本发明专利技术实施例公开的一种气浮承载装置包括：承载层，包括承载面，承载面上设置第一气孔、第二气孔、第一支导气管和第一主导气管，第一支导气管连通第二气孔；间隔层，与承载层形成第一空腔，第一空腔连通第一气孔和第一主导气管；间隔层上设置第一主导气管过孔和第一支导气管过孔，第一主导气管穿过第一主导气管过孔，第一支导气管穿过第一支导气管过孔；气路连接层，与间隔层形成第二空腔，第一支导气管连通第二空腔；气路连接层设置第二主导气管，第二主导气管连通第二空腔。本发明专利技术提供的气浮承载装置通过设置特定的气路结构用于对待测件进行气浮承载，能够对待测件的不同区域均匀承载，以提高气浮承载装置的承载效果。以提高气浮承载装置的承载效果。以提高气浮承载装置的承载效果。
【技术实现步骤摘要】
气浮承载装置
[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种气浮承载装置。
技术介绍
[0002]对待测件(例如为晶圆)进行检测时，需要首先对其进行承载，气浮承载是目前常用的一种承载方式。气浮承载的承载装置上设有正压出气区域以及排气区域，正压出气区域用于对待测件进行吹浮，然后吹动待测件的气体通过排气区域进行排出。
[0003]目前市面上的气浮承载设备大多在表面边缘的位置设置排气槽，用于排出待测件与气浮承载设备之间多余的气体。然而，这种排气方式会导致气浮承载设备中央区域的气体也需沿着排气槽从承载设备的边缘排出，导致气浮承载设备对待测件不同区域的排气效果不同，从而影响对待测件的承载效果。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中的至少部分问题，本专利技术实施例公开了一种气浮承载装置，以提高气浮承载装置的承载效果。
[0005]一方面，本专利技术实施例提供的一种气浮承载装置，例如包括：承载层，包括承载面，所述承载面上设置有第一气孔、第二气孔，所述承载层上还设置有第一支导气管和第一主导气管，所述第一支导气管连通所述第二气孔；间隔层，连接在所述承载层上远离所述承载面的一侧、且与所述承载层形成有第一空腔，所述第一空腔分别连通所述第一气孔和所述第一主导气管；所述间隔层上还设置有第一主导气管过孔和第一支导气管过孔，所述第一主导气管穿过所述第一主导气管过孔、并延伸至所述间隔层远离所述承载层的一侧，所述第一支导气管穿过所述第一支导气管过孔、并延伸至所述间隔层远离所述承载层的一侧；以及气路连接层，连接在所述间隔层远离所述承载层的一侧、且与所述间隔层形成有第二空腔，所述第一支导气管连通所述第二空腔；所述气路连接层还设置有第二主导气管、第二主导气管过孔和第三主导气管过孔，所述第二主导气管连通所述第二空腔，所述第一主导气管贯穿所述第二主导气管过孔。
[0006]本实施例提供的气浮承载装置，通过设置特定的气路结构以用于对待测件进行气浮承载，能够对待测件的不同区域均匀承载，以提高气浮承载装置的承载效果。
[0007]在本专利技术的一个实施例中，所述第一气孔、所述第二气孔、所述第一支导气管、所述第一支导气管过孔的数量分别为多个；所述第一支导气管和所述第一主导气管分别设置在所述承载层上远离所述承载面的一侧。
[0008]在本专利技术的一个实施例中，所述承载面的形状为圆形；所述多个第一气孔和所述多个第二气孔在所述承载面上相互交替设置、且形成以所述承载面的轴线为中心呈圆环形分布的多圈气压孔。
[0009]在本专利技术的一个实施例中，所述多圈气压孔包括靠近所述承载面边缘的外圈气压孔和靠近所述承载面的轴线的内圈气压孔，所述外圈气压孔的气孔密度与所述内圈气压孔
的气孔密度不相等。
[0010]在本专利技术的一个实施例中，所述外圈气压孔的气孔密度大于所述内圈气压孔的气孔密度。
[0011]在本专利技术的一个实施例中，所述第一气孔和所述第二气孔中分别设置有气压控制螺丝以用于调节所述第一气孔和所述第二气孔内的压力。
[0012]在本专利技术的一个实施例中，所述气浮承载装置还包括气路控制部件，所述气路控制部件连接在所述气路连接层上远离所述承载层的一侧；所述气路控制部件包括：气路连接体，连接在所述气路连接层上、且设置有第一气路接入通道和第二气路接入通道，所述第一气路接入通道连通所述第一主导气管，所述第二气路接入通道连通所述第二主导气管；第一连接管，连通所述第一气路接入通道；以及第二连接管，连通所述第二气路接入通道。
[0013]在本专利技术的一个实施例中，所述第一气路接入通道包括第一纵向接入孔和第一横向接入孔，所述第一纵向接入孔连通所述第一横向接入孔，所述第一纵向接入孔还连通所述第一主导气管；所述第二气路接入通道包括第二纵向接入孔和第二横向接入孔，所述第二纵向接入孔连通所述第二横向接入孔，所述第二纵向接入孔还连通所述第二主导气管；所述气路控制部件还包括第一压力调节阀和第二压力调节阀，所述第一压力调节阀连通所述第一纵向接入孔，所述第二压力调节阀连通所述第二纵向接入孔。
[0014]在本专利技术的一个实施例中，所述第一气孔和所述第二气孔中分别设置有气压控制螺丝，以用于控制所述第一气孔和所述第二气孔内的压力；所述气压控制螺丝的外壁上设置有外螺纹，所述气压控制螺丝通过所述外螺纹连接在所述第一气孔和第二气孔内；所述气压控制螺丝上还设置有气压控制孔，所述气压控制孔连通所述第一气孔或所述第二气孔。
[0015]在本专利技术的一个实施例中，所述第一气孔和所述第二气孔的孔径范围分别为0.03
‑
0.07mm。
[0016]由上可知，本专利技术上述技术特征可以具有如下一个或多个有益效果：通过设置特定的气路结构以用于对待测件进行气浮承载，能够对待测件的不同区域均匀承载，以提高气浮承载装置的承载效果。此外，设置不同的内、外圈气压孔的气孔密度以提高气浮承载装置的气浮承载效果；设置合适的第一气孔和第二气孔的孔径大小来以提高气浮承载效果；在第一气孔和第二气孔中设置气压控制螺丝以调节第一气孔和第二气孔中的压力；设置压力调节阀以更便捷地调节正气压通道和负气压通道中的压力。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本专利技术实施例提供的气浮承载装置的剖面结构示意图。
[0019]图2为本专利技术实施例提供的气浮承载装置的爆炸结构示意图。
[0020]图3为本专利技术实施例提供的承载层的剖面结构示意图。
[0021]图4为本专利技术实施例提供的气压控制螺丝与承载层的相对位置关系示意图。
[0022]图5为图4中A部分的局部放大图。
[0023]图6为本专利技术实施例提供的间隔层的剖面结构示意图。
[0024]图7为本专利技术实施例提供的气路连接层的剖面结构示意图。
[0025]图8为本专利技术实施例提供的气浮承载装置的另一剖面结构示意图。
[0026]图9为本专利技术实施例提供的气路控制部件的剖面结构示意图。
[0027]图10为本专利技术实施例提供的气路控制部件的另一种结构示意图。
[0028]主要元件符号说明：
[0029]10为气浮承载装置；100为承载层；110为承载面；111为第一气孔；1111为气压控制螺丝；1112为气压控制孔；112为第二气孔；1121为气压控制螺丝；1122为气压控制孔；120为第一主导气管；130为第一支导气管；200为间隔层；210为第一主导气管过孔；220为第一支导气管过孔；300为气路连接层；310为第二主导气管过孔；320为第二主导气管；330为第三主导气管过孔；340为第一安装孔；400为第一空腔；500为第二空腔；600为气路控制部件；610为气路连接体；611为第二安装孔；612为第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气浮承载装置，其特征在于，包括：承载层，包括承载面，所述承载面上设置有第一气孔、第二气孔，所述承载层上还设置有第一支导气管和第一主导气管，所述第一支导气管连通所述第二气孔；间隔层，连接在所述承载层上远离所述承载面的一侧、且与所述承载层形成有第一空腔，所述第一空腔分别连通所述第一气孔和所述第一主导气管；所述间隔层上还设置有第一主导气管过孔和第一支导气管过孔，所述第一主导气管穿过所述第一主导气管过孔、并延伸至所述间隔层远离所述承载层的一侧，所述第一支导气管穿过所述第一支导气管过孔、并延伸至所述间隔层远离所述承载层的一侧；以及气路连接层，连接在所述间隔层远离所述承载层的一侧、且与所述间隔层形成有第二空腔，所述第一支导气管连通所述第二空腔；所述气路连接层还设置有第二主导气管、第二主导气管过孔和第三主导气管过孔，所述第二主导气管连通所述第二空腔，所述第一主导气管贯穿所述第二主导气管过孔。2.如权利要求1所述的气浮承载装置，其特征在于，所述第一气孔、所述第二气孔、所述第一支导气管、所述第一支导气管过孔的数量分别为多个；所述第一支导气管和所述第一主导气管分别设置在所述承载层上远离所述承载面的一侧。3.如权利要求2所述的气浮承载装置，其特征在于，所述承载面的形状为圆形；所述多个第一气孔和所述多个第二气孔在所述承载面上相互交替设置、且形成以所述承载面的轴线为中心呈圆环形分布的多圈气压孔。4.如权利要求3所述的气浮承载装置，其特征在于，所述多圈气压孔包括靠近所述承载面边缘的外圈气压孔和靠近所述承载面的轴线的内圈气压孔，所述外圈气压孔的气孔密度与所述内圈气压孔的气孔密度不相等。5.如权利要求4所述的气浮承载装置，其特征在于，所述外圈气压孔的气孔密度大于所述内圈气压孔的气孔密度。6.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，张龙，方一，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。