本申请公开了一种晶圆承载装置及晶圆加工设备，晶圆承载装置包括承载件以及吹气结构，承载件具有用于承载晶圆的承载面以及垂直于承载面的中心线，吹气结构包括开设于承载件内并延伸至承载面的吹气通道，吹气通道在承载面上具有吹气口。该设计中，气流流经吹气通道并从吹气口吹出后，气流流经晶圆的底面并产生作用力，该作用力可分解成垂直于承载件的承载面的第一分力、以及平行于承载件的承载面的第二分力，第一分力用于克服晶圆自身重力而使晶圆处于“悬浮状态”，第二分力用于对晶圆产生向心力或离心力，且第二分力相互抵消合力为零，故晶圆在第二分力的作用下不会在垂直于承载件的中心线的平面内产生偏移而出现“滑片”现象。象。象。
【技术实现步骤摘要】
晶圆承载装置及晶圆加工设备
[0001]本申请涉及晶圆加工
，尤其涉及一种晶圆承载装置及晶圆加工设备。
技术介绍
[0002]晶圆承载装置包括用于承载晶圆的承载平台，承载平台通过真空吸附的方式实现晶圆与承载平台之间位置的相对固定，但是晶圆与承载平台之间经常会出现漏气，导致晶圆在承载平台上出现“滑片”的现象，不利于后期对晶圆加工。因此，如何有效地实现晶圆与承载平台之间位置的相对固定以避免晶圆出现“滑片”现象已成为亟待解决的问题。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供一种晶圆承载装置及晶圆加工设备，有效地实现了晶圆与承载件之间位置的相对固定以避免“滑片”现象的产生。
[0004]第一方面，本申请实施例提供了一种晶圆承载装置；晶圆承载装置包括承载件以及吹气结构，承载件具有用于承载晶圆的承载面以及垂直于承载面的中心线，吹气结构包括开设于承载件内并延伸至承载面的吹气通道，吹气通道在承载面上具有吹气口，其中，吹气通道包括：至少一圆环形吹气通道，在承载面上具有圆环形吹气口，沿靠近承载面的方向，圆环形吹气通道的圆环直径逐渐增大或者逐渐减小，圆环形吹气通道的中心位置位于中心线上；或者吹气通道包括：至少两个圆弧形吹气通道，在承载面上具有圆弧形吹气口，沿靠近承载面的方向，圆弧形吹气通道逐渐靠近或者逐渐远离中心线，圆弧形吹气通道关于中心线呈中心对称设置；或者吹气通道包括：至少三个圆孔形吹气通道，在承载面上具有圆形吹气口，沿靠近承载面的方向，圆孔形吹气通道逐渐靠近或者逐渐远离中心线，圆孔形吹气通道环绕中心线等间距分布。
[0005]基于本申请实施例的晶圆承载装置，通过设计圆环形吹气通道的延伸方向与承载件的承载面相交、圆弧形吹气通道的延伸方向与承载件的承载面相交、圆孔形吹气通道的延伸方向与承载件的承载面相交，使得气流流经吹气通道并从吹气口吹出后，气流流经晶圆的底面并产生作用力，该作用力可分解成垂直于承载件的承载面的第一分力、以及平行于承载件的承载面的第二分力，第一分力用于克服晶圆自身重力而使晶圆处于“悬浮状态”，第二分力用于对晶圆产生向心力或离心力，且第二分力相互抵消合力为零，故晶圆在第二分力的作用下不会在垂直于承载件的中心线的平面内产生偏移，从而有效地实现了晶圆与承载件之间位置的相对固定以避免“滑片”现象的产生。
[0006]在其中一些实施例中，承载件还包括与承载面相背设置的底面，吹气通道延伸至底面并形成进气口，进气口在承载面上的正投影相对于吹气口更远离中心线。
[0007]基于上述实施例，通过将吹气通道设计成自吹气口朝远离承载件的中心线的方向向承载件的内部延伸，气流沿吹气通道从吹气口流出后，几乎全部投射到晶圆的底面上，保证了气流与晶圆之间的有效接触，从而使得晶圆在气流的作用下处于稳定的“悬浮状态”以及不产生垂直于承载件的中心线平面内的偏移。
[0008]在其中一些实施例中，吹气通道的延伸方向与承载面之间的夹角为α，且α满足：75
°
≤α≤85
°
或95
°
≤α≤105
°
。
[0009]基于上述实施例，通过将吹气通道的延伸方向与承载件的承载面之间所形成的夹角设计成满足上述条件式，既能够保证流经吹气通道的气流在沿垂直于承载件的承载面上的第一分力能够克服晶圆自身的重力以使晶圆处于稳定的“悬浮状态，又能够保证流经吹气通道的气流在沿平行于承载件的承载面上的第二分力能够给晶圆提供向心力以限制晶圆产生偏移；当α的取值超过上述条件式下限时，流经吹气通道的气流在沿垂直于承载件的承载面上第一分力较小，流经吹气通道的气流在沿平行于承载件的承载面上的第二分力较大，不便于实现对吹气通道内的气流的控制，从而不利于晶圆处于稳定的“悬浮状态”以及不产生偏移；当α的取值超过上述条件式上限时，流经吹气通道的气流在沿垂直于承载件的承载面上第一分力较大，流经吹气通道的气流在沿平行于承载件的承载面上的第二分力较小，不便于实现对吹气通道内的气流的控制，从而不利于晶圆处于稳定的“悬浮状态”以及不产生偏移。
[0010]在其中一些实施例中，吹气结构还包括开设于承载件内并延伸至承载面的辅助通道，辅助通道位于吹气通道靠近中心线的一侧，辅助通道在承载面上具有助气口。
[0011]基于上述实施例，通过辅助通道的设计，辅助通道也可用于气流的流通，通过合理开闭辅助通道内的气流，以及控制辅助通道内气流的方向和流速，让辅助通道与吹气气道配合，一方面让气流产生的作用力均匀的分布在晶圆上，从而进一步增强晶圆在承载件上方的稳定性，另一方面可适用于更多不同质量的晶圆的检测，进一步增强该晶圆承载装置的适用性以及实用性。
[0012]在其中一些实施例中，辅助通道包括至少一个圆环形辅助通道，圆环形辅助通道在承载面上具有圆环形助气口；沿靠近承载面的方向，圆环形辅助通道的圆环直径逐渐增大或者逐渐减小，圆环形辅助通道的中心位置位于中心线上；或者沿靠近承载面的方向，圆环形辅助通道的圆环直径处处相等，圆环形辅助通道的中心位置位于中心线上。
[0013]基于上述实施例，通过将辅助通道设计成与承载件的承载面倾斜设置的圆环形辅助通道，圆环形辅助通道在承载件的承载面上具有圆环形助气口，气流在圆环形助气口附近形成圆环形气流，圆环形气流倾斜且均匀地作用在晶圆的底面，从而进一步增强晶圆在承载件上方的稳定性；通过将辅助通道设计成与承载件的承载面垂直设置的圆环形辅助通道，圆环形辅助通道在承载件的承载面上具有圆环形助气口，气流在圆环形助气口附近形成圆环形气流，圆环形气流垂直且均匀地作用在晶圆的底面，从而进一步增强晶圆在承载件上方的稳定性。
[0014]在其中一些实施例中，辅助通道包括至少两个圆弧形辅助通道，圆弧形辅助通道在承载面上具有圆弧形助气口；沿靠近承载面的方向，圆弧形辅助通道逐渐靠近或者逐渐远离中心线，圆弧形辅助通道关于中心线呈中心对称设置；或者沿靠近承载面的方向，圆弧形辅助通道与中心线之间的距离处处相等，圆弧形辅助通道关于中心线呈中心对称设置。
[0015]基于上述实施例，通过将辅助通道设计成与承载件的承载面倾斜设置的圆弧形辅助通道，圆弧形辅助通道在承载件的承载面上具有圆弧形助气口，气流在圆弧形助气口附近形成至少两段圆弧形气流，圆弧形气流倾斜且均匀地作用在晶圆的底面，从而进一步增强晶圆在承载件上方的稳定性；通过将辅助通道设计成与承载件的承载面垂直设置的圆弧
形辅助通道，圆弧形辅助通道在承载件的承载面上具有圆弧形助气口，气流在圆弧形助气口附近形成至少两段圆弧形气流，圆弧形气流垂直且均匀地作用在晶圆的底面，从而进一步增强晶圆在承载件上方的稳定性。
[0016]在其中一些实施例中，辅助通道至少包括三个圆孔形辅助通道，圆孔形辅助通道在承载面上具有圆形助气口；沿靠近承载面的方向，圆孔形辅助通道逐渐靠近或者远离中心线，圆孔形辅助通道环绕中心线等间距分布；或者沿靠近承载面的方向，圆孔形辅助通道与中心线之间的距离处处相等，圆孔形辅助通道环绕中心线等间距分布。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：承载件，所述承载件具有用于承载晶圆的承载面以及垂直于所述承载面的中心线；吹气结构，所述吹气结构包括开设于所述承载件内并延伸至所述承载面的吹气通道，所述吹气通道在所述承载面上具有吹气口，其中，所述吹气通道包括：至少一圆环形吹气通道，在所述承载面上具有圆环形吹气口，沿靠近所述承载面的方向，所述圆环形吹气通道的圆环直径逐渐增大或者逐渐减小，所述圆环形吹气通道的中心位置位于所述中心线上；或者至少两个圆弧形吹气通道，在所述承载面上具有圆弧形吹气口，沿靠近所述承载面的方向，所述圆弧形吹气通道逐渐靠近或者远离所述中心线，所述圆弧形吹气通道关于所述中心线呈中心对称设置；或者至少三个圆孔形吹气通道，在所述承载面上具有圆形吹气口，沿靠近所述承载面的方向，所述圆孔形吹气通道逐渐靠近或者远离所述中心线，所述圆孔形吹气通道环绕所述中心线等间距分布。2.如权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述承载件还包括与所述承载面相背设置的底面，所述吹气通道延伸至所述底面并形成进气口，所述进气口在所述承载面上的正投影相对于所述吹气口更远离所述中心线。3.如权利要求2中所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述吹气通道的延伸方向与所述承载面之间的夹角为α，且α满足：75
°
≤α≤85
°
或95
°
≤α≤105
°
。4.如权利要求1
‑
3中任一项所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述吹气结构还包括开设于所述承载件内并延伸至所述承载面的辅助通道，所述辅助通道位于所述吹气通道靠近所述中心线的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：芈健，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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