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基于超表面的超宽带随机光谱场效应管制造技术
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下载基于超表面的超宽带随机光谱场效应管的技术资料
文档序号:33705616
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本发明公开了一种基于超表面的超宽带随机光谱场效应管,由下至上依次为导电衬底、氧化物绝缘层、掺杂金属的介质薄膜层;介质薄膜层上设有随机光谱吸收器和位于所述随机光谱吸收器两侧的源极、漏极;导电衬底作为栅极;通过调制随机光谱吸收器的透射光和反射光...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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