一种半导体芯片的缺陷检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体芯片的缺陷检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有支撑板，所述支撑板上端固定连接有L型板，所述L型板下部固定连接有检测设备，所述支撑板上端固定连接有传送台，所述传送台上设有传送机构。本实用新型专利技术利用齿轮实现将半导体芯片传送到检测设备下方进行缺陷检测，无需人工移动半导体芯片进行测试，避免在移动过程中芯片发生损坏，同时可以通过调节限位块和拨片的距离，来控制半导体芯片被检测的时间，装置结构简单且功能性好。且功能性好。且功能性好。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片的缺陷检测装置


[0001]本技术涉及半导体芯片
，尤其涉及一种半导体芯片的缺陷检测装置。

技术介绍

[0002]缺陷检测是半导体芯片生产的一个重要环节，通过检测，保证芯片外观完整，同时也可以避免因芯片外观缺陷导致的芯片功能缺陷。
[0003]目前很多生产线上仍然采用传统的人工检测，即人工将半导体芯片放置在检测设备下，开启检测设备进行检测，检测完成后关闭检测设备取下半导体芯片，如此重复性的工作，会使得工作人员较为疲惫；同时，由于检测的半导体芯片较多，工作人员劳累时可能会对已经检测后的半导体芯片再次检测，如此一来，不仅降低了检测的效率，同时增加对半导体芯片移动的次数，容易导致半导体芯片损坏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体芯片的缺陷检测装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种半导体芯片的缺陷检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有支撑板，所述支撑板上端固定连接有L型板，所述L型板下部固定连接有检测设备，所述支撑板上端固定连接有传送台，所述传送台上设有传送机构。
[0007]优选地，所述传送机构包括安装在传送台上的两个第一滚轮，两个所述第一滚轮通过传送带相连接，所述传送带的内壁固定连接有与其匹配的齿轮带，两个所述第一滚轮上均设有与齿轮带匹配的环形槽，所述传送带的上端安装有料盘，所述齿轮带与传送台之间设有驱动机构。
[0008]优选地，所述驱动机构包括安装在传送台上的电机，所述电机的输出端固定连接有驱动件，所述传送台上安装有与驱动件相配合的齿轮，所述齿轮与齿轮带相啮合。
[0009]优选地，所述驱动件包括与电机输出端固定连接的第二滚轮，所述第二滚轮的右下端设有T型槽，所述T型槽内部滑动连接有拨片，所述拨片与齿轮相配合，所述拨片右端固定连接有弹簧，所述弹簧右端固定连接有限位块，所述限位块上设有固定连接的螺栓，所述螺栓上螺纹连接有与第二滚轮外壁相抵的螺母。
[0010]优选地，所述料盘在传送带上阵列分布，且所述料盘的材质为橡胶材质。
[0011]优选地，所述拨片和限位块位于T型槽内的部分均呈T型设置。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]1、通过拨片与齿轮相抵，带动齿轮滚动，从而带动齿轮带、传送带和料盘移动，当拨片不再和齿轮接触时，料盘刚好停在检测设备正下方，从而进行缺陷检测。
[0014]2、通过调节螺栓，可以改变限位块与拨片之间的距离，来控制齿轮带、传送带和料
盘的移动时间，从而控制半导体芯片被检测的时间，弹簧长度越长，检测时间越长。
[0015]本技术利用齿轮实现将半导体芯片传送到检测设备下方进行缺陷检测，无需人工移动半导体芯片进行测试，避免在移动过程中芯片发生损坏，同时可以通过调节限位块和拨片的距离，来控制半导体芯片被检测的时间，装置结构简单且功能性好。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种半导体芯片的缺陷检测装置的结构示意图。
[0017]图2为本技术提出的一种半导体芯片的缺陷检测装置的部分结构示意图。
[0018]图3为本技术提出的一种半导体芯片的缺陷检测装置中传送带的立体图。
[0019]图4为本技术提出的一种半导体芯片的缺陷检测装置中第一滚轮的截面图。
[0020]图5为本技术提出的一种半导体芯片的缺陷检测装置中驱动件的结构示意图。
[0021]图6为本技术提出的一种半导体芯片的缺陷检测装置中凹形槽的截面图。
[0022]图中：1底座、2支撑板、3L型板、4检测设备、5传送带、6料盘、7齿轮带、8传送台、9齿轮、10电机、11第一滚轮、12定位板、 13拨片、14弹簧、15T型槽、16螺栓、17限位块、18第二滚轮。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0024]参照图1
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6，一种半导体芯片的缺陷检测装置，包括底座1，底座1上固定连接有支撑板2，支撑板2上端固定连接有L型板3，L 型板3下部固定连接有检测设备4，检测设备4为现有技术。
[0025]支撑板2上端固定连接有传送台8，传送台8上设有传送机构，传送机构包括安装在传送台8上的两个第一滚轮11，两个第一滚轮 11通过传送带5相连接，传送带5的内壁固定连接有与其匹配的齿轮带7，两个第一滚轮11上均设有与齿轮带7匹配的环形槽，传送带5的上端安装有料盘6，料盘6在传送带5上阵列分布，且料盘6 的材质为橡胶材质，料盘6跟随传送带5移动至第一滚轮11处即使变形也不易损坏。
[0026]齿轮带7与传送台8之间设有驱动机构，驱动机构包括安装在传送台8上的电机10，电机10的输出端固定连接有驱动件，驱动件包括与电机10输出端固定连接的第二滚轮18，第二滚轮18的右下端设有T型槽15，T型槽15内部滑动连接有拨片13，拨片13与齿轮9 相配合，拨片13右端固定连接有弹簧14，弹簧14右端固定连接有限位块17，限位块17上设有固定连接的螺栓16，螺栓16上螺纹连接有与第二滚轮18外壁相抵的螺母，拨片13和限位块17位于T型槽15内的部分均呈T型设置，传送台8上安装有与驱动件相配合的齿轮9，齿轮9与齿轮带7相啮合。
[0027]本技术中，首先工作人员将待测的半导体芯片放进料盘6内，启动电机10，带动驱动件开始逆时针转动，当拨片13转动到与齿轮9 相接触时，在齿轮9的阻力下，拨片13在T型槽15内滑动，弹簧 14被压缩，直至弹簧14不能再被压缩，此时驱动件带动拨片13驱动
齿轮9开始做顺时针转动转动，齿轮9从而带动齿轮带7、传送带 5和料盘6移动，当拨片13与齿轮9分开时，齿轮带7、传送带5和料盘6停止移动，料盘6刚好停在检测设备4正下方，从而开始检测。此时，驱动件空转，拨片13在弹簧14的作用下复位，当驱动机带动拨片13再次转动到和齿轮9相抵的位置时，重复上述过程。
[0028]若要控制检测设备4的检测时间，可以通过拧开螺栓16上的螺母，控制限位块17与拨片13之间的距离，然后固定好螺栓16和限位块17，这样就控制了拨片13与齿轮9相抵的时间，使得齿轮带7、传送带5和料盘6停止的时间得到控制，此时调整好料盘6停止时能够在检测设备4的正下方，这样就控制了检测设备4的检测时间。
[0029]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片的缺陷检测装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)上端固定连接有L型板(3)，所述L型板(3)下部固定连接有检测设备(4)，所述支撑板(2)上端固定连接有传送台(8)，所述传送台(8)上设有传送机构。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的缺陷检测装置，其特征在于，所述传送机构包括安装在传送台(8)上的两个第一滚轮(11)，两个所述第一滚轮(11)通过传送带(5)相连接，所述传送带(5)的内壁固定连接有与其匹配的齿轮带(7)，两个所述第一滚轮(11)上均设有与齿轮带(7)匹配的环形槽，所述传送带(5)的上端安装有料盘(6)，所述齿轮带(7)与传送台(8)之间设有驱动机构。3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片的缺陷检测装置，其特征在于，所述驱动机构包括安装在传送台(8)上的电机(10)，所述电机(10)的输出端固定连接有驱动件，所述传送台(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱文杰，
申请(专利权)人：上海滨赛光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：