红黄光发光二极管外延片的制备方法技术

本公开提供了红黄光发光二极管外延片的制备方法，属于二极管制备技术领域。将外延片远离衬底的一面，即衬底背离外延层的一面与支撑膜进行粘连，支撑膜可以起到均匀地支撑外延片整体的作用，与外延片之间也可以稳定粘连，便于操作的同时也可以便于衬底背离外延层的一面的均匀打薄。将外延片通过支撑膜放置在支撑台上，使用砂轮对外延片的衬底进行减薄，砂轮的轴线垂直于衬底的表面，且砂轮在衬底的表面所在平面的投影面积大于衬底的表面面积，保证衬底背离外延片的一面被砂轮稳定打薄，衬底的厚度均匀减小，提高最终得到的衬底的厚度的均匀程度，以保证最终得到的红黄光发光二极管的出光均匀度。的出光均匀度。的出光均匀度。

【技术实现步骤摘要】
红黄光发光二极管外延片的制备方法


[0001]本公开涉及二极管制备
，特别涉及一种红黄光发光二极管外延片的制备方法。

技术介绍

[0002]红黄光二极管是一种重要的光源器件，广泛应用于室外照明、交通灯或汽车尾灯等方面，红黄光发光二极管外延片的制备方法则是用于制备红光二极管的基础结构。红黄光发光二极管外延片的制备方法通常包括衬底及依次层叠在衬底上的布拉格反射镜、n型AlInP限制层、发光层、p型AlInP限制层、p型AlGaInP过渡层，p型GaP欧姆接触层。
[0003]出于出光需求，部分红黄光发光二极管外延片生长完毕之后，还需要对衬底进行打薄，以提高出光。衬底打薄的过程，是将衬底生长外延层的一面通过固体蜡粘连在支撑盘上，再人工或使用工具对衬底远离外延层的一面进行打薄。这种方式中，衬底与支撑盘之间容易出现粘片，且由于固体蜡融化粘连衬底的过程容易出现厚度不均的部位，也容易导致最终得到的衬底的厚度不均，影响最终得到的红黄光发光二极管的出光均匀度。

技术实现思路

[0004]本公开实施例提供了红黄光发光二极管外延片的制备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红黄光发光二极管外延片的制备方法，其特征在于，所述红黄光发光二极管外延片的制备方法包括：提供一衬底；在所述衬底上依次生长反射结构、n型AlInP限制层、发光层、p型AlInP限制层、p型AlGaInP过渡层与p型GaP欧姆接触层以得到外延片；将所述外延片远离所述衬底的一面与支撑膜进行粘连；将所述外延片通过所述支撑膜放置在设置有砂轮的支撑台上；使用所述砂轮对所述外延片的衬底进行减薄，所述砂轮的轴线垂直于所述衬底的表面，且所述砂轮在所述衬底的表面所在平面的投影面积大于所述衬底的表面面积。2.根据权利要求1所述的红黄光发光二极管外延片的制备方法，其特征在于，将所述外延片远离所述衬底的一面与支撑膜进行粘连，包括：将所述支撑膜与支撑环进行固定，所述支撑环对所述支撑膜起到支撑作用；将所述外延片远离所述衬底的一面与所述支撑膜进行粘连。3.根据权利要求1所述的红黄光发光二极管外延片的制备方法，其特征在于，所述外延片远离所述衬底的一面与所述支撑膜通过压合机压合实现粘连。4.根据权利要求1～3任一项所述的红黄光发光二极管外延片的制备方法，其特征在于，所述支撑膜的厚度为126～134um。5.根据权利要求1～3任一项所述的红黄光发光二极管外延片的制备方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞广彪，
申请(专利权)人：华灿光电浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：