一种用于硅芯安装的测量校验装置制造方法及图纸

技术编号:33732437 阅读:63 留言:0更新日期:2022-06-08 21:28
本实用新型专利技术涉及多晶硅生产设备技术领域,尤其涉及一种用于硅芯安装的测量校验装置,其包括:支撑构件、调节构件、激光发射构件一和激光发射构件二;支撑构件包括:下支撑部和侧支撑部;侧支撑部与下支撑部连接;下支撑部上具有卡槽;在卡槽上具有半圆形的槽底;两个卡槽对称设置;调节构件与支撑构件的相对位置能够调节;激光发射构件一设在下支撑部上,位于两个卡槽的对称面上,且在两个槽底的圆心连线上;激光发射构件二设在侧支撑部上;两个激光发射构件二与两个卡槽一一对应设置;激光发射构件二的激光发射方向所在的平面与激光发射构件一的激光发射方向所在的平面相互垂直。采用本实用新型专利技术能够提高硅芯的安装效率和安装的精确度。的精确度。的精确度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅芯安装的测量校验装置


[0001]本技术涉及多晶硅生产设备
,尤其涉及一种用于硅芯安装的测量校验装置。

技术介绍

[0002]在通过西门子法生产多晶硅时,需要将硅芯通过石墨夹头固定在还原炉内的电极头上;为了使硅芯在长成硅棒的过程中,不发生接地事故停炉,需要保持硅芯与硅芯之间、硅芯与还原炉的炉筒内壁之间具有足够的间隙。为了达到这一目的,需要在硅芯安装时,保证硅芯的垂直度。
[0003]目前,对硅芯垂直度的检测主要是依靠人肉眼观察、铅锤线检查和激光水平仪检查完成。由于肉眼观察的准确度极低,硅芯的安装质量得不到有效保证。铅垂线检查容易带来对硅芯的污染,甚至会碰倒硅芯;激光水平仪检查需要不断移动调整水平仪的位置,校正仪器的状态,操作时间长,并且,需要两台以上的激光水平仪配合角度检测,操作难度大,效率低。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术提供一种用于硅芯安装的测量校验装置,主要目的在于提高硅芯的安装效率和安装的精确度。
[0005]为达到上述目的,本技术主要提供如下技术方案:
[0006]本技术的实施例提供一种用于硅芯安装的测量校验装置,包括:支撑构件、调节构件、激光发射构件一和激光发射构件二;
[0007]所述支撑构件包括:下支撑部和侧支撑部;
[0008]所述侧支撑部与所述下支撑部固定连接;
[0009]所述下支撑部上具有卡槽;所述卡槽水平设置;所述卡槽的开口位于所述下支撑部上远离所述侧支撑部的一端;在所述卡槽上与所述开口相对的另一端具有半圆形的槽底;
[0010]所述卡槽为两个;两个所述卡槽位于所述下支撑部的同一侧;两个所述卡槽具有预定距离,且相互平行;两个所述卡槽对称设置;
[0011]所述调节构件设置在所述支撑构件上,用于支撑所述支撑构件;所述调节构件与所述支撑构件的相对位置能够调节,以调节所述支撑构件的状态;
[0012]所述激光发射构件一设置在所述下支撑部上,位于两个所述卡槽的对称面上,且在两个所述槽底的圆心连线上;
[0013]所述激光发射构件一的激光发射方向位于两个所述槽底的轴线所在的平面上;
[0014]所述激光发射构件二设置在所述侧支撑部上,位于所述槽底的一侧;
[0015]所述激光发射构件二为两个;两个所述激光发射构件二与两个所述卡槽一一对应设置;
[0016]所述激光发射构件二的中心线与对应的所述卡槽的中心线位于同一平面上;
[0017]所述激光发射构件二的激光发射方向与所述槽底的轴线位于同一平面;所述激光发射构件二的激光发射方向所在的平面与所述激光发射构件一的激光发射方向所在的平面相互垂直。
[0018]进一步地,所述调节构件为多个;多个所述调节构件间隔地支撑在所述支撑构件的下部。
[0019]进一步地,所述调节构件与所述支撑构件通过螺纹连接,以控制所述调节构件与所述支撑构件的相对位置。
[0020]进一步地,所述支撑构件上设置有水平仪。
[0021]进一步地,所述水平仪为两个;两个所述水平仪设置在所述下支撑部上;两个所述水平仪垂直分布。
[0022]进一步地,所述下支撑部为板状结构;
[0023]所述侧支撑部为板状结构;所述侧支撑部固定在所述下支撑部的一端,与所述下支撑部的夹角为45
°
~60
°

[0024]进一步地,所述下支撑部和所述侧支撑部一体化设置。
[0025]进一步地,所述支撑构件为不锈钢材质。
[0026]借由上述技术方案,本技术用于硅芯安装的测量校验装置至少具有下列优点:
[0027]能够提高硅芯的安装效率和安装的精确度。
[0028]上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0029]图1为本技术实施例提供的一种用于硅芯安装的测量校验装置的俯视示意图;
[0030]图2为本技术实施例提供的一种用于硅芯安装的测量校验装置的主视示意图;
[0031]图3为本技术实施例提供的一种用于硅芯安装的测量校验装置的侧视示意图。
[0032]图中所示:
[0033]1为支撑构件,1

1为下支撑部,1

2为侧支撑部,1

3为卡槽,1

31为槽底,2为激光发射构件一,3为激光发射构件二,4为调节构件。
具体实施方式
[0034]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0035]如图1至图3所示,本技术的一个实施例提出的一种用于硅芯安装的测量校验装置,包括:支撑构件1、调节构件4、激光发射构件一2和激光发射构件二3;
[0036]支撑构件1包括:下支撑部1

1和侧支撑部1

2;侧支撑部1

2与下支撑部1

1固定连接;本实施例优选,下支撑部1

1为板状结构;侧支撑部1

2为板状结构;侧支撑部1

2固定在下支撑部1

1的一端,与下支撑部1

1的夹角为45
°
~60
°
,以利于对激光发射构件一2和激光发射构件二3进行支撑的定位。进一步优选,下支撑部1

1和侧支撑部1

2一体化设置,以方便加工,且结构可靠。进一步优选,支撑构件1为不锈钢材质,耐腐蚀,不易对硅芯造成污染。
[0037]下支撑部1

1上具有卡槽1

3;卡槽1

3水平设置;卡槽1

3的开口位于下支撑部1

1上远离侧支撑部1

2的一端;在卡槽1

3上与开口相对的另一端具有半圆形的槽底1

31;卡槽1

3的槽底1

31用于卡接电极头,与电极头圆环面接触定位。通过卡槽1

3的开口卡入电极头,再通过半圆形的槽底1

31与电极头接触进行定位。卡槽1

3为两个;两个卡槽1

3位于下支撑部1

1的同一侧;两个卡槽1

3具有预定距离,且相互平行;两个卡槽1...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅芯安装的测量校验装置,其特征在于,包括:支撑构件、调节构件、激光发射构件一和激光发射构件二;所述支撑构件包括:下支撑部和侧支撑部;所述侧支撑部与所述下支撑部固定连接;所述下支撑部上具有卡槽;所述卡槽水平设置;所述卡槽的开口位于所述下支撑部上远离所述侧支撑部的一端;在所述卡槽上与所述开口相对的另一端具有半圆形的槽底;所述卡槽为两个;两个所述卡槽位于所述下支撑部的同一侧;两个所述卡槽具有预定距离,且相互平行;两个所述卡槽对称设置;所述调节构件设置在所述支撑构件上,用于支撑所述支撑构件;所述调节构件与所述支撑构件的相对位置能够调节,以调节所述支撑构件的状态;所述激光发射构件一设置在所述下支撑部上,位于两个所述卡槽的对称面上,且在两个所述槽底的圆心连线上;所述激光发射构件一的激光发射方向位于两个所述槽底的轴线所在的平面上;所述激光发射构件二设置在所述侧支撑部上,位于所述槽底的一侧;所述激光发射构件二为两个;两个所述激光发射构件二与两个所述卡槽一一对应设置;所述激光发射构件二的中心线与对应的所述卡槽的中心线位于同一平面上;所述激光发射构件二的激光发射方向与所述槽底的轴线位于同一平面;所述激光发射构件二的激光发射...

【专利技术属性】
技术研发人员:张华刁栋杨泽天莫可璋
申请(专利权)人:新疆大全新能源股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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