一种声波谐振器及滤波器制造技术

本申请提供的一种声波谐振器及滤波器，用于提高谐振器及滤波器的品质因数Q值，其中一种声波谐振器，包括：衬底；声反射结构，设置在所述衬底的上表面；压电层，设置在所述声反射结构的上表面；电极结构，设置在所述压电层的上表面；其中，在所述压电层的谐振区域以外设置有沟道，所述沟道的深度小于所述压电层的厚度，所述沟道的宽度大于零且小于或等于从所述谐振区域的边界至所述压电层的边界的垂直距离，所述谐振区为所述压电层上与所述电极结构对应的区域。对应的区域。对应的区域。

【技术实现步骤摘要】
一种声波谐振器及滤波器


[0001]本申请属于微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical Systems，MEMS)射频器件领域，具体涉及一种声波谐振器及滤波器。

技术介绍

[0002]自模拟射频通讯技术在上世纪90代初被开发以来，射频前端模块已经逐渐成为通讯设备的核心组件。在所有射频前端模块中，滤波器已成为增长势头最猛、发展前景最大的部件。滤波器是射频前端各领域产值占比最高的产品，2020年滤波器占射频前端市场份额达50％以上。随着无线通讯技术的高速发展，第五代移动通信(5th Generation Mobile Networks,5G)5G通讯协议日渐成熟，市场对射频滤波器的各方面性能也提出了更为严格的标准。滤波器的性能由组成滤波器的谐振器单元决定。
[0003]在现有的滤波器中，声学滤波器依靠着高选择性，体积小等优势，在各种小型设备(如手机、平板、路由器、蓝牙耳机)中广泛应用，具体分为声表面波(Surface acoustic wave，SAW)滤波器和体声波(Bulk A本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声波谐振器，其特征在于，包括：衬底；声反射结构，设置在所述衬底的上表面；压电层，设置在所述声反射结构的上表面；电极结构，设置在所述压电层的上表面；其中，在所述压电层的谐振区域以外设置有沟道，所述沟道的深度小于所述压电层的厚度，所述沟道的宽度大于零且小于或等于从所述谐振区域的边界至所述压电层的边界的垂直距离，所述谐振区为所述压电层上与所述电极结构对应的区域。2.如权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述电极结构包括上电极和下电极，所述上电极设置在所述压电层的上表面，所述下电极设置在所述压电层与所述声反射结构之间。3.如权利要求2所述声波谐振器，其特征在于，所述沟道是围绕所述上电极设置的压电层凹陷区域，为开环或闭环形状。4.如权利要求2所述的声波谐振器，其特征在于，所述声波谐振器还包括：凸起结构，设置在所述上电极的边缘，且所述凸起结...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴传贵，谭举，帅垚，罗文博，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：