【技术实现步骤摘要】
本申请属于硅片生产设备制造领域，尤其涉及一种晶棒划线机及划线方法。
技术介绍
1、晶棒划线是硅片生产过程中的一道工序，划线之前，需要对拉晶工序生成的晶棒进行检测，并根据检测结果对晶棒进行划线，晶棒后道切割工序以划线作为晶棒截断的基准。
2、目前，晶棒的检测和划线操作通常由人工进行，效率较低，且精度也低。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种晶棒划线机，以解决现有技术中晶棒检测和划线存在效率低、精度低的问题；另外，本申请还提供一种基于该晶棒划线机的划线方法。
2、为达此目的，本采用以下技术方案：
3、一种晶棒划线机，其包括承载装置、检测装置和划线打标装置，其中：
4、承载装置至少被配置为承载待划线的晶棒以及驱动待划线的晶棒旋转，晶棒沿第一方向延伸；
5、检测装置至少包括直径检测装置和视觉检测装置，直径检测装置被配置为对待划线的晶棒的直径实施检测，视觉检测装置被配置为对待划线的晶棒实施拍摄，以对待划线的晶棒的外观进行检测；
6、划线打标装置被配置为根据直径检测装置和视觉检测装置的检测结果，在晶棒的相应位置处划线或打标。
7、本申请提出的晶棒划线机通过直径检测装置，实现了对待划线的晶棒的直径实施自动检测；通过视觉检测装置，实现了对待划线的晶棒的外观实施自动拍摄检测；通过划线打标装置，实现了根据直径检测装置和视觉检测装置的检测结果对晶棒实施自动划线或打标。故本申请晶棒划线机能够实现对晶棒的自动化检测和
8、可选的，检测装置还包括电阻率检测装置，电阻率检测装置被配置为对待划线的晶棒的电阻率进行检测，划线打标装置还被配置为根据电阻率检测装置的检测结果，在晶棒的相应位置处划线或打标。
9、通过电阻率检测装置，实现了对待划线的晶棒的电阻率实施自动检测，通过划线打标装置，实现了根据直径检测装置、视觉检测装置和电阻率检测装置的检测结果对晶棒实施自动划线或打标。提供了一种兼具直径检测、外观检测、电阻率检测和自动划线、打标的晶棒划线机，设备集成度高，进一步的提高晶棒检测和划线的效率和精度。
10、可选的，承载装置包括安装座和n套承载组件，其中：n套承载组件沿第一方向间隔安装在安装座上，相邻两套承载组件沿着第一方向间距可调，承载组件被配置为承载沿第一方向延伸的晶棒以及驱动晶棒旋转，n为不小于2的正整数；每套承载组件包括旋转组件和第一驱动组件，旋转组件用于承载晶棒，旋转组件连接在第一驱动组件的驱动端上，第一驱动组件被配置为驱动旋转组件旋转，以带动所承载的晶棒旋转。
11、通过设置n套承载组件以在晶棒的延伸方向上承载晶棒的不同部位，实现对晶棒的可靠支撑；在对晶棒进行检测或划线等操作时，通过设置的旋转组件驱动承载组件以带动所承载的晶棒自动旋转，无需人工操作，提高了工作效率，节省了人力；同时相邻两套承载组件的间距可调，以适用不同长度的晶棒，提高了承载装置的兼容性。
12、可选的，承载装置还包括安装件，旋转组件和第一驱动组件设置在安装件上；每套承载组件的安装件均可沿第一方向往复移动地安装在安装座上；或者，至少有一套承载组件的安装件固定在安装座上，剩余承载组件的安装件可沿第一方向往复移动地安装在安装座上。
13、通过设置安装件安装每套承载组件，将其中一个或多个安装件设置成固定式或者可移动式，即实现了相邻两套承载组件沿着第一方向的间距可调，以适配不同长度的晶棒，提高了承载组件的通用性。
14、可选的，旋转组件包括第一旋转轴和第二旋转轴，第一旋转轴和第二旋转轴均可转动地安装在安装件上，第一驱动组件被配置为驱动第一旋转轴和第二旋转轴同步转动，第一旋转轴和第二旋转轴平行间隔设置且沿第一方向延伸，第一旋转轴和第二旋转轴上均沿第一方向间隔设置有多个支撑轮，第一旋转轴和第二旋转轴上的支撑轮共同支撑晶棒。
15、通过设置第一旋转轴、第二旋转轴和多个支撑轮的配合，实现了对晶棒的支撑，通过第一旋转轴、第二旋转轴、多个支撑轮和第一驱动组件的配合，实现了驱动晶棒的自动旋转，提供了一种结构紧凑，成本低、支撑稳定可靠的旋转组件。
16、可选的，承载装置还包括第二驱动组件，第二驱动组件被配置为驱动安装座沿第二方向往复移动，以带动安装座移至上下料工位和划线工位；第二驱动组件驱动安装座移至上下料工位时，通过n套承载组件承接待划线的晶棒或将n套承载组件上划线完成的晶棒实施下料；第二驱动组件驱动安装座移至划线工位时，检测装置对划线工位上的待划线的晶棒实施检测后，划线打标装置根据检测装置的检测结果，在晶棒的相应位置处划线或打标。
17、通过设置第二驱动组件，实现了将晶棒自动移至上下料工位和划线工位，进一步提高晶棒划线机的检测和划线效率，节省人力。
18、可选的，直径检测装置包括第一移载机构和夹持机构，其中：第一移载机构的驱动端连接夹持机构，第一移载机构被配置为至少驱动夹持机构沿第一方向往复移动；夹持机构包括基座、第三驱动组件、两个移动件、两个夹持件和检测组件，两个移动件可沿第二方向靠近或远离地安装在基座上，第三驱动组件被配置为驱动两个移动件相互靠近或远离，两个夹持件分别通过弹性组件可沿第二方向活动地安装在两个移动件的相对侧，两个夹持件沿径向布置在晶棒的两侧，两个夹持件被配置为夹持晶棒，每个夹持件和相连的移动件之间分别设有检测组件，检测组件被配置为检测夹持件和相连移动件之间的距离，第一方向与第二方向垂直；第一移载机构驱动夹持机构沿晶棒的长度方向移动时，两个夹持件贴靠在晶棒的两侧，通过检测组件检测夹持件和相连移动件之间的距离，以检测晶棒的直径。
19、直径检测装置通过第一移载机构驱动夹持机构沿晶棒的长度方向移动，同时在夹持机构沿晶棒长度方向移动时，夹持机构的两个夹持件贴靠在晶棒的两侧，通过检测组件检测夹持件和相连移动件之间的距离，上位系统可以根据检测组件的检测值计算出晶棒的每一截面直径。提供了一种检测效率高、节省人力和检测精度高的直径检测装置。
20、可选的，夹持件包括活动件和滚动件，活动件通过弹性组件可沿第二方向活动地安装在相应的移动件上，滚动件可自转地安装在活动件上，滚动件被配置为夹持晶棒，第一移载机构驱动夹持机构沿第一方向移动时，两个夹持件的滚动件贴靠在晶棒的两侧并沿晶棒的长度方向滚动。
21、通过弹性组件，实现了活动件相对移动件的弹性活动连接，通过滚动件实现了夹持晶棒，同时通过将滚动件可自转地安装在活动件上，实现了在对晶棒进行直径检测时，滚动件与晶棒之间为滚动摩擦，进而大大降低了滚动件与晶棒之间的摩擦力，避免对晶棒造成损伤。提供了一种结构简单，能大大降低在晶棒直径检测时对晶棒造成损伤的夹持件。
22、可选的，弹性组件包括连接件和弹簧，连接件的第一端固定在相应的移动件上，连接件的第二端穿过相应的活动件设置，活动件可沿连接件在第二方向活动，连接件的第二端设置有防止本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶棒划线机，其特征在于，所述晶棒划线机包括承载装置、检测装置和划线打标装置，其中：
2.根据权利要求1所述的晶棒划线机，其特征在于，所述检测装置还包括电阻率检测装置，所述电阻率检测装置被配置为对所述待划线的晶棒的电阻率进行检测，所述划线打标装置还被配置为根据所述电阻率检测装置的检测结果，在晶棒的相应位置处划线或打标。
3.根据权利要求1或2所述的晶棒划线机，其特征在于，所述承载装置包括安装座和n套承载组件，其中：
4.根据权利要求3所述的晶棒划线机，其特征在于，所述承载装置还包括安装件，所述旋转组件和所述第一驱动组件设置在所述安装件上；
5.根据权利要求4所述的晶棒划线机，其特征在于，所述旋转组件包括第一旋转轴和第二旋转轴，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴均可转动地安装在所述安装件上，所述第一驱动组件被配置为驱动所述第一旋转轴和所述第二旋转轴同步转动，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴平行间隔设置且沿所述第一方向延伸，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴上均沿所述第一方向间隔设置有多个支撑轮，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴上的支撑轮共同
6.根据权利要求3所述的晶棒划线机，其特征在于，所述承载装置还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件被配置为驱动所述安装座沿第二方向往复移动，以带动所述安装座移至上下料工位和划线工位；
7.根据权利要求1或2所述的晶棒划线机，其特征在于，所述直径检测装置包括第一移载机构和夹持机构，其中：
8.根据权利要求7所述的晶棒划线机，其特征在于，所述夹持件包括活动件和滚动件，所述活动件通过所述弹性组件可沿所述第二方向活动地安装在相应的所述移动件上，所述滚动件可自转地安装在所述活动件上，所述滚动件被配置为夹持晶棒，所述第一移载机构驱动夹持机构沿第一方向移动时，两个所述夹持件的滚动件贴靠在所述晶棒的两侧并沿晶棒的长度方向滚动。
9.根据权利要求8所述的晶棒划线机，其特征在于，所述弹性组件包括连接件和弹簧，所述连接件的第一端固定在相应的移动件上，所述连接件的第二端穿过相应的所述活动件设置，所述活动件可沿所述连接件在第二方向活动，所述连接件的第二端设置有防止所述活动件脱离连接件的挡件，所述弹簧套装在连接件上，所述弹簧的第一端抵接在所述活动件上，所述弹簧的第二端抵接在相应的所述移动件上。
10.根据权利要求8所述的晶棒划线机，其特征在于，所述检测组件包括距离传感器和反射板，所述距离传感器固定安装在所述移动件上，所述反射板固定安装在所述活动件上，所述反射板与所述距离传感器相对应。
11.根据权利要求7所述的晶棒划线机，其特征在于，所述第一移载机构还被配置为驱动所述夹持机构升降，所述第一移载机构包括第一机架、第一横移座、第一横移驱动组件和第一升降驱动件，所述第一横移座可沿第一方向往复移动地安装在所述第一机架上，所述第一横移驱动组件的驱动端连接所述第一横移座，所述第一升降驱动件的固定端安装在所述第一横移座上，所述第一升降驱动件的驱动端连接所述基座。
12.根据权利要求1或2所述的晶棒划线机，其特征在于，所述视觉检测装置包括第二移载机构和相机组件，其中：
13.根据权利要求12所述的晶棒划线机，其特征在于，所述相机组件包括相机、遮光板和补光件，所述遮光板的长度小于所述晶棒的长度，所述遮光板形成有圆弧面，所述遮光板上开设有避让孔，所述相机的镜头通过所述避让孔朝向所述圆弧面的内侧拍摄；
14.根据权利要求13所述的晶棒划线机，其特征在于，所述避让孔位于所述遮光板的中心位置，所述相机固定安装在所述遮光板的上方或嵌入于所述避让孔内。
15.根据权利要求13所述的晶棒划线机，其特征在于，所述补光件包括沿着所述遮光板的长度方向延伸的至少两条灯带；
16.根据权利要求15所述的晶棒划线机，其特征在于，所述避让孔的两侧的所述灯带对称设置，所述遮光板的两侧边缘分别设有灯带安装座，所述灯带安装座沿所述遮光板的长度方向延伸布置，位于所述避让孔的同一侧的所述灯带被配置为可拆卸地安装在对应的所述灯带安装座上，且所述灯带安装座相对于所述避让孔之间的安装间距可调。
17.根据权利要求13所述的晶棒划线机，其特征在于，所述第二移载机构包括第二机架、第二横移座、第二横移驱动组件和第二升降驱动件，所述第二横移座安装在所述第二机架上，所述第二横移驱动组件的驱动端连接所述第二横移座，所述第二横移驱动组件驱动所述第二横移座沿着第一方向在所述第二机架上移动，所述第二升降驱动件的固定端安装在所述第二横移座上，所述第二升降驱动件的驱动端连接所述相机组件，所述第二升降驱动件...
【技术特征摘要】
1.一种晶棒划线机，其特征在于，所述晶棒划线机包括承载装置、检测装置和划线打标装置，其中：
2.根据权利要求1所述的晶棒划线机，其特征在于，所述检测装置还包括电阻率检测装置，所述电阻率检测装置被配置为对所述待划线的晶棒的电阻率进行检测，所述划线打标装置还被配置为根据所述电阻率检测装置的检测结果，在晶棒的相应位置处划线或打标。
3.根据权利要求1或2所述的晶棒划线机，其特征在于，所述承载装置包括安装座和n套承载组件，其中：
4.根据权利要求3所述的晶棒划线机，其特征在于，所述承载装置还包括安装件，所述旋转组件和所述第一驱动组件设置在所述安装件上；
5.根据权利要求4所述的晶棒划线机，其特征在于，所述旋转组件包括第一旋转轴和第二旋转轴，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴均可转动地安装在所述安装件上，所述第一驱动组件被配置为驱动所述第一旋转轴和所述第二旋转轴同步转动，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴平行间隔设置且沿所述第一方向延伸，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴上均沿所述第一方向间隔设置有多个支撑轮，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴上的支撑轮共同支撑晶棒。
6.根据权利要求3所述的晶棒划线机，其特征在于，所述承载装置还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件被配置为驱动所述安装座沿第二方向往复移动，以带动所述安装座移至上下料工位和划线工位；
7.根据权利要求1或2所述的晶棒划线机，其特征在于，所述直径检测装置包括第一移载机构和夹持机构，其中：
8.根据权利要求7所述的晶棒划线机，其特征在于，所述夹持件包括活动件和滚动件，所述活动件通过所述弹性组件可沿所述第二方向活动地安装在相应的所述移动件上，所述滚动件可自转地安装在所述活动件上，所述滚动件被配置为夹持晶棒，所述第一移载机构驱动夹持机构沿第一方向移动时，两个所述夹持件的滚动件贴靠在所述晶棒的两侧并沿晶棒的长度方向滚动。
9.根据权利要求8所述的晶棒划线机，其特征在于，所述弹性组件包括连接件和弹簧，所述连接件的第一端固定在相应的移动件上，所述连接件的第二端穿过相应的所述活动件设置，所述活动件可沿所述连接件在第二方向活动，所述连接件的第二端设置有防止所述活动件脱离连接件的挡件，所述弹簧套装在连接件上，所述弹簧的第一端抵接在所述活动件上，所述弹簧的第二端抵接在相应的所述移动件上。
10.根据权利要求8所述的晶棒划线机，其特征在于，所述检测组件包括距离传感器和反射板，所述距离传感器固定安装在所述移动件上，所述反射板固定安装在所述活动件上，所述反射板与所述距离传感器相对应。
11.根据权利要求7所述的晶棒划线机，其特征在于，所述第一移载机构还被配置为驱动所述夹持机构升降，所述第一移载机构包括第一机架、第一横移座、第一横移驱动组件和第一升降驱动件，所述第一横移座可沿第一方向往复移动地安装在所述第一机架上，所述第一横移驱动组件的驱动端连接所述第一横移座，所述第一升降驱动件的固定端安装在所述第一横移座上，所述第一升降驱动件的驱动端连接所述基座。
12.根据权利要求1或2所述的晶棒划线机，其特征在于，所述视觉检测装置包括第二移载机构和相机组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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