一种叉指型谐振器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种叉指型谐振器及其制备方法，涉及半导体技术领域，本发明专利技术的叉指型谐振器，包括依次层叠设置的衬底层、压电层和金属电极层，金属电极层上划分有叉指区域和分别连接在叉指区域两端的电连接区域，两个电连接区域沿叉指延伸方向分布，电连接区域的表面沿叉指延伸方向间隔设置至少两排阻挡体，阻挡体用于限制声波传输。本发明专利技术提供的叉指型谐振器，通过在器件的有效谐振区域周围设置声子晶体结构，有效减少了声波能量的横向泄露，提高了器件的品质因数。同时，声子晶体结构设置于电连接区域的上方，不会影响电连接区域的导电性和机械稳定性。性和机械稳定性。性和机械稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种叉指型谐振器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种叉指型谐振器及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着无线通信的迅猛发展，无线信号变得越来越拥挤，对工作在射频频段的滤波器提出了集成化、微型化、低功耗、高性能、低成本等新的要求。叉指型谐振器因满足上述要求且通过现有工艺能够在一片晶圆上实现多频段集成而逐渐成为射频滤波器研究的热点。
[0003]由于叉指型谐振器在工作时需要给所有叉指同时施加信号激励，所以在设计时往往会在叉指两端分别设计一个电连接区域。又由于叉指型谐振器工作时激发的声波除了厚度方向外，还有水平方向的分量，所以部分声波能量会从电连接区域发生泄漏，从而降低了器件的品质因数。
[0004]现有技术中，通常采取空气桥、边界环等措施提升器件品质因数，减少能量损耗，但是边界环和空气桥结构仅适用于电极为平板的薄膜体声波谐振器而不适用于叉指型谐振器。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种叉指型谐振器及其制备方法，其能够有效减少声波能量的横向泄露。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种叉指型谐振器，其特征在于，包括依次层叠设置的衬底层、压电层和金属电极层，所述金属电极层上划分有叉指区域和分别连接在所述叉指区域两端的电连接区域，两个所述电连接区域沿叉指延伸方向分布，所述电连接区域的表面沿所述叉指延伸方向间隔设置至少两排阻挡体，所述阻挡体用于限制声波传输。2.根据权利要求1所述的叉指型谐振器，其特征在于，所述衬底层远离所述压电层的表面设有背孔，所述背孔与所述叉指区域沿层叠方向对应设置并将所述压电层露出。3.根据权利要求1所述的叉指型谐振器，其特征在于，所述阻挡体呈直线型，所述阻挡体的延伸方向垂直于所述叉指延伸方向。4.根据权利要求1所述的叉指型谐振器，其特征在于，所述阻挡体包括多个子阻挡体，多个所述子阻挡体垂直于所述叉指延伸方向间隔设置，沿所述叉指延伸方向并排设置的至少两个所述子阻挡体位于同一直线上。5.根据权利要求1所述的叉指型谐振器，其特征在于，所述阻挡体的两端分别延伸至所述叉指区域的两端。6.一种叉指型谐振器的制备方法，其特征在于，包括：在衬底层上依次形成压电层和金属电极层；对所述金属电极层进行图形化以形成叉指区域和分别连接在所述叉指区域两端的电连接区域，其中，两个所述电连接区域沿叉指延伸方向分布；在图形化后的所述金属电极层上形成负载层；对所述负载层进行图形化以分别在所述电连接区域的表面形成至少两排阻挡体，其中，至少两排所述阻挡体沿所述叉指延伸方向间隔排列。7.根据权利要求6所述的叉指型谐振器的制备方法，其特征在于，所述对所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗天成，温志伟，谢英，刘文娟，孙博文，孙成亮，
申请(专利权)人：武汉敏声新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：