摄像装置制造方法及图纸

提供了一种摄像装置，其包括：半导体基板，所述半导体基板包括针对二维布置的像素中的各者设置的光电转换部，其中，所述光电转换部对入射光执行光电转换；和凹凸结构，所述凹凸结构设置在所述半导体基板的光接收侧主表面上，其中，所述凹凸结构包括以比属于可见光波段的光的波长小的周期布置的多个支柱。段的光的波长小的周期布置的多个支柱。段的光的波长小的周期布置的多个支柱。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】摄像装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2019年10年24日提交的日本专利申请JP2019
‑
193308的优先权权益，因此将该专利申请的全部内容通过引用并入本文中。


[0003]本公开涉及摄像装置。

技术介绍

[0004]近年来，抑制光斑(flare)或重影(ghost)的技术在摄像装置中得到了发展。例如，由于入射光在摄像装置内部被反射之后通过非预期的光路进入摄像装置内部的光电转换部，从而发生光斑或重影。
[0005]因此，为了减少摄像装置内部的入射光的反射，已经考虑了如下的技术：该技术在设置有光电转换部的半导体基板的一个主表面上采用与入射光的波长区域相对应的凹凸结构(也称为蛾眼结构)(例如，PTL 1)。蛾眼结构是以比可见光波段中的光的波长小的周期布置的凹凸结构，并且能够使入射光的折射率持续变化，从而可以减少入射光的反射。
[0006]引用列表
[0007]专利文献
[0008][PTL 1]国际公开号WO2015/001987
专利技术内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种摄像装置，其包括：半导体基板，所述半导体基板包括针对二维布置的像素中的各者设置的光电转换部，所述光电转换部对入射光执行光电转换；和凹凸结构，所述凹凸结构设置在所述半导体基板的光接收侧主表面上，所述凹凸结构包括以比属于可见光波段的光的波长小的周期布置的多个支柱，各所述支柱的纵横比为1以上，所述纵横比是通过将各所述支柱的高度除以各所述支柱的基部的在任意方向上的直径而确定的。2.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，各所述支柱在其顶端处具有平坦部，并且所述平坦部的在任意方向上的直径为10nm以下。3.一种摄像装置，其包括：半导体基板，所述半导体基板包括针对二维布置的像素中的各者设置的光电转换部，所述光电转换部对入射光执行光电转换；和凹凸结构，所述凹凸结构设置在所述半导体基板的光接收侧主表面上，所述凹凸结构包括以比属于可见光波段的光的波长小的周期布置的多个支柱，各所述支柱在其顶端处具有平坦部，所述平坦部的在任意方向上的直径为10nm以下。4.根据权利要求3所述的摄像装置，其中，各所述支柱的纵横比为1以上，所述纵横比是通过将各所述支柱的高度除以各所述支柱的基部的在任意方向上的直径而确定的。5.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，各所述支柱具有在所述半导体基板的厚度方向上延伸的突起形状。6.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，各所述支柱的顶端具有带顶点的形状或半球形形状。7.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，所述支柱以200nm以下的周期布置在所述光接收侧主表面上。8.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，所述支柱以随机排列、方格排列或六方密堆积排列布置在所述光接收侧主表面上。9.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：押山到，绪方亮，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：