压电／电致伸缩膜型元件制造技术

本发明专利技术的压电／电致伸缩膜型元件（１０）具备基板（１１）、下部电极（１２）、压电／电致伸缩膜（１５）以及上部电极（１６）。基板（１１）具备薄壁隔膜部（１１ａ）和形成于其周围的厚壁部（１１ｂ）。下部电极（１２）以横跨薄壁隔膜部（１１ａ）和厚壁部（１１ｂ）的方式形成于基板（１１）之上。压电／电致伸缩膜（１５）形成于下部电极（１２）之上。上部电极（１６）以与薄壁隔膜部（１１ａ）相对的方式形成于压电／电致伸缩膜（１５）之上。该上部电极（１６）具备上部电极主体部（１６ａ）和连接部（１６ｂ）。上部电极主体部（１６ａ）形成为与薄壁隔膜部（１１ａ）的平面形状大致相似的平面形状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用了薄壁隔膜部的振动特性的压电/电致伸缩性元件。
技术介绍
作为这种压电/电致伸缩性元件，已知的有利用了上述薄壁隔膜部的弯曲 变位的促动器和检测接近该薄壁隔膜部的介质的特性(例如，流体特性、音压、 微小重量、加速度等)的传感器(如麦克风和粘度传感器)等。在特开平8-201265号公报(专利文献1 )、特开2002-261347号公报(专 利文献2)、特开2005-322890号公报(专利文献3)中^^布了作为上述传感器 的上述压电/电致伸缩膜型元件。该压电/电致伸缩膜型传感器构成为利用压电/ 电致伸缩型振子的振幅和与该振子接触的流体的粘性阻力之间具有的相关关 系，可测定该流体的密度、浓度、粘度等特性。具体地说，在该压电/电致伸缩膜型传感器中，在上述流体的存在下，使 上述振子振动的场合，该振子因该流体的粘性而受到力学的阻力。在此，该振 子的机械的振动方式可置换到等效的电子回路中。因此，基于该振子受到的粘 性阻力，构成该振子的压电/电致伸缩膜的等效电路的电常数发生变化。通过 检测出该电常数的变化，可测定流体的粘度、密度、浓度等特性。作为可通过该压电/电致伸缩膜型传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电／电致伸缩膜型元件，其特征在于，具备：　基板，其具备薄壁隔膜部和形成于其周围的厚壁部；　下部电极，其以横跨上述薄壁隔膜部和上述厚壁部的方式形成于上述基板之上；　压电／电致伸缩膜，其形成于上述下部电极之上；以及，上部电极，其具备形成为与上述薄壁隔膜部的平面形状大致相似的平面形状且以与上述薄壁隔膜部相对的方式设置于上述压电／电致伸缩膜之上的上部电极主体部、以与该上部电极主体部连接的方式设置在上述压电／电致伸缩膜之上且形成为比上述上部电极主体部更窄的宽度的连接部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：大西孝生，清水秀树，恒冈克幸，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]