【技术实现步骤摘要】
本申请涉及碳化硅原料合成领域，具体地说是一种碳化硅原料合成炉。
技术介绍
1、现有的碳化硅原料合成炉体积大、重量大，在对其炉盖及炉膛进行拆装时，需要通过两套不同的提升装置依次对炉盖、炉膛进行拆装，该拆装方式使得碳化硅原料合成炉的结构较为复杂，且拆装效率较低。
技术实现思路
1、针对现有的碳化硅原料合成炉存在的上述缺陷，本申请提供了一种碳化硅原料合成炉，其详细技术特征如下：
2、一种碳化硅原料合成炉，包括炉盖、固定设置在炉盖上的第一吊耳、炉膛、固定设置在炉膛上的第二吊耳、固定设置在炉膛上且位于第二吊耳下方的第三吊耳和第一提升机构，第一提升机构包括立柱、滑动安装板、升降驱动组件、导向杆、旋转驱动组件、第一连接组件、第二连接组件及第三连接组件，其中：
3、立柱沿竖直方向设置在炉盖和炉膛的边侧，升降驱动组件设置在立柱上；
4、滑动安装板滑动设置在立柱上并与升降驱动组件的驱动端连接，升降驱动组件用于驱动滑动安装板沿立柱滑动升降；
5、导向杆固定设置在滑动安装板上；第一连接组件、第二连接组件及第三连接组件自上而下依次可旋转设置在导向杆上，其中，第一连接组件与第一吊耳可连接或断开连接，第二连接组件与第二吊耳可连接或断开连接；第三连接组件与第三吊耳可连接或断开连接；
6、旋转驱动组件的驱动端与第一连接组件传动连接，用于驱动第一连接组件绕导向杆旋转；
7、当第一连接组件、第二连接组件、第三连接组件分别与第一吊耳、第二吊耳、第三吊
8、当第一连接组件与第一吊耳连接，第二连接组件、第三连接组件分别与第二吊耳、第三吊耳断开连接时，升降驱动组件驱动滑动安装板上的导向杆升降，进而实现与第一连接组件连接的炉盖升降；旋转驱动组件驱动与第一连接组件连接的炉盖旋转。
9、本申请提供的碳化硅原料合成炉，通过设置第一提升机构可选择单独提升炉盖，或者同时提升炉盖和炉膛，通过一套第一提升机构即可完成炉盖和炉膛的提升，提高了碳化硅原料合成炉的炉盖和炉膛的拆装效率，并简化了碳化硅原料合成炉的结构。此外，由于第一连接组件、第二连接组件、第三连接组件均能够实施对对应的第一吊耳、第二吊耳及第三吊耳的断开，因此，可以将第一提升机构拆下并转移至其他碳化硅原料合成炉的炉盖、炉膛上，从而降低成本。
10、在一些实施例中，旋转驱动组件包括旋转电机、主动齿轮和从动齿轮，其中：主动齿轮设置在第一连接组件上并与旋转电机的驱动端传动连接，从动齿轮固定设置在导向杆的第一端并与主动齿轮啮合；旋转电机用于驱动主动齿轮围绕从动齿轮旋转，以带动第一连接组件围绕导向杆旋转。
11、提供了一种结构简单的旋转驱动组件，其通过主动齿轮和从动齿轮的配合来驱动第一连接组件围绕导向杆旋转。齿轮驱动结构的传动效率高、精确度高，可提高炉盖、炉膛旋转的效率。
12、在一些实施例中，第一提升机构还包括第一限位组件，第一限位组件包括第一接近开关、第一感应片和第二感应片，第一接近开关设置在第一连接组件或第二连接组件或第三连接组件上，第一感应片和第二感应片沿周向间隔设置在导向杆上，并位于第一连接组件或第二连接组件或第三连接组件的旋转路径上；
13、或者，第一限位组件包括第二接近开关、第三接近开关和第三感应片，第三感应片设置在主动齿轮上，第二接近开关和第三接近开关沿周向间隔设置在从动齿轮上，并位于主动齿轮的旋转路径上；
14、或者，第一限位组件包括第七接近开关、第八接近开关和第五感应片，第五感应片设置在导向杆上，第五感应片具有扇形区域，第七接近开关和第八接近开关间隔设置于扇形区域下方。
15、通过设置第一限位组件，并将第一限位组件设置成包括感应开关和感应片相配合的感应开关式限位结构，实现了对第一提升机构的旋转行程的感应限位，从而防止被单独提升的炉盖，或被同时提升的炉盖和炉膛的旋转角度过大，与周围的其他装置产生触碰，引起不必要的安全事故。
16、在一些实施例中，第一提升机构还包括第二限位组件，第二限位组件包括第一限位件、第二限位件和限位块，其中：限位块设置在主动齿轮上，第一限位件和第二限位件沿周向间隔设置在从动齿轮上，第一限位件和第二限位件均突出于从动齿轮的啮合齿形成有第一限位部和第二限位部，第一限位部和第二限位部位于主动齿轮的旋转路径上。
17、仅第一限位组件对第一提升机构的旋转行程实施感应限位，当第一限位组件的感应开关失效时，则无法实现有效限位。因此，通过设置第二限位组件，实现了对第一提升机构的旋转行程的机械限位，进一步确保被单独提升的炉盖，或被同时提升的炉盖和炉膛旋的旋转角度被限定在预定范围内。
18、在一些实施例中，第一限位组件的限位行程小于或等于第二限位组件的限位行程。
19、由于第二限位组件采用的是机械限位方式，其在实施限位时难免对齿轮等组件产生机械磨损。通过将第一限位组件的限位行程设置为小于或等于第二限位组件的限位行程，可实现：第一限位组件未失效的情况下，均由第一限位组件通过感应控制来实施对第一提升机构的旋转行程的感应限位，第二限位组件无需实施机械限位，从而实现了对齿轮等组件的防磨损保护。
20、在一些实施例中，第一吊耳上沿竖直方向依次设有两个第一吊孔；第一连接组件包括第一旋转座、两个第一连接板及两个第一插销，其中：第一旋转座可旋转设置在导向杆上，两个第一连接板成对固定设置在第一旋转座上，两个第一连接板上均设有第一连接孔；第一吊耳位于两个第一连接板之间，两个第一插销分别穿过第一连接孔及两个第一吊孔，以将第一吊耳连接至两个第一连接板上。
21、通过对第一吊耳和第一连接组件进行设置，确保第一连接组件可以相对导向杆实现水平面上的旋转。且确保第一连接组件与第一吊耳能够形成稳定的连接，防止第一连接组件与第一吊耳产生相对转动，造成被单独提升的炉盖产生倾斜。
22、在一些实施例中，第一连接组件还包括第一插销推动部，第一插销推动部设置在第一吊耳上，两个第一插销的第一端均连接在第一插销推动部的活动部件上；第一吊耳位于两个第一连接板之间，第一插销推动部用于驱动两个第一插销同时穿过或脱离第一连接孔和第一吊孔。
23、通过设置第一插销推动部，使得第一连接组件能够实现与第一吊耳的自动连接及自动断开，从而提升工作效率。
24、在一些实施例中，第二吊耳上设有第二吊孔；第二连接组件和第三连接组件的结构相同，第二连接组件包括第二旋转座、两个第二连接板、第二插销及第二插销推动部，其中：第二旋转座可旋转设置在导向杆上，两个第二连接板成对固定设置在第二旋转座上，两个第二连接板上均设有第二连接孔；第二插销推动部设置在第二吊耳上，第二插销的第一端连接在第二插本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述碳化硅原料合成炉包括炉盖、固定设置在所述炉盖上的第一吊耳、炉膛、固定设置在所述炉膛上的第二吊耳、固定设置在所述炉膛上且位于所述第二吊耳下方的第三吊耳和第一提升机构，所述第一提升机构包括立柱、滑动安装板、升降驱动组件、导向杆、旋转驱动组件、第一连接组件、第二连接组件及第三连接组件，其中：
2.如权利要求1所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述旋转驱动组件包括旋转电机、主动齿轮和从动齿轮，其中：
3.如权利要求2所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一提升机构还包括第一限位组件，所述第一限位组件包括第一接近开关、第一感应片和第二感应片，所述第一接近开关设置在所述第一连接组件或所述第二连接组件或所述第三连接组件上，所述第一感应片和所述第二感应片沿周向间隔设置在所述导向杆上，并位于所述第一连接组件或所述第二连接组件或所述第三连接组件的旋转路径上；
4.如权利要求3所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一提升机构还包括第二限位组件，所述第二限位组件包括第一限位件、第二限位件和限位块，其中：
6.如权利要求5所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一连接组件还包括第一插销推动部，所述第一插销推动部设置在所述第一吊耳上，两个第一插销的第一端均连接在所述第一插销推动部的活动部件上；
7.如权利要求1所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第二吊耳上设有第二吊孔；
8.如权利要求7所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第二插销推动部包括安装板、气缸及推板，其中：
9.如权利要求8所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第二插销推动部还包括导向板，所述导向板靠近所述第二插销的第一端且固定设置在所述安装板上，所述导向板上设置有与所述第二插销的外表面适配的圆弧状导向槽。
10.如权利要求1所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一提升机构还包括第四接近开关、第五接近开关、第六接近开关和第四感应片，所述升降驱动组件包括电机、丝杆和螺母，所述第四感应片固定设置在所述滑动安装板上，所述滑动安装板固定设置在所述螺母上，所述第四接近开关、所述第五接近开关及所述第六接近开关沿所述螺母的升降行程自上而下依次设置，所述电机用于驱动所述螺母沿所述丝杆升降；
11.如权利要求10所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一提升机构还包括对所述螺母的升降行程进行限位的第一限位台和第二限位台，所述第一限位台和所述第二限位台设置在所述立柱上，所述第一限位台位于所述第二高位上方或与所述第二高位等高，所述第二限位台位于所述第一低位下方或与所述第一低位等高。
12.如权利要求10所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述升降驱动组件还包括可伸缩的第一防尘罩和第二防尘罩，所述第一防尘罩套设在所述丝杆上，且所述第一防尘罩的第一端固定连接在所述丝杆的第一端，所述第一防尘罩的第二端固定连接在所述螺母上；所述第二防尘罩套设在所述丝杆上，且所述第二防尘罩的第一端固定连接在所述丝杆的第二端，所述第二防尘罩的第二端固定连接在所述螺母上。
13.如权利要求1所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一提升机构还包括加强柱，所述加强柱与所述导向杆并列设置，所述第一连接组件、所述第二连接组件和所述第三连接组件均安装在所述加强柱上，所述旋转驱动组件驱动所述第一连接组件绕所述导向杆旋转，进而带动所述加强柱绕所述导向杆旋转。
14.如权利要求1至13任一项所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述碳化硅原料合成炉还包括第二提升机构，所述第二提升机构用于提升所述炉膛的炉内部件，所述第二提升机构包括升降旋转组件、起吊盘及若干连杆，其中：
15.如权利要求14所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述起吊盘上设有若干个沿周向排布的与所述连杆一一对应的吊环组；
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述碳化硅原料合成炉包括炉盖、固定设置在所述炉盖上的第一吊耳、炉膛、固定设置在所述炉膛上的第二吊耳、固定设置在所述炉膛上且位于所述第二吊耳下方的第三吊耳和第一提升机构，所述第一提升机构包括立柱、滑动安装板、升降驱动组件、导向杆、旋转驱动组件、第一连接组件、第二连接组件及第三连接组件，其中：
2.如权利要求1所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述旋转驱动组件包括旋转电机、主动齿轮和从动齿轮，其中：
3.如权利要求2所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一提升机构还包括第一限位组件，所述第一限位组件包括第一接近开关、第一感应片和第二感应片，所述第一接近开关设置在所述第一连接组件或所述第二连接组件或所述第三连接组件上，所述第一感应片和所述第二感应片沿周向间隔设置在所述导向杆上，并位于所述第一连接组件或所述第二连接组件或所述第三连接组件的旋转路径上；
4.如权利要求3所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一提升机构还包括第二限位组件，所述第二限位组件包括第一限位件、第二限位件和限位块，其中：
5.如权利要求1所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一吊耳上沿竖直方向依次设有两个第一吊孔；
6.如权利要求5所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第一连接组件还包括第一插销推动部，所述第一插销推动部设置在所述第一吊耳上，两个第一插销的第一端均连接在所述第一插销推动部的活动部件上；
7.如权利要求1所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第二吊耳上设有第二吊孔；
8.如权利要求7所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第二插销推动部包括安装板、气缸及推板，其中：
9.如权利要求8所述的碳化硅原料合成炉，其特征在于，所述第二插销推动部还包括导向板，所述导向板靠近所述第二插销的第一端且固定设置在所述安装板上，所述导向板上设置有与所述第二插销的外表面适配的圆弧状导向槽。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：高为正，沈宽宏，蒋陶鑫，高龙坤，黄剑雄，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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