一种位移连续可变的静电微型机电装置制造方法及图纸

一种位移连续可变的静电微机械装置，其包括：　　　　ａ）具有第一电极的移动件；　　　　ｂ）具有第二电极的相对表面；　　　　ｃ）从该相对表面将该移动件隔开的通道；　　　　ｄ）在该通道内的液体，其中该液体具有足够高的介电常数，从而可对所述移动件在横跨所述通道至少一半的行程范围上的位移进行连续可变的和稳定的控制，该位移是在第一电极和第二电极之间施加电压的结果；以及　　　　ｅ）在物理上位于第一电极和第二电极之间的至少一个固体电介质层。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：M·W·科瓦日，
申请(专利权)人：伊斯曼柯达公司，
类型：发明
国别省市：