包括具有不同谐振频率的谐振器的BAW谐振器布置及制造方法技术

在至少一个实施例中，电气部件包括：第一BAW谐振器(1)；第二BAW谐振器(2)，所述第二BAW谐振器电连接到所述第一BAW谐振器；以及载体基板(3)，所述载体基板具有其上布置有所述BAW谐振器的顶侧(30)。所述第一和第二BAW谐振器各自包括底部电极(11、21)和顶部电极(12、22)。所述底部电极在每种情况下位于所述载体基板和所述相应顶部电极之间。第一压电层(13)布置在所述第一BAW谐振器的所述顶部电极和所述底部电极之间并且从所述第一BAW谐振器横向突出。所述第二BAW谐振器在横向邻近所述第一BAW谐振器的区域中安装在所述第一压电层上，并且包括在其顶部电极和其底部电极之间的第二压电层(23)。所述两个压电层可具有不同的厚度以在相同管芯上实现具有不同谐振频率的谐振器。在相同管芯上实现具有不同谐振频率的谐振器。在相同管芯上实现具有不同谐振频率的谐振器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包括具有不同谐振频率的谐振器的BAW谐振器布置及制造方法


[0001]电气部件和用于制造电气部件的方法。本专利技术指定了电气部件。此外，本专利技术指定了用于制造电气部件的方法。

技术实现思路

[0002]本专利技术的一个方面涉及提供具有高效率的电气部件的任务。要解决的另一任务是提供用于容易且廉价地制造这种电气部件的方法。
[0003]根据至少一个实施例，电气部件包括第一BAW谐振器和第二BAW谐振器(BAW＝bulk acoustic wave，体声波)。第二BAW谐振器电连接到第一BAW谐振器。电连接的BAW谐振器是其中一个谐振器的一个电极和另一个谐振器的一个电极彼此电连接的谐振器。第一BAW谐振器和第二BAW谐振器可并联或反并联连接。
[0004]“并联连接”是指两个BAW谐振器的底部电极彼此电连接并且在操作期间处于相同电势。此外，两个BAW谐振器的顶部电极彼此电连接并且在操作期间处于相同电势。
[0005]“反并联连接”是指一个BAW谐振器的底部电极电连接到另一个BAW谐振器的顶部电极，使得这两个电极在操作期间处于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电气部件，包括
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第一BAW谐振器(l)，
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第二BAW谐振器(2)，电连接到所述第一BAW谐振器(1)，以及
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载体基板(3)，具有其上布置有所述BAW谐振器(1、2)的顶侧(30)，其中
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所述第一BAW谐振器和第二BAW谐振器(1、2)各自包括底部电极(11、21)和顶部电极(12、22)，
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所述底部电极(11、21)分别位于所述载体基板(3)与相应的所述顶部电极(12、22)之间，
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第一压电层(13)被布置在所述第一BAW谐振器(1)的所述顶部电极(12)和所述底部电极(11)之间并且从所述第一BAW谐振器(1)横向延伸，
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所述第二BAW谐振器(2)在横向邻近所述第一BAW谐振器(1)的区域中被安装在所述第一压电层(13)上，并且包括第二压电层(23)，所述第二压电层在所述第二BAW谐振器(2)的所述顶部电极(22)与所述第二BAW谐振器(2)的所述底部电极(21)之间。2.根据权利要求1所述的电气部件，其中所述第一压电层(13)和所述第二压电层(23)具有不同的厚度。3.根据权利要求1或2所述的电气部件，其中虚设电极(24)位于所述第二BAW谐振器(2)与所述载体基板(3)之间。4.根据权利要求3所述的电气部件，其中所述第一BAW谐振器(1)的所述底部电极(11)和所述虚设电极(24)在公共平面中横向邻近彼此地定位。5.根据权利要求3或4所述的电气部件，其中所述虚设电极(24)不被电连接到用于所述电气部件的操作的另一元件。6.根据权利要求3至5中任一项所述的电气部件，其中所述虚设电极(24)由所述第一压电层(13)和所述载体基板(3)完全包封。7.根据权利要求1或2所述的电气部件，其中在所述第二BAW谐振器(2)的所述底部电极(21)与所述载体基板(3)之间的区域中，所述第一压电层(13)与所述载体基板(3)直接接触。8.根据前述权利要求中任一项所述的电气部件，其中所述第一BAW谐振器(1)的所述顶部电极(12)和所述第二BAW谐振器(2)的所述底部电极(21)在公共平面中彼此邻近地定位。9.根据前述权利要求中任一项所述的电气部件，其中
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【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：RF三六零欧洲有限责任公司，
类型：发明
国别省市：