料分离的工艺,其特征在于,所述步骤(1)中,使用355nm紫外激光器照射废料或良品芯片下方的承载膜,使废料或良品芯片与承载膜之间完全失去粘性或失去部分粘性。4.根据权利要求2或3所述的一种将半导体封装良品芯片与废料分离的工艺,其特征在于,所述承载膜...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈瑞华,朱小明,朱阿春,
申请(专利权)人:苏州微赛智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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