弹跳式致动微型马达的制作方法技术

本发明专利技术涉及一种弹跳式致动微型马达的制作方法，包括以下步骤：在硅基板上沉积一层绝缘层；然后依次沉积三层低应力掺杂多晶硅薄膜、二层低应力磷硅薄膜，二层低应力磷硅薄膜形成牺牲层结构；在各层薄膜结构上分别形成ＢＤＡ微型马达的肋骨结构、上盖结构、弹跳式致动微型马达的主结构层、转子结构、下电极与上电极接点，最后蚀刻二牺牲层以释放弹跳式致动微型马达的主结构层。由本发明专利技术制成的ＢＤＡ微型马达具有更长的组件寿命（＞１００小时）与更高的转速（＞３０ｒｐｍ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种以微机电系统(Micro electromechanical Systems; MEMS)技 术制作的微型旋转马达(Micro Rotary Motor),其利用弹跳式致动器(BDA)驱动 机制与特性来改善传统静电式驱动微型马达的组件寿命短、驱动电压高等缺点。技术背景微小化技术是当今科学的主要潮流。最为公众所知的，便是集成电路(IC) 技术以及微机电系统(MEMS)技术，也是带领我们在最近这几年来， 一起探究 微小世界的初步技术。传统的微抓举式致动器(Scratch Drive Actuator; SDA)具有可精确定位以及 线性步进的机械性质。如图l所示，在Bright(布莱特)以及Linderman(黎德曼)所做的研究中指出，当 在给定驱动电压的情况下，SDA平板6弯曲使得尾端会先进行吸附动作，并接触 氮化硅绝缘层2，称为折屈动作(snaping);当电压加大到吸附电压时(Priming Voltage), SDA主体因静电力而产生较大变形，SDA平板6会大面积接触氮化硅 绝缘层2，而当移除给定电压后，储存在支撑悬臂梁、SDA平板6与SDA轴衬14 中的张本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹跳式致动微型马达的制作方法，其特征在于包括以下步骤：（ａ）首先在硅基板上沉积一层绝缘层；（ｂ）利用光学微影与干式蚀刻技术定义所述硅基板的裸露区域，作为下电极硅基板的接触窗口；（ｃ）在所述绝缘层上沉积第一层低应力掺杂多晶硅薄膜；（ｄ）在所述第一层低应力掺杂多晶硅薄膜上以光学微影技术定义弹跳式致动微型马达的外环轨道区域与至少一个锚座接触窗口；（ｅ）在所述第一层低应力掺杂多晶硅薄膜上沉积第一层低应力磷硅薄膜，形成弹跳式致动微型马达的第一层牺牲层结构；（ｆ）在所述第一层低应力磷硅薄膜上以光学微影技术定义至少一个微型突点接触窗口和轴衬接触窗口；（ｇ）在所述第一层低应力磷硅薄膜上沉积第二层低应力掺杂...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：洪银树，黄义佑，陈冠铭，
申请(专利权)人：建凖电机工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]