【技术实现步骤摘要】
本申请属于长晶领域，具体地说，涉及一种旋转接头、坩埚升降旋转机构及长晶炉。
技术介绍
1、长晶炉是用于生产碳化硅单晶的一种设备，将高纯度的碳化硅微粉和籽晶分别置于长晶炉内的坩埚中，通过控制坩埚内的温度，以生产出碳化硅单晶，因此需要对坩埚内的温度进行实时测试。
2、目前采用的坩埚内的温度测试方式是在长晶炉的炉体内一处固定位置进行测量，这种测量方式只能针对某一处位置进行，由于坩埚内不同位置是存在温差的，因而单一测量值并不能反映坩埚内的实际温度状况，而温度控制对长晶会产生较大影响。
技术实现思路
1、针对当前单一测量值并不能反映坩埚内的实际温度的问题。
2、第一方面，本申请提出了一种旋转接头，包括固定本体、旋转本体、通孔、冷却通道、冷却入口和冷却出口，其中：固定本体具有容纳旋转本体的安装腔，旋转本体穿过安装腔设置在固定本体内，旋转本体可相对于固定本体旋转；
3、通孔沿第一方向贯穿旋转本体，用于为坩埚底部的温度测量提供测量通道；
4、冷却通道设置在固...
【技术保护点】
1.一种旋转接头，其特征在于，所述旋转接头包括固定本体、旋转本体、通孔、冷却通道、冷却入口和冷却出口，其中：所述固定本体具有容纳所述旋转本体的安装腔，所述旋转本体穿过所述安装腔设置在所述固定本体内，所述旋转本体可相对于所述固定本体旋转；
2.根据权利要求1所述的旋转接头，其特征在于，所述冷却通道包括第一柱形通道、第二柱形通道、第一环形通道和第二环形通道，其中：
3.根据权利要求2所述的旋转接头，其特征在于，所述第一柱形通道至少设置有两个，至少两个所述第一柱形通道沿所述第一环形通道均匀设置；
4.根据权利要求2所述的旋转接头，其特征在...
【技术特征摘要】
1.一种旋转接头，其特征在于，所述旋转接头包括固定本体、旋转本体、通孔、冷却通道、冷却入口和冷却出口，其中：所述固定本体具有容纳所述旋转本体的安装腔，所述旋转本体穿过所述安装腔设置在所述固定本体内，所述旋转本体可相对于所述固定本体旋转；
2.根据权利要求1所述的旋转接头，其特征在于，所述冷却通道包括第一柱形通道、第二柱形通道、第一环形通道和第二环形通道，其中：
3.根据权利要求2所述的旋转接头，其特征在于，所述第一柱形通道至少设置有两个，至少两个所述第一柱形通道沿所述第一环形通道均匀设置；
4.根据权利要求2所述的旋转接头，其特征在于，所述第一环形通道垂直于所述第一方向设置；和/或，所述第二环形通道垂直于所述第一方向设置。
5.根据权利要求2所述的旋转接头，其特征在于，所述第一环形通道相对于所述第一方向倾斜设置，所述冷却入口设置在所述第一环形通道所处倾斜面的低处；和/或，
6.根据权利要求1所述的旋转接头，其特征在于，所述旋转本体与所述固定本体通过轴承连接，且所述旋转本体与所述固定本体之间设置有密封件。
7.一种坩埚升降旋转机构，其特征在于，所述坩埚升降旋转机构...
【专利技术属性】
技术研发人员：高为正，顾彬彬，蒋陶鑫，陈佳伟，黄剑雄，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。