【技术实现步骤摘要】
：本专利技术涉及单晶热场拆清工具，尤其涉及基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置。
技术介绍
0、
技术介绍
：
1、单晶炉是单晶硅拉制的核心设备，每台单晶炉每隔48小时左右拉制出一根单晶硅棒，拉制完毕后，需要进行彻底细致的拆清工作，才能进行下一炉单晶硅棒的拉制，拆清工作的主要工作时拆除和清理各种热场部件，拆清的目的是清除热场部件上的氧化物(单晶拉制时单晶炉内的温度为1400摄氏度以上，并在真空环境内进行拉制，拉制完毕拆炉时由于空气进入，会在热场部件的表面迅速形成一层淡黄色的氧化物)，从而保证下一炉单晶硅棒拉制成功(单晶硅棒的纯度要求极高，光伏级单晶硅的纯度要求一般为99.9999％，而半导体级单晶硅对纯度要求通常在99.9999999％以上)，因此热场部件的清洁是极其重要的，拆清时需要清理的热场部件包括石墨加热器、保温筒、导流筒、电加热器、真空抽气管道等。
2、由于石墨加热器自身结构的原因，石墨加热器是清理耗时最多、清理最困难、清理工作量最大的热场部件，如图7所示，石墨加热器的结构整体呈圆筒状的传热筒体，在传热筒体上设置有数量为几十个、宽度为10mm左右的缝隙，在传热筒体的端部设计有两个支脚，在支脚上设置有安装孔9，因此在清理石墨加热器不仅要将其内表面、外表面擦拭干净，还需要将石墨加热器上的缝隙28进行清理，由于缝隙28较窄，且数量多，查清工作只能利用细长的杆状工具，在杆状工具上缠绕纤维纸或海绵，并在纤维纸或海绵上喷洒高浓度酒精，然后插入缝隙28中上下移动进行一一擦拭清理，这种拆清方式明显的存在一下缺点：1、
技术实现思路
0、
技术实现思路
：
1、本专利技术的目的在于提供基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，来解决现有技术中清理热场石墨加热器时存在清理困难、工作效率低下、容易遗漏清理缝隙的技术问题。
2、本专利技术的内容：基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其包括水平设置的底盘，在所述底盘上安装有两个定位销柱，在所述定位销柱上沿圆周方向安装有若干个弹力锁紧组件，在所述底盘上安装有气缸，所述气缸的活塞杆与升降座相连接，在所述升降座上沿圆周方向均布的安装有若干个伸缩擦拭组件，所述伸缩擦拭组件用于擦除石墨加热器缝隙内的氧化物，在所述升降座上安装有驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述伸缩擦拭组件进行伸缩。
3、进一步的，所述弹力锁紧组件包括锁紧压销，所述锁紧压销的顶端为半球形，在所述定位销柱上开设有安装槽，在所述安装槽内铰接有所述定位销柱，所述定位销柱延伸至所述安装槽外，在所述安装槽内安装有第一压簧，所述第一压簧使所述的锁紧压销的顶端向外倾斜。
4、进一步的，在所述锁紧压销的外壁开设有螺纹通孔，在所述螺纹通孔内螺接有螺柱，所述螺柱顶紧所述第一压簧。
5、进一步的，所述锁紧压销具有锥度，所述锁紧压销直径大的一端朝上。
6、进一步的，所述伸缩擦拭组件包括沿升降座圆周方向分布的若干个伸缩杆，在所述升降座内设置有中心槽，在所述中心槽内径向向外的开设有若干个通槽，在所述通槽内滑动连接有所述伸缩杆，在所述升降座上安装有第二压簧，所述第二压簧对所述伸缩杆施加径向向内的弹性力，在所述伸缩杆的外端两侧位置安装有清理海绵，所述伸缩杆的内端为楔形，所述伸缩杆的外端开设有导向角。
7、进一步的，在所述升降座开设有若干个与所述通槽位置相匹配的弹簧槽，所述弹簧槽与所述通槽相连通，在所述伸缩杆上连接有限位板，所述限位板与所述弹簧槽滑动连接，在所述弹簧槽内安装有所述第二压簧。
8、进一步的，在所述伸缩杆的外端两侧位置均开设有海绵槽，在所述海绵槽内安装有所述清理海绵。
9、进一步的，在所述伸缩杆内设置有液腔，在所述液腔内盛装有酒精，在所述海绵槽的槽底开设有渗液孔，所述渗液孔与所述液腔相连通，在所述液腔内开设有加液孔，所述加液孔内安装有密封塞。
10、进一步的，所述驱动组件包括螺杆，在所述升降座上固定安装有盖板，在所述盖板上开设有调节螺孔，在所述调节螺孔内螺接有所述螺杆，在所述螺杆的底端连接有驱动圆台，所述驱动圆台与所述伸缩杆的楔形面相接触，在所述螺杆的顶端安装有旋转把手。
11、进一步的，在所述底盘的外缘安装有三个及以上的预定位立板，所述预定位立板的横截面为直角梯形，在所述底盘上竖直向下的安装有若干个支腿。
12、本专利技术的有益效果：本专利技术设计构思巧妙，利用石墨加热器的自身结构特点设计弹力锁紧组件对石墨加热器进行夹紧固定，便于装卡的同时使石墨加热器的定位准确，设计伸缩擦拭组件对墨加热器的缝隙进行统一清理，不必人工一一清理，自动化程度高，大幅度的提升了热场拆清的效率，有效的避免遗漏清理缝隙现象的发生，保证单晶硅拉制的成功率，设计酒精持续润湿海绵的清洗结构，提高石墨加热器的清洁程度，氧化物清理更加彻底，从而提高单晶硅拉制的成功率，值得大范围推广使用。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：其包括水平设置的底盘(1)，在所述底盘(1)上安装有两个定位销柱(2)，在所述定位销柱(2)上沿圆周方向安装有若干个弹力锁紧组件，在所述底盘(1)上安装有气缸(7)，所述气缸(7)的活塞杆与升降座(10)相连接，在所述升降座(10)上沿圆周方向均布的安装有若干个伸缩擦拭组件，所述伸缩擦拭组件用于擦除石墨加热器(8)缝隙内的氧化物，在所述升降座(10)上安装有驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述伸缩擦拭组件进行伸缩。
2.根据权利要求1所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：所述弹力锁紧组件包括锁紧压销(4)，所述锁紧压销(4)的顶端为半球形，在所述定位销柱(2)上开设有安装槽(3)，在所述安装槽(3)内铰接有所述定位销柱(2)，所述定位销柱(2)延伸至所述安装槽(3)外，在所述安装槽(3)内安装有第一压簧(5)，所述第一压簧(5)使所述的锁紧压销(4)的顶端向外倾斜。
3.根据权利要求2所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：在所述锁紧压销(4)的外壁开设有螺纹通孔，在所述
4.根据权利要求2所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：所述锁紧压销(4)具有锥度，所述锁紧压销(4)直径大的一端朝上。
5.根据权利要求1所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：所述伸缩擦拭组件包括沿升降座(10)圆周方向分布的若干个伸缩杆(14)，在所述升降座(10)内设置有中心槽(20)，在所述中心槽(20)内径向向外的开设有若干个通槽(11)，在所述通槽(11)内滑动连接有所述伸缩杆(14)，在所述升降座(10)上安装有第二压簧(13)，所述第二压簧(13)对所述伸缩杆(14)施加径向向内的弹性力，在所述伸缩杆(14)的外端两侧位置安装有清理海绵(15)，所述伸缩杆(14)的内端为楔形，所述伸缩杆(14)的外端开设有导向角(21)。
6.根据权利要求5所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：在所述升降座(10)开设有若干个与所述通槽(11)位置相匹配的弹簧槽(12)，所述弹簧槽(12)与所述通槽(11)相连通，在所述伸缩杆(14)上连接有限位板(24)，所述限位板(24)与所述弹簧槽(12)滑动连接，在所述弹簧槽(12)内安装有所述第二压簧(13)。
7.根据权利要求5所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：在所述伸缩杆(14)的外端两侧位置均开设有海绵槽(16)，在所述海绵槽(16)内安装有所述清理海绵(15)。
8.根据权利要求7所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：在所述伸缩杆(14)内设置有液腔(18)，在所述液腔(18)内盛装有酒精，在所述海绵槽(16)的槽底开设有渗液孔(17)，所述渗液孔(17)与所述液腔(18)相连通，在所述液腔(18)内开设有加液孔，所述加液孔内安装有密封塞(19)。
9.根据权利要求5所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：所述驱动组件包括螺杆(22)，在所述升降座(10)上固定安装有盖板(23)，在所述盖板(23)上开设有调节螺孔，在所述调节螺孔内螺接有所述螺杆(22)，在所述螺杆(22)的底端连接有驱动圆台(27)，所述驱动圆台(27)与所述伸缩杆(14)的楔形面相接触，在所述螺杆(22)的顶端安装有旋转把手。
10.根据权利要求1所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：在所述底盘(1)的外缘安装有三个及以上的预定位立板(26)，所述预定位立板(26)的横截面为直角梯形，在所述底盘(1)上竖直向下的安装有若干个支腿(25)。
...【技术特征摘要】
1.基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：其包括水平设置的底盘(1)，在所述底盘(1)上安装有两个定位销柱(2)，在所述定位销柱(2)上沿圆周方向安装有若干个弹力锁紧组件，在所述底盘(1)上安装有气缸(7)，所述气缸(7)的活塞杆与升降座(10)相连接，在所述升降座(10)上沿圆周方向均布的安装有若干个伸缩擦拭组件，所述伸缩擦拭组件用于擦除石墨加热器(8)缝隙内的氧化物，在所述升降座(10)上安装有驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述伸缩擦拭组件进行伸缩。
2.根据权利要求1所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：所述弹力锁紧组件包括锁紧压销(4)，所述锁紧压销(4)的顶端为半球形，在所述定位销柱(2)上开设有安装槽(3)，在所述安装槽(3)内铰接有所述定位销柱(2)，所述定位销柱(2)延伸至所述安装槽(3)外，在所述安装槽(3)内安装有第一压簧(5)，所述第一压簧(5)使所述的锁紧压销(4)的顶端向外倾斜。
3.根据权利要求2所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：在所述锁紧压销(4)的外壁开设有螺纹通孔，在所述螺纹通孔内螺接有螺柱(6)，所述螺柱(6)顶紧所述第一压簧(5)。
4.根据权利要求2所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：所述锁紧压销(4)具有锥度，所述锁紧压销(4)直径大的一端朝上。
5.根据权利要求1所述的基于单晶拉制热场的石墨加热器清理装置，其特征在于：所述伸缩擦拭组件包括沿升降座(10)圆周方向分布的若干个伸缩杆(14)，在所述升降座(10)内设置有中心槽(20)，在所述中心槽(20)内径向向外的开设有若干个通槽(11)，在所述通槽(11)内滑动连接有所述伸缩杆(14)，在所述升降座(10)上安装有第二压簧(13)，所述第二压簧(13)对所述伸缩杆(14)施加径向向内的弹性力，在...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯跃华，张红岗，淑布德，刘雄，全利刚，张宇龙，孟繁杰，郭永伟，穆连新，
申请(专利权)人：呼和浩特市洪润环祥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。