一种单晶炉主加热器的高效清扫装置制造方法及图纸

技术编号:33589595 阅读:12 留言:0更新日期:2022-06-01 23:01
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉主加热器的高效清扫装置,其包括弹性夹板装置和移动驱动装置;本实用新型专利技术的有益效果:本实用新型专利技术设计半自动化的主加热器清扫装置,提高主加热器的清扫速度,提升主加热器的清扫质量,方便可靠,值得大范围推广使用。值得大范围推广使用。值得大范围推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉主加热器的高效清扫装置


[0001]本技术涉及单晶炉设备拆清
,尤其涉及一种单晶炉主加热器的高效清扫装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是单晶硅直拉的核心设备,其原理是将多晶硅放入石英坩埚,石英坩埚内的多晶硅在高温的单晶炉的成为液态,取籽晶对液态多晶硅进行引晶,从而将多晶硅拉制成单晶硅;而单晶炉内的核心加热设备为主加热器,主加热器为耐高温的石墨材质,其形状多为筒状,由于其工作环境高达1400摄氏度左右,因此,在单晶炉开炉时会在主加热器的内壁和外壁形成大量的氧化物粉末,需要进行细致彻底的清理才能进行下一炉单晶炉的拉制,否则会发生单晶硅拉制失败的严重后果,但在现有技术中清理主加热器通常采用人工清理(主要是操作人员手持百洁布擦拭),工作强度高,工作效率低下,难以满足生产需求,亟待进一步改善。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶炉主加热器的高效清扫装置。
[0004]本技术的内容:一种单晶炉主加热器的高效清扫装置,其包括弹性夹板装置和移动驱动装置。
[0005]进一步的,所述弹性夹板装置包括水平设置的横梁,在所述横梁的顶端中心位置竖直向下的开设有方孔,在所述横梁的两端均竖直向下的安装有夹板,所述夹板由外层夹板和内层夹板组成,所述内层夹板和所述外层夹板均为弧形,在所述内层夹板和所述外层夹板之间竖直的设置有内层刷体和外层刷体,在所述外层刷体上垂直向外的安装有若干个第一滑杆,在所述外层夹板上开设有若干个与所述第一滑杆相匹配的第一滑孔,所述第一滑杆与所述第一滑孔滑动连接,在所述第一滑杆的另一端固定连接有第一限位块,所述第一限位块位于所述外层夹板外,在所述第一滑杆上还套装有第一压缩弹簧,所述第一压缩弹簧位于所述夹板内,在所述内层刷体的内壁安装有若干个第二滑杆,在所述内层夹板上开设有若干个与所述第二滑杆相匹配的第二滑孔,所述第二滑杆与所述第二滑孔滑动连接,在所述第二滑杆的另一端固定连接有第二限位块,所述第二限位块位于所述内层夹板外,在所述第二滑杆上还套装有第二压缩弹簧,所述第二压缩弹簧位于所述夹板内。
[0006]进一步的,所述移动驱动装置包括龙门架,在所述龙门架的顶端中心位置贯穿的旋转连接有传动轴,所述传动轴的顶端传动连接有电动机,在所述传动轴的底端开设有方形滑孔,所述方形滑孔内滑动连接有方形的连接杆,在所述连接杆上水平的安装有操作杆,在所述传动轴的外壁上开设有长条形的操作通槽,所述操作通槽与所述方形滑孔相连通,所述操作杆在所述操作通槽内上下滑动。
[0007]进一步的,所述内层刷体的底端和所述外层刷体的底端均开设有导向角。
[0008]本技术的有益效果:本技术设计半自动化的主加热器清扫装置,提高主
加热器的清扫速度,提升主加热器的清扫质量,方便可靠,值得大范围推广使用。
附图说明:
[0009]图1为本技术的立体图;
[0010]图2为本技术的主视图;
[0011]图3为图2沿A

A的剖面视图;
[0012]图4为图3的B部分放大结构示意图;
[0013]图中,横梁1、方孔2、外层夹板3、内层夹板4、内层刷体5、外层刷体6、第一滑杆7、第一限位块8、第一压缩弹簧9、第二滑杆10、第二限位块11、第二压缩弹簧12、龙门架13、传动轴14、电动机15、连接杆16、操作杆17、主加热器18。
具体实施方式:
[0014]如图1至图4所示,一种单晶炉主加热器的高效清扫装置,其包括弹性夹板装置和移动驱动装置;所述弹性夹板装置包括水平设置的横梁1,在所述横梁1的顶端中心位置竖直向下的开设有方孔2,在所述横梁1的两端均竖直向下的安装有夹板,所述夹板由外层夹板3和内层夹板4组成,所述内层夹板4和所述外层夹板3均为弧形,在所述内层夹板4和所述外层夹板3之间竖直的设置有内层刷体5和外层刷体6,在所述外层刷体6上垂直向外的安装有若干个第一滑杆7,在所述外层夹板3上开设有若干个与所述第一滑杆7相匹配的第一滑孔,所述第一滑杆7与所述第一滑孔滑动连接,在所述第一滑杆7的另一端固定连接有第一限位块8,所述第一限位块8位于所述外层夹板3外,在所述第一滑杆7上还套装有第一压缩弹簧9,所述第一压缩弹簧9位于所述夹板内,在所述内层刷体5的内壁安装有若干个第二滑杆10,在所述内层夹板4上开设有若干个与所述第二滑杆10相匹配的第二滑孔,所述第二滑杆10与所述第二滑孔滑动连接,在所述第二滑杆10的另一端固定连接有第二限位块11,所述第二限位块11位于所述内层夹板4外,在所述第二滑杆10上还套装有第二压缩弹簧12,所述第二压缩弹簧12位于所述夹板内;所述移动驱动装置包括龙门架13,在所述龙门架13的顶端中心位置贯穿的旋转连接有传动轴14,所述传动轴14的顶端传动连接有电动机15,在所述传动轴14的底端开设有方形滑孔,所述方形滑孔内滑动连接有方形的连接杆16,在所述连接杆16上水平的安装有操作杆17,在所述传动轴14的外壁上开设有长条形的操作通槽,所述操作通槽与所述方形滑孔相连通,所述操作杆17在所述操作通槽内上下滑动;所述内层刷体5的底端和所述外层刷体6的底端均开设有导向角。
[0015]工作原理:工作时,将本技术的弹性夹板装置对准主加热器18并下压,使得主加热器18的壁厚被夹在内层刷体5和外层刷体6之间,然后安装移动驱动装置,使得连接杆16插入到方孔2内,然后启动电动机15使得弹性夹板装置旋转,从而将主加热器18的内、外壁上的氧化物清扫干净。
[0016]以上仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉主加热器的高效清扫装置,其特征在于:其包括弹性夹板装置和移动驱动装置;所述弹性夹板装置包括水平设置的横梁(1),在所述横梁(1)的顶端中心位置竖直向下的开设有方孔(2),在所述横梁(1)的两端均竖直向下的安装有夹板,所述夹板由外层夹板(3)和内层夹板(4)组成,所述内层夹板(4)和所述外层夹板(3)均为弧形,在所述内层夹板(4)和所述外层夹板(3)之间竖直的设置有内层刷体(5)和外层刷体(6),在所述外层刷体(6)上垂直向外的安装有若干个第一滑杆(7),在所述外层夹板(3)上开设有若干个与所述第一滑杆(7)相匹配的第一滑孔,所述第一滑杆(7)与所述第一滑孔滑动连接,在所述第一滑杆(7)的另一端固定连接有第一限位块(8),所述第一限位块(8)位于所述外层夹板(3)外,在所述第一滑杆(7)上还套装有第一压缩弹簧(9),所述第一压缩弹簧(9)位于所述夹板内,在所述内层刷体(5)的内壁安装有若干个第二滑杆(10),在所述内层夹板(4)上开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘永龙
申请(专利权)人:呼和浩特市洪润环祥科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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