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本实用新型涉及晶片封装生产技术领域，尤其是指一种固晶摆臂装置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件设置于所述力臂座，所述拾取件设置于所述力臂件远离所述力臂座的一端，所述力臂件设置有两个检测件，两个检测件用于与外界的晶圆抵触并与该晶圆的接...
该专利属于深圳市矽谷半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市矽谷半导体设备有限公司授权不得商用。

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