静电微激励器，激活这种激励器的方法，及相机模块技术

本发明专利技术的目的是要提供一种静电激励器，能够易于组装并适合批量生产，且能够实现稳固，平滑且稳定的操作又提高可靠性这两者的要求，并提供激活这种激励器的方法，以及与其一同使用的相机模块。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉对比本申请基于先有的日本专利申请，申请号是No.2001-283533，申请日为2001年9月18日并要求其权益；其整个内容在此结合以资参考。图27的示意图示出该现有技术静电激励器的结构。如图27所示，静电激励器101由可移动件102及覆盖在可移动件相对侧的一对静止部件103a和103b组成。静止部件103a和103b有它们各自的连接到电极的两组分支焊片，并有四组连接到电极A到D的分支焊片用于上和下静止部件对。静止部件103a和103b中连接到电极A到D对应的焊片的分支焊片按可移动件102的分支焊片104相同的间距排布，且静止和可移动件中所有分支焊片宽度都相同。然而在静止件103a和103b中，分别与两个电极相关(即电极A和C)的分支焊片交替地按交错布局放置。此外，上和下静止件103a和103b的分支焊片彼此以1/2相移模式相关，其中上分支垫片对于它们的对应物或下分支焊片偏离它们各自宽度的一半。向电极A施加高压，在电极A与同电极E相关的分支焊片104之间形成的静电力(库仑力)引起可移动件被上静止部件103a吸引(趋向于与电极A和E相关的分支焊片在相位上对准的位置)。然后，把供以高压的电极切换到电极B，则可移动件102由下静止部件103b吸引(趋向于与电极B和E相关的分支焊片在相位上对准的位置)。这样，按A到B，B到C，C到D等这样的方式电极相继的切换使得可移动件102精微地垂直振动并精微地横向运动(即在图27中向右以一个自由度运动)。按相反顺序A到D，D到C，C到B等向电极供高压使得可移动件在图27中向左移动。为了实现这种运动方式，并列的垂直静止部件103a和103b必须处于相位或分支的电极模式的精确控制之下，而可移动件102必须还在相对两侧有精确制造的电极模式。这要求费时且复杂的组装任务，因而导致成本增加，对于这种高精度激励器的批量生产这是某些必须克服的问题。而且，由于这种静电激励器中的可移动件以相对于逐间距横向运动为大的振幅，在并列的静止部件103a和103b之间振动，故其精微运动不是令人满意的平滑，因而希望对激励器物理和操作机构都加以改进。根据本专利技术的一个实施例，提供了一种静电激励器，包括第一静止部件，具有由至少三组配置在第一方向的激活电极组成的第一电极，来自每一组的一个激活电极按顺序周期地就位；第二静止部件，面向第一静止部件并具有在第一方向延伸的第二电极；一个可移动件，装设在第一和第二静止部件之间，以及一个切换电路，施加第一电压以引起激活电极与可移动件之间的电位差，并还施加第二电压以引起第二电极与可移动件之间的电位差，第一电压被这样施加，它在第一方向从一组激活电极向另一组顺序地切换被施加电压的目标，在第一电压被施加的同时第二电压间歇地被施加，从而使可移动件在第一方向前进。根据本专利技术另一实施例，提供了一种静电激励器，包括第一静止部件，具有由至少三组配置在第一方向的激活电极组成的第一电极，来自每一组的一个激活电极按顺序周期地就位；第二静止部件，面向第一静止部件并具有在第一方向延伸的第二电极，及在第一方向延伸并几乎平行于第二电极的第三电极；第一可移动件，装设在第一和第二静止部件之间，第二可移动件，装设在第一和第二静止部件之间，以及一个切换电路，施加第一电压以引起激活电极与第一可移动件之间的电位差，并还施加第二电压以引起第二电极与第一可移动件之间的电位差，第一电压被这样施加，它在第一方向从一组激活电极向另一组顺序地切换被施加电压的目标，在第一电压被施加的同时第二电压间歇地被施加，从而使第一可移动件在第一方向前进，且该切换电路施加第一电压以引起激活电极与第二可移动件之间的电位差，并还施加第二电压以引起第三电极与第二可移动件之间的电位差，第一电压被这样施加，它在第一方向从一组激活电极向另一组顺序地切换被施加电压的目标，在第一电压被施加的同时第二电压间歇地被施加，从而使第二可移动件在第二方向前进。根据本专利技术另一实施例，提供了激活静电激励器的一种方法，该静电激励器包括第一静止部件，具有由三组配置在第一方向的激活电极组成的第一电极，来自每一组的一个激活电极按顺序周期地就位；第二静止部件，面向第一静止部件并具有在第一方向延伸的第二电极；及一个可移动件，装设在第一和第二静止部件之间，该方法包括施加第一电压以引起激活电极与可移动件之间的电位差，施加第二电压以引起第二电极与可移动件之间的电位差，第一电压被这样施加，它在第一方向从一组激活电极向另一组顺序地切换被施加电压的目标，在第一电压被施加的同时第二电压间歇地被施加，从而使可移动件在第一方向前进。根据本专利技术另一实施例，提供了一种相机模块，包括一个成象装置；一个静电激励器，该静电激励器包括第一静止部件，具有由至少三组配置在第一方向的激活电极组成的第一电极，来自每一组的一个激活电极按顺序周期地就位；第二静止部件，面向第一静止部件并具有在第一方向延伸的第二电极；一个可移动件，装设在第一和第二静止部件之间，以及一个切换电路，施加第一电压以引起激活电极与可移动件之间的电位差，并还施加第二电压以引起第二电极和可移动件之间的电位差，第一电压被这样施加，它在第一方向从一组激活电极向另一组顺序地切换被施加电压的目标，在第一电压被施加的同时第二电压间歇地被施加，从而使可移动件在第一方向前进；以及一个透镜，安装在静电激励器的可移动件上并向成象装置输入光学信息。根据本专利技术另一实施例，提供了一种相机模块，包括一个成象装置；一个静电激励器，该静电激励器包括第一静止部件，具有由至少三组配置在第一方向的激活电极组成的第一电极，来自每一个组的一个激活电极按顺序周期地就位；第二静止部件面向第一静止部件并具有在第一方向延伸的第二电极，及在第一方向延伸并几乎平行于第二电极的第三电极；第一可移动件，装设在第一和第二静止部件之间，第二可移动件，装设在第一和第二静止部件之间，以及一个切换电路，施加第一电压以引起激活电极与第一可移动件之间的电位差，并还施加第二电压以引起第二电极与第一可移动件之间的电位差，第一电压被这样施加，它在第一方向从一组激活电极向另一组顺序地切换被施加电压的目标，在第一电压被施加的同时第二电压间歇地被施加，从而使第一可移动件在第一方向前进，以及该切换电路施加第一电压以引起激活电极与第二可移动件之间的电位差，并还施加第二电压以引起第三电极与第二可移动件之间的电位差，第一电压被这样施加，它在第一方向从一组激活电极向另一组顺序地切换被施加电压的目标，在第一电压被施加的同时第二电压间歇地被施加，从而使第二可移动件在第一方向前进；以及一个透镜，安装在静电激励器的第一可移动件上并向成象装置输入光学信息；以及一个透镜，安装在静电激励器的第二可移动件上并向成象装置输入光学信息。根据本专利技术适当地设置，一种可移动件，在附加在并几乎适配到具有与第一电极连接的分支焊片的表面的同时，被允许移动，从而抑制了在强烈吸引力下的垂直振动，以至实现了所需的稳定，平滑及可靠的操作。在附图中图1是表示根据本专利技术的静电激励器一个实施例的示意图；图2是一平面图，表示连接到第一静止部件中的电极A到D的分支焊片的布局；图3是一时序图，表示由本专利技术实施例的静电激励器中的切换电路施加到电极的电压波形；图4描绘了一变本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电激励器，包括： 第一静止部件，具有由至少三组配置在第一方向的激活电极组成的第一电极，来自每一组的一个激活电极按顺序周期地就位； 第二静止部件，面向第一静止部件并具有在第一方向延伸的第二电极； 一个可移动件，装设在第一和第二静止部件之间，以及 一个切换电路，施加第一电压以引起激活电极与可移动件之间的电位差，并还施加第二电压以引起第二电极与可移动件之间的电位差，第一电压被这样施加，它在第一方向从一组激活电极向另一组顺序地切换被施加电压的目标，在第一电压被施加的同时第二电压间歇地被施加，从而使可移动件在第一方向前进。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：古贺章浩，秋叶敏克，吉田充伸，服部俊介，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]