【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶拉制，具体涉及一种籽晶用防氧化工装及系统。
技术介绍
1、单晶硅拉制过程中，氩气由单晶炉副室从上而下竖直吹出，起到带走挥发物和带走晶体表面热量等作用。但是由于籽晶位于重锤的正下方，且籽晶的直径小于夹头及重锤的直径，夹头及重锤阻挡氩气使氩气无法吹拂到籽晶的表面，无法正常带走籽晶周围的挥发物及热量，导致籽晶表面容易出现氧化发彩的现象，影响籽晶正常熔接。若籽晶周围的挥发物等杂质没有被氩气带走，便会在籽晶表面聚集，形成肉眼可见的氧化物，若氧化物掉入熔体中，则会影响单晶成晶，进而造成断线。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种籽晶用防氧化工装及系统，能够引导氩气吹拂到籽晶的表面，带走籽晶周围的挥发物及热量，避免籽晶表面出现氧化发彩的现象，影响籽晶正常熔接，同时避免了籽晶周围的挥发物等杂质在籽晶表面聚集形成肉眼可见的氧化物并掉入熔体中，影响单晶成晶，进而造成断线。
2、为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：
3、第一方面，一种籽晶用防氧化工装，包括漏斗状...
【技术保护点】
1.一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，包括漏斗状的将氩气向籽晶(12)处汇聚的氩气汇聚装置，所述氩气汇聚装置的大口朝上且环绕在重锤(11)的外围，所述氩气汇聚装置的小口朝下且环绕在与重锤(11)的底面连接的籽晶(12)的外围。
2.根据权利要求1所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，设定氩气汇聚装置的轴线所处的平面为氩气汇聚装置的中心面，所述氩气汇聚装置的中心面将氩气汇聚装置分为相互之间可拆卸连接的第一挂壁(4)和第二挂壁(3)。
3.根据权利要求2所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述第一挂壁(4)上固定安装有第一连接杆(5)的一端，...
【技术特征摘要】
1.一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，包括漏斗状的将氩气向籽晶(12)处汇聚的氩气汇聚装置，所述氩气汇聚装置的大口朝上且环绕在重锤(11)的外围，所述氩气汇聚装置的小口朝下且环绕在与重锤(11)的底面连接的籽晶(12)的外围。
2.根据权利要求1所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，设定氩气汇聚装置的轴线所处的平面为氩气汇聚装置的中心面，所述氩气汇聚装置的中心面将氩气汇聚装置分为相互之间可拆卸连接的第一挂壁(4)和第二挂壁(3)。
3.根据权利要求2所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述第一挂壁(4)上固定安装有第一连接杆(5)的一端，所述第一连接杆(5)的另一端上固定安装有可固定套设在重锤(11)的上部并可从重锤(11)的上部拆卸下来的安装环(1)。
4.根据权利要求3所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述安装环(1)的半径大于或等于重锤(11)的上部的半径且小于重锤(11)的下部的半径。
5.根据权利要求3所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述第二挂...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄旭东，关树军，洪华，路建华，曾宏强，杨亚方，
申请(专利权)人：乐山市京运通半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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