一种固晶摆臂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶片封装生产技术领域，尤其是指一种固晶摆臂装置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件设置于所述力臂座，所述拾取件设置于所述力臂件远离所述力臂座的一端，所述力臂件设置有两个检测件，两个检测件用于与外界的晶圆抵触并与该晶圆的接触高度差检测触点的通断。本实用新型专利技术通过设置有两个检测件，经两个检测件构成闭合回路与晶圆接触的高度差判断触点的通段，通过该触点的通断判断对晶圆的接触高度的高低，达到了检测效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶摆臂装置


[0001]本技术涉及晶圆加工生产
，尤其是指一种固晶摆臂装置。

技术介绍

[0002]现有的固晶摆臂装置，其具有以下不足：摆臂拾取晶片过压时，拾头绕摆臂弹性关节圆弧避让，在晶片表面容易产生摩擦，损坏晶片表面，产生不良。

技术实现思路

[0003]本技术针对现有技术的问题提供一种固晶摆臂装置，能够避免拾头在拾取过程中损伤晶片表面。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0005]本技术提供的一种固晶摆臂装置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件设置于所述力臂座，所述拾取件设置于所述力臂件远离所述力臂座的一端，所述力臂件设置有两个检测件，两个检测件用于利用弹簧弹力形成闭合回路。
[0006]进一步的，检测件包括端子连接器以及端子，端子连接器与所述力臂件连接，端子安装于端子连接器。
[0007]进一步的，所述力臂件设置有两个铆压孔，铆压孔内设置有铆合件，铆合件螺接有固定螺钉，固定螺钉用于把端子连接器与铆合件进行固定。
[0008]更进一步的，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶摆臂装置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件设置于所述力臂座，所述拾取件设置于所述力臂件远离所述力臂座的一端，其特征在于：所述力臂件设置有两个检测件，两个检测件用于与外界的晶圆抵触并与该晶圆构成闭合回路。2.根据权利要求1所述的固晶摆臂装置，其特征在于：检测件包括端子连接器以及端子，端子连接器与所述力臂件连接，端子安装于端子连接器。3.根据权利要求1所述的固晶摆臂装置，其特征在于：所述力臂件设置有两个铆压孔，铆压孔内设置有铆合件，铆合件螺接有固定螺钉，固定螺钉用于把端子连接器与铆合件进行固定。4.根据权利要求3所述的固晶摆臂装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘维强，周灿，陈勇伶，
申请(专利权)人：深圳市矽谷半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：