一种单晶炉中保温筒用盖板结构制造技术

技术编号:33579610 阅读:16 留言:0更新日期:2022-05-26 23:39
本实用新型专利技术提供一种单晶炉中保温筒用盖板结构,包括本体,所述本体可被置于保温筒上端面并与所述保温筒上端面相适配;所述本体包括若干扇状件,所述扇状件沿所述本体径向拼接设置。本实用新型专利技术一种单晶炉中保温筒用盖板结构,强度高,可稳定安装在保温筒上,并能加固保温筒内的石墨碳毡放置的稳定性;且使石墨碳毡完全放置在保温筒内,并可防止碳毡毛飞出保温筒,保证熔硅液的质量;同时还可提高石墨碳毡温度的汇聚,降低温度散失,提高热场的保温效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉中保温筒用盖板结构


[0001]本技术属于直拉单晶设备
,尤其是涉及一种单晶炉中保温筒用盖板结构。

技术介绍

[0002]现有单晶炉热场系统直接影响晶体生长的阶梯温度,是单晶炉的重要组成部分。其中加热器外部的保温筒是热场系统的重要组件,主要用于对加热器的保温,防止热量散失。现有保温筒内主要填充保温件,才能起到保温作用,而现有常用的且保温效果最好的保温件是石墨碳毡。由于现有保温筒上方的盖板结构设计不合理,导致在拉晶过程中,由于因石墨碳毡的碳毡毛容易受热场的高温气流的带动落入熔硅液中,造成熔硅液中的碳含量增大,从而影响单晶质量。还有,石墨碳毡在保温筒内是立放设置,由于保温筒的高度较高且其直径较大,导致其放置很不稳定,且随着时间的延长容易出现堆集,严重时导致靠近导流筒周缘的石墨碳毡出现薄厚不同的问题,使得上部的温度分布不均,严重影响拉晶质量。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种单晶炉中保温筒用盖板结构,解决了现有盖板结构设计不合理导致晶体拉制中碳含量较高、保温温度不均匀的技术问题。
[0004]为解决上述至少本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉中保温筒用盖板结构,其特征在于,包括本体,所述本体可被置于保温筒上端面并与所述保温筒上端面相适配;所述本体包括若干扇状件,所述扇状件沿所述本体径向拼接设置。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉中保温筒用盖板结构,其特征在于,所述本体为环装结构,且所述本体与所述保温筒为可拆卸连接设置。3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉中保温筒用盖板结构,其特征在于,在所述本体直径上设有一组对称设置的通孔。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉中保温筒用盖板结构,其特征在于,所述通孔均被设于所述扇状件的对接面上。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉中保温筒用盖板结构,其特征在于,所述通孔至所述本体内径的距离大于其至所述本体外径的距离。6.根据权利要求5所述的一种单晶炉中保温筒用盖板结构,其特征在于,所述通孔至所述本体内径的距离为95

【专利技术属性】
技术研发人员:安磊李晓东许建王建平王林
申请(专利权)人:内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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