基于超表面的超宽带随机光谱场效应管制造技术

本发明专利技术公开了一种基于超表面的超宽带随机光谱场效应管，由下至上依次为导电衬底、氧化物绝缘层、掺杂金属的介质薄膜层；介质薄膜层上设有随机光谱吸收器和位于所述随机光谱吸收器两侧的源极、漏极；导电衬底作为栅极；通过调制随机光谱吸收器的透射光和反射光的相位，使得透射光和反射光的相位差之和ψ＝mπ，且随机数m随波长在1

【技术实现步骤摘要】
基于超表面的超宽带随机光谱场效应管


[0001]本专利技术属于光电传感器、半导体领域，涉及一种基于超表面的超宽带随机光谱场效应管。

技术介绍

[0002]光谱技术起始于20世纪80年代，经历了从最初的多波长测量到现在的成像光谱扫描，从光学机械式扫描到点面阵列推扫的发展阶段。根据工作原理的不同，高光谱遥感相机大致可分为扫描式相机和快照式相机(Snapshot)。扫描式相机根据扫描的方式，可分为点扫描(Whiskbroom)，线扫描(Pushbroom)，光谱扫描(Staring)。2000年美国国家航天局NASA和2011年我国装载在卫星上的高光谱相机均为扫描式相机，通过使用棱镜或其他分光元件，增加高光谱工作的波长范围，虽然目前均可以达到0.3
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2.5微米的工作波长，但是需要一个波长一个波长地进行扫描，因此这不仅增大了高光谱相机的重量，还增加了图像信息收集的时间。当我们将扫描式高光谱相机装在无人机上进行平扫时，无人机的飞行速度会受到上述两个原因的影响不能过快，从而减少巡航距离和时间。而快照式高光谱相机多是由光学滤波片和图像传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于超表面的超宽带随机光谱场效应管，其特征在于，由下至上依次为导电衬底、氧化物绝缘层、掺杂金属的介质薄膜层；所述介质薄膜层上设有随机光谱吸收器和位于所述随机光谱吸收器两侧的源极、漏极；所述导电衬底作为栅极；所述随机光谱吸收器包括第一金属层，所述第一金属层上开有正六边形阵列排布的纳米孔，形成表面等离子体激元SPP；每个纳米孔中均依次填充介质层形成介质纳米碟，填充第二金属层形成金属纳米碟；所述金属纳米碟形成局部表面等离子体LSP；通过调制所述随机光谱吸收器的透射光和反射光的相位，使得所述透射光和所述反射光的相位差之和ψ＝mπ，且随机数m随波长在1
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2范围内随机变化时，能够产生吸收率随波长在最大值和最小值之间随机波动的光谱曲线。2.根据权利要求1所述的基于超表面的超宽带随机光谱场效应管，其特征在于，通过调整所述纳米孔的形状和尺寸、所述介质纳米碟和所述金属纳米碟的厚度，实现对所述随机光谱吸收器的透射光和反射光的相位调制。3.根据权利要求1所述的基于超表面的超宽带随机光谱场效应管，其特征在于，所述衬底采用掺杂硼的P型硅基。4.根据权利要求1所述的基于超表面的超宽带随机光谱场效应管，其特征在于，所述氧化物绝缘层采用二氧化硅绝缘层，厚度为10
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20纳米。5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何欣，刘旭，郝翔，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：