一种三氟化氮粗品中氧化亚氮的去除系统技术方案

本实用新型专利技术属于尾气处理技术领域，提供了一种三氟化氮粗品中氧化亚氮的去除系统。本实用新型专利技术提供的去除系统，采用气化器将来自于三氟化氮精馏系统的三氟化氮粗品气化，得到三氟化氮和氧化亚氮混合气体；通过水洗将混合气体中的氧化亚氮和三氟化氮分离；再通过再生设备将氧化亚氮从水溶液中释放出来，再经裂解炉裂解，得到氧气和氮气，实现氧化亚氮的彻底去除。本实用新型专利技术提供的去除系统实现了氧化亚氮的彻底去除，且对单个设备没有特殊要求，直接进行就地连接即可，操作简单、成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种三氟化氮粗品中氧化亚氮的去除系统


[0001]本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种三氟化氮粗品中氧化亚氮的去除系统。

技术介绍

[0002]三氟化氮(NF3)是一种无色无味的气体，主要用于微电子工业中，是一种优良的等离子蚀刻剂和清洗剂。目前工业上常采用电解法和化学合成法制备三氟化氮，这两种方法得到的三氟化氮粗气中均含有少量的氧化亚氮(N2O)杂质。
[0003]三氟化氮生产工艺中含有氧化亚氮的粗气经过一系列的纯化操作，如：氧化、水洗、碱洗、吸附和精馏等，去除大量的酸性杂质、氮、氧、氟化氢等组分，最终得到99.999％以上的高纯三氟化氮气体。但是，氧化亚氮(N2O)在上述操作中并没有消失，而是在精馏塔组的除重塔釜富集，长期富集后，氧化亚氮的体积含量可达到60～80％。
[0004]现有技术中除去三氟化氮精馏除重塔中氧化亚氮的方法是：把来自于富含氧化亚氮的三氟化氮粗气间歇排污入碱水洗系统，使氧化亚氮溶于水或碱液中去除。上述方法利用的是氧化亚氮溶于水的特性，但是富含氧化亚氮的水溶液或碱溶液在加热情况下，又能够释放出溶解的氧化亚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氟化氮粗品中氧化亚氮的去除系统，其特征在于，包括：气化器(1)；与所述气化器(1)的气相出口连通的第一水洗塔(2)；与所述第一水洗塔(2)的气相出口连通的第二水洗塔(3)；与所述第二水洗塔(3)的气相出口连通的第三水洗塔(4)；与所述第一水洗塔(2)的液相出口连通的第一储液容器(21)；与所述第一储液容器(21)的液相出口连通的再生设备(5)；与所述再生设备(5)的气相出口连通的裂解炉(6)；与所述第二水洗塔(3)的液相出口连通的第二储液容器(31)；所述第二储液容器(31)的液相出口与所述第一储液容器(21)连通；与所述第三水洗塔(4)的液相出口连通的第三储液容器(41)；所述第三储液容器(41)的液相出口与所述第二储液容器(31)连通。2.根据权利要求1所述的去除系统，其特征在于，还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：王兆敏，
申请(专利权)人：天津海嘉斯迪新材料合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：