静电设备制造技术

静电设备（１０）包括第一柔性电极（１），在其上安装多个第二电极（２）以便与第一电极（１）一起移动。根据应用电荷，该或每一个第二电极（２）使第一电极（１）偏转并通过第二电极的移动来增加其偏转。该设备的各种不同的设计使第一电极在多方向的移动和不同类型的平面内和外的移动包括旋转和扭转成为可能。该结构使设备能在与集成电路兼容的电压电平运转和采用集成电路制造技术制造设备。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种静电设备，包括：能偏转的第一柔性电极，和至少一个第二电极，该至少一个第二电极安装在第一电极上，以便随其移动并在电荷施加到电极上时使第一电极偏转。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：拉德哈桑达巴，
申请(专利权)人：拉德哈桑达巴，
类型：发明
国别省市：GB[英国]