本发明专利技术提供了一种单晶炉冷却装置，包括水箱、第一换热管、密封冷却箱、第二换热管及对接壳体，其中：水箱的进水口与外部水源连接；第一换热管设置在水箱内，第一换热管的进气端经管道与单晶炉的排气口连接，第一换热管的出气端经管道与密封冷却箱连接；对接壳体的第一端与密封冷却箱密封连接，对接壳体的第二端用于对接单晶炉的炉口；第二换热管设置在所述密封冷却箱内，第二换热管的进水端经管道与水箱的出水口连接，第二换热管的出水端与贯穿密封冷却箱的出水管道连接。本发明专利技术提供的单晶炉冷却装置能够实施对单晶炉的快速冷却。置能够实施对单晶炉的快速冷却。置能够实施对单晶炉的快速冷却。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉冷却装置
[0001]本专利技术涉及硅棒生产领域，具体地说是一种单晶炉冷却装置。
技术介绍
[0002]目前，通常采用单晶炉来完成硅棒的拉制，每拉制完至少一根硅棒后，或对单晶炉进行检修维护时，均需要对单晶炉的炉腔进行冷却。传统的冷却方法为自然冷却，自然冷却需要耗费大量的时间，严重地影响了单晶炉的生产效率。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种单晶炉冷却装置，其详细技术方案如下：
[0004]一种单晶炉冷却装置，包括水箱、第一换热管、密封冷却箱、第二换热管及对接壳体，其中：
[0005]水箱的进水口与外部水源连接；
[0006]第一换热管设置在水箱内，第一换热管的进气端经管道与单晶炉的排气口连接，第一换热管的出气端经管道与密封冷却箱连接；
[0007]对接壳体的第一端与密封冷却箱密封连接，对接壳体的第二端用于对接单晶炉的炉口；
[0008]第二换热管设置在所述密封冷却箱内，第二换热管的进水端经管道与水箱的出水口连接，第二换热管的出水端与贯穿密封冷却箱的出水管道连接。
[0009]单晶炉内的高温炉内空气首先进入至第一换热管内，并在第一换热管内与水箱中的水实施热交换，从而完成第一阶段冷却。接着，完成第一阶段冷却的炉内空气进入密封冷却箱，并与第二换热管内的水实施热交换，完成第二阶段冷却的炉内空气最后经对接壳体回到单晶炉内。本专利技术提供的单晶炉冷却装置能够实施对单晶炉的快速冷却。
[0010]在一些实施例中，第一换热管为螺旋状结构，第一换热管的进气端设置有粉尘过滤器。
[0011]将第一换热管设置为螺旋状结构，增加了第一换热管的长度，从而延长了换热时间，提升了第一阶段的冷却效果。而通过设置粉尘过滤器，实现了对进入至第一换热管的炉内空气的过滤，防止脏污物质逐渐堵塞管路。
[0012]在一些实施例中，第二换热管为由一水冷管道经若干次迂回弯折形成的柱状的换热束管。
[0013]通过对第二换热管进行设置，增加了第二换热管的长度，从而延长了换热时间、提高了与热风的接触面积，提升了第二阶段的冷却效果。
[0014]在一些实施例中，密封冷却箱的底板上设置有滑轨，滑轨上安装有滑动支撑座，滑动支撑座被配置为能够朝向或远离对接壳体滑动；第二换热管设置在滑动支撑座上，滑动支撑座朝向对接壳体滑动时，第二换热管穿过对接壳体并穿入至单晶炉内。
[0015]通过对第二换热管进行设置，可将第二换热管部分推入至单晶炉内，从而使得单晶炉内的高温空气直接与第二换热管接触从而实施热交换，提升了本专利技术对单晶炉的冷却效果。
[0016]在一些实施例中，单晶炉冷却装置还包括用于支撑密封冷却箱和水箱的安装座。
[0017]通过设置安装座，实现了对密封冷却箱、水箱的支撑。
[0018]在一些实施例中，单晶炉冷却装置还包括设置在安装座上的用于支撑对接壳体的支撑机构。
[0019]通过设置支撑机构，实现了对对接壳体的支撑，防止对接壳体下坠。
[0020]在一些实施例中，对接壳体被配置为可伸缩；支撑机构包括平移机构及卡钳，其中，平移机构安装在安装座上，卡钳连接在平移机构的活动部件上，卡钳卡扣在对接壳体的第二端上；平移机构驱动卡钳朝向单晶炉的炉口移动时，对接壳体的第二端在卡钳的带动下与单晶炉的炉口对接，经平移机构驱动卡钳远离单晶炉的炉口移动时，对接壳体的第二端在卡钳的带动下与单晶炉的炉口分离。
[0021]通过将对接壳体设置为可伸缩结构，并对支撑机构进行设置，可以调节对接壳体与单晶炉炉口之间的距离，从而保证对接壳体顺利地实现对单晶炉炉口的对接。
[0022]在一些实施例中，安装座的底部设置有定位销组件，定位销组件包括脚座和地座，其中，脚座上设有定位销，地座上设置有与定位销匹配的定位孔。
[0023]通过在安装座的底部设置定位销组件，可以方便地将本专利技术安装、定位至靠近单晶炉的冷却工位处，防止换热期间发生滑动造成事故。
[0024]在一些实施例中，单晶炉冷却装置还包括真空泵，真空泵的进气口与第一换热管的出气端对接，真空泵的出气口与密封冷却箱的进气口对接，真空泵将从第一换热管抽出的气体输送至密封冷却箱内。
[0025]通过设置真空泵，推动炉内空气在单晶炉、第一换热管、第二换热管间循环流动，从而实现对炉内空气的循环冷却。
[0026]在一些实施例中，单晶炉冷却装置还包括炉口转接机构，炉口转接机构包括转接管道、闸板阀及水冷套，其中：转接管道的第一端连接在单晶炉的炉口上，转接管道的第二端连接对接壳体；闸板阀和水冷套设置在转接管道上，闸板阀用于打开及关闭转接管道，水冷套用于冷却转接管道。
[0027]通过设置炉口转接机构，实现了对接壳体与单晶炉炉口的快速对接。
附图说明
[0028]图1为本专利技术实施例的单晶炉换热装置与单晶炉的连接示意图；
[0029]图2为本专利技术实施例的单晶炉换热装置在省去水箱、密封冷却箱部分组件后的结构示意图；
[0030]图3为本专利技术实施例一个视角下的水箱的内部结构示意图；
[0031]图4为本专利技术实施例另一个视角下的水箱的内部结构示意图；
[0032]图1至图4中包括：
[0033]安装座10；
[0034]水箱20；
[0035]密封冷却箱30，滑轨31；
[0036]第一换热管40，进气端41、出气端42；
[0037]第二换热管50；
[0038]对接壳体60；
[0039]滑动支撑座70；
[0040]支撑机构80、平移机构81、卡钳82；
[0041]定位销组件90，脚座91、地座92；
[0042]转接管道100；
[0043]闸板阀110；
[0044]水冷套120；
[0045]真空泵130。
具体实施方式
[0046]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0047]采用传统的自然冷却方式对单晶炉的自然冷却，需要耗费大量的时间，严重地影响了单晶炉的生产效率。
[0048]鉴于此，本专利技术提供了一种能够实施对单晶炉的快速冷却的单晶炉冷却装置，如图1至图2所示，本专利技术提供的单晶炉冷却装置包括水箱20、第一换热管40、密封冷却箱30、第二换热管50及对接壳体60，其中
[0049]水箱20的进水口与外部水源连接。
[0050]第一换热管40设置在水箱20内，第一换热管40的进气端41经管道与单晶炉的排气口连接，第一换热管40出气端42经管道与密封冷却箱30连接。
[0051]对接壳体60的第一端与密封冷却箱30密封连接，对接壳体60的第二端用于对接单晶炉的炉口。
[0052]第二换热管50设置在密封冷却箱30内，第二换热管50的进水端经管道与水箱20的出水口连接，第二换热管50的出本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉冷却装置，其特征在于，所述单晶炉冷却装置包括水箱、第一换热管、密封冷却箱、第二换热管及对接壳体，其中：所述水箱的进水口与外部水源连接；所述第一换热管设置在所述水箱内，所述第一换热管的进气端经管道与单晶炉的排气口连接，所述第一换热管的出气端经管道与所述密封冷却箱连接；所述对接壳体的第一端与所述密封冷却箱密封连接，所述对接壳体的第二端用于对接单晶炉的炉口；所述第二换热管设置在所述密封冷却箱内，所述第二换热管的进水端经管道与所述水箱的出水口连接，所述第二换热管的出水端与贯穿所述密封冷却箱的出水管道连接。2.如权利要求1所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述第一换热管为螺旋状结构，所述第一换热管的进气端设置有粉尘过滤器。3.如权利要求1所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述第二换热管为由一水冷管道经若干次迂回弯折形成的柱状的换热束管。4.如权利要求1所述的单晶炉冷却装置，其特征在于：所述密封冷却箱的底板上设置有滑轨，所述滑轨上安装有滑动支撑座，所述滑动支撑座被配置为能够朝向或远离所述对接壳体滑动；所述第二换热管设置在所述滑动支撑座上，所述滑动支撑座朝向所述对接壳体滑动时，所述第二换热管穿过所述对接壳体并穿入至所述单晶炉内。5.如权利要求4所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述单晶炉冷却装置还包括用于支撑所述密封冷却箱和所述水箱的安装座。6.如权利要求5所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述单晶炉冷却装置还包括设置在所述安装座上的用于支撑所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：周旺超，黄剑雄，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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