一种取晶设备制造技术

技术编号:41430715 阅读:33 留言:0更新日期:2024-05-28 20:27
本申请提供了一种取晶设备,包括安装支架、导向机构、承托机构和夹持机构,导向机构可升降设置在安装支架上。承托机构包括承托部和第一驱动组件,承托部可升降设置在导向机构上,第一驱动组件设置在安装支架上,第一驱动组件驱动承托部在导向机构上升降运动并使承托部停靠在导向机构上的任一位置,以适配不同长度的晶棒取晶;夹持机构设置在安装支架上,被配置为夹持由承托部托载、由导向机构支撑导向的晶棒。本申请能够实施对不同长度尺寸的晶棒,尤其是长晶棒的取晶操作,提升了取晶设备的兼容性。此外,通过承托机构、导向机构及夹持机构的配合,实现了自动化取晶,相比于现有的人工取晶方式,提升了取晶效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶体生长领域,具体地说是一种取晶设备


技术介绍

1、晶棒在单晶炉内生长结束后,需要从单晶炉中取出晶棒。目前,一般采用手动取晶车,通过人工方式来完成整个取晶过程。具体取晶过程为:将手动取晶车推至待取晶棒的边侧,然后调整好取晶车和晶棒的相对位置,使得晶棒支撑在手动取晶车上的托架上,接着通过人工将晶棒固定至托架上。

2、现有的人工取晶方式,需要人工深度介入,其取晶效率低下。此外,手工取晶车的托架尺寸固定,且托架的支撑部件(如托盘)只能通过手动调整安装位置实施小幅度的高度调节,因此,其仅适合于实施对长度较短的晶棒(一般为1米以下)的取晶,难以实施对长度超过1.5米的长晶棒的取晶。


技术实现思路

1、针对现有的人工取晶方式存在的上述技术问题,本申请提供了一种取晶设备,其详细技术方案如下:

2、一种取晶设备,包括安装支架、导向机构、承托机构和夹持机构,导向机构可升降设置在安装支架上,并被配置为能够沿竖直方向在安装支架上升降运动;

3、承托机构包括承托部和第一驱动组件,承托部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种取晶设备,其特征在于,所述取晶设备包括安装支架、导向机构、承托机构和夹持机构,所述导向机构可升降设置在所述安装支架上,并被配置为能够沿竖直方向在所述安装支架上升降运动;

2.如权利要求1所述的取晶设备,其特征在于,所述第一驱动组件包括第一安装轴、轴套、卷盘、卷盘啮合组件、金属牵拉绳、第一蜗轮蜗杆减速机及第一液压马达,其中:

3.如权利要求2所述的取晶设备,其特征在于,所述卷盘啮合组件包括第一压轮和第二压轮,所述第一压轮和所述第二压轮间隔且共线设置,所述第一压轮和所述第二压轮之间的间隔与线槽的凸缘啮合,所述第一压轮和所述第二压轮分别与所述凸缘两侧的线槽啮合。...

【技术特征摘要】

1.一种取晶设备,其特征在于,所述取晶设备包括安装支架、导向机构、承托机构和夹持机构,所述导向机构可升降设置在所述安装支架上,并被配置为能够沿竖直方向在所述安装支架上升降运动;

2.如权利要求1所述的取晶设备,其特征在于,所述第一驱动组件包括第一安装轴、轴套、卷盘、卷盘啮合组件、金属牵拉绳、第一蜗轮蜗杆减速机及第一液压马达,其中:

3.如权利要求2所述的取晶设备,其特征在于,所述卷盘啮合组件包括第一压轮和第二压轮,所述第一压轮和所述第二压轮间隔且共线设置,所述第一压轮和所述第二压轮之间的间隔与线槽的凸缘啮合,所述第一压轮和所述第二压轮分别与所述凸缘两侧的线槽啮合。

4.如权利要求1所述的取晶设备,其特征在于,所述导向机构包括导柱、第二安装轴、主动链轮、第一从动链轮、第二从动链轮、链条、第二蜗轮蜗杆减速机和第二液压马达,其中:

5.如权利要求1所述的取晶设备,其特征在于,所述导向机构包括导柱...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名
申请(专利权)人:无锡松瓷机电有限公司
类型:新型
国别省市:

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