下载一种旋转接头、坩埚升降旋转机构及长晶炉的技术资料

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本申请公开了一种旋转接头、坩埚升降旋转机构及长晶炉,其中旋转接头包括固定本体、旋转本体、通孔、冷却通道、冷却入口和冷却出口,其中:固定本体具有容纳旋转本体的安装腔,旋转本体穿过安装腔设置在固定本体内,旋转本体可相对于固定本体旋转;通孔沿第一...
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