下载一种用于硅芯安装的测量校验装置的技术资料

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本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域,尤其涉及一种用于硅芯安装的测量校验装置,其包括:支撑构件、调节构件、激光发射构件一和激光发射构件二;支撑构件包括:下支撑部和侧支撑部;侧支撑部与下支撑部连接;下支撑部上具有卡槽;在卡槽上具有半圆形的槽底...
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