【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉防堵塞装置
[0001]本技术涉及单晶炉防堵塞设备
,具体为一种单晶炉防堵塞装置。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。其基本原理是:将多晶体硅料经加热熔化,待温度合适后。经过骸籽晶浸入,熔接,引晶,放肩,转肩,等经,收尾等步骤,完成一根单晶锭的拉制。直拉单晶硅生产过程中的拆炉流程是在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行的,正常情况下是取出晶体,对炉内的挥发物进行清除,并用酒精擦洗。检查热场(石墨托碗、加热器、电极等)是否正常,并根据生产炉次对机械真空泵进行清洗换油。然后进入下一炉的生产流程:装料
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抽真空
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化料
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拉制
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停炉
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拆炉。
[0003]现有的单晶炉主要包括主炉室、副室、晶体提拉机构、抽真空装置、充惰性气体装置等。在向单晶炉中装入物料后,需要对单晶炉进行抽真空,之后再充入惰 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉防堵塞装置,包括横梁(1),其特征在于:所述横梁(1)的一侧对称设置有两组连杆(2),两组所述连杆(2)之间设置有手柄(3),所述横梁(1)的另一侧开设有滑槽(4),所述滑槽(4)的内部对称滑动安装有两组滑块(5),所述滑块(5)的底部固定连接有刮板(6),所述滑块(5)上设置有定位组件(7),所述横梁(1)的底部两侧设置有固定组件(8),所述手柄(3)上套接有防滑橡胶套(15)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉防堵塞装置,其特征在于:所述定位组件(7)包括定位螺孔(701)和定位螺杆(702),所述滑块(5)的一端开设有定位螺孔(701),所述定位螺孔(701)的内部螺纹安装有定位螺杆(702)。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉防堵塞装置,其特征在于:所述滑槽(4)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:冉建锋,
申请(专利权)人:苏州华洋能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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