包含变压器和/或变压器耦合组合器的射频分配电路制造技术

一种变压器包含初级线圈和次级线圈。该初级线圈包含：第一同轴缆线的第一屏蔽件；第二同轴缆线的第二屏蔽件；以及将该第一屏蔽件连接至该第二屏蔽件的导电互连件。该次级线圈包含：该第一同轴缆线的第一芯；该第二同轴缆线的第二芯；以及将该第一芯连接至该第二芯的成对的导线。对的导线。对的导线。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包含变压器和/或变压器耦合组合器的射频分配电路
相关申请的交叉引用
[0001]本申请要求于2019年10月1日申请的美国临时申请No.62/908,846的权益。上述引用的申请其全部公开内容都通过引用合并于此。


[0002]本公开涉及半导体和固态装置的制造及处理设备，尤其涉及衬底处理系统的射频(RF)分配电路。

技术介绍

[0003]这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。当前指定的专利技术人的工作在其在此
技术介绍
部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面中描述的范围内既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。
[0004]衬底处理系统可用于处理衬底，例如半导体晶片。衬底处理的示例包含蚀刻、沉积等。在处理期间，将衬底放置在如静电卡盘(ESC)之类的衬底支撑件上并可将一或多种处理气体导入处理室中。
[0005]一或多种处理气体可通过气体输送系统输送至处理室。在一些系统中，气体输送系统包含连接至处理室中的喷头的歧管。例如，在蚀刻处理期间，可以将衬底放置在衬底处理系统中的ESC上并蚀刻衬底上的薄膜。又例如，利用原子层沉积(ALD)将薄膜沉积在衬底上。在衬底处理期间，可以将一或多个RF信号供给至喷头的电极以调整等离子体离子化密度以及离子化能量。

技术实现思路

[0006]提供了一种变压器，其包含初级线圈和次级线圈。所述初级线圈包含：第一同轴缆线的第一屏蔽件；第二同轴缆线的第二屏蔽件；以及导电互连件，其将所述第一屏蔽件连接至所述第二屏蔽件。所述次级线圈包含：所述第一同轴缆线的第一芯；所述第二同轴缆线的第二芯；以及成对的导线，其将所述第一芯连接至所述第二芯。
[0007]在其他特征中，所述第一同轴缆线平行于所述第二同轴缆线延伸。在其他特征中，所述第一芯、所述第二芯以及所述成对的导线的长度的总和是以下至少一者：基于或等于所述第一同轴缆线和所述第二同轴缆线中的每一者的长度的倍数。在其他特征中，所述第一同轴缆线和所述第二同轴缆线中的每一者的长度是以下至少一者：基于或等于由所述变压器所传输的射频信号的波长的分数倍数。
[0008]在其他特征中，提供了一种射频分配电路，其包含射频产生器和所述变压器。所述射频产生器用于产生第一射频信号，所述第一射频信号包含在一定射频下的频率分量。所述变压器用于将所述第一射频信号转换为第二射频信号，所述第二射频信号包含在所述第一射频下的频率分量。
[0009]在其他特征中，提供了一种衬底处理系统，其包含：所述射频分配电路；处理室；喷
头以及衬底支撑件。所述喷头包含电极且被安置(implemented)在所述处理室中。所述衬底支撑件被安置在所述处理室中邻近所述喷头。所述变压器用于将所述第二射频信号供给至所述电极。
[0010]在其他特征中，提供了一种射频分配电路，其包含第一滤波器、第二滤波器、第一匹配网络、第二匹配网络以及变压器耦合组合器。所述第一滤波器用于从至少一个射频产生器接收第一射频信号和第二射频信号并且滤除所述第一射频信号，所述第一射频信号处于第一频率下且所述第二射频信号处于第二频率下，且所述第二频率小于所述第一频率。第二滤波器用于从所述至少一个射频产生器接收所述第一射频信号和所述第二射频信号并滤除所述第一射频信号。所述第一匹配网络用于使所述至少一个射频产生器的输出与所述第一滤波器的输入匹配。所述第二匹配网络用于使所述至少一个射频产生器的输出与所述第二滤波器的输入匹配。所述变压器耦合组合器用于：将所述第一射频信号转换为第三射频信号；将所述第二射频信号转换为第四射频信号；以及组合所述第一射频信号与所述第二射频信号、或组合所述第三射频信号与所述第四射频信号。所述第三射频信号包含处于所述第一射频下的频率分量。所述第四射频信号包含处于所述第二射频下的频率分量。
[0011]在其他特征中，所述变压器耦合组合器包含：第一变压器，其用于接收所述第一滤波器的输出；以及第二变压器，其用于接收所述第二滤波器的输出。
[0012]在其他特征中，所述第一变压器包含初级线圈和次级线圈。所述初级线圈连接至所述第一滤波器。所述第二变压器包含初级线圈和次级线圈。所述初级线圈连接至所述第二滤波器以及所述第一变压器的所述初级线圈。所述次级线圈连接至所述第一变压器的所述次级线圈。
[0013]在其他特征中，所述第一变压器的所述初级线圈和所述次级线圈连接至地参考电位。所述第二变压器的所述初级线圈和所述次级线圈连接至所述地参考电位。
[0014]在其他特征中，所述第一变压器包含初级线圈和次级线圈。所述初级线圈包含：第一同轴缆线的第一屏蔽件；第二同轴缆线的第二屏蔽件；以及导电互连件，其将所述第一屏蔽件连接至所述第二屏蔽件。所述次级线圈包含：所述第一同轴缆线的第一芯；所述第二同轴缆线的第二芯；以及成对的导线，其将所述第一芯连接至所述第二芯。
[0015]在其他特征中，所述第一同轴缆线平行于所述第二同轴缆线延伸。在其他特征中，所述第一芯、所述第二芯以及所述成对的导线的长度的总和是以下至少一者：基于或等于所述第一同轴缆线和所述第二同轴缆线中的每一者的长度的倍数。在其他特征中，所述第一同轴缆线和所述第二同轴缆线中的每一者的长度是以下至少一者：基于或等于所述第一射频信号的波长的分数倍数。
[0016]在其他特征中，所述变压器耦合组合器包含第一变压器。所述第一变压器包含：第一初级线圈，其连接至所述第一滤波器；第二初级线圈，其连接至所述第二滤波器；第一次级线圈，其被连接以接收所述第三射频信号；以及第二次级线圈，其被连接以接收所述第四射频信号。
[0017]在其他特征中，所述第一变压器包含第三次级线圈。所述第三次级线圈用于接收第五射频信号。所述第五射频信号包含处于所述第一频率下的频率分量和处于所述第二频率下的频率分量。
[0018]在其他特征中，所述变压器耦合组合器包含第一初级线圈、第二初级线圈、第一次
级线圈、第二次级线圈。所述第一初级线圈连接至所述第一滤波器。第二初级线圈连接至所述第二滤波器。第一次级线圈输出所述第三射频信号。所述第三射频信号包含分别处于所述第一射频和所述第二射频下的频率分量。第二次级线圈输出所述第四射频信号。所述第四射频信号包含分别处于所述第一射频和所述第二射频下的频率分量。
[0019]在其他特征中，所述变压器耦合组合器包含第三次级线圈和第四次级线圈。所述第三次级线圈输出第五射频信号。所述第五射频信号包含分别处于所述第一射频和所述第二射频下的频率分量。所述第四次级线圈输出第六射频信号。所述第六射频信号包含分别处于所述第一射频和所述第二射频下的频率分量。
[0020]在其他特征中，提供了一种衬底处理系统，其包含：所述射频分配电路；处理室；喷头和衬底支撑件。所述喷头包含电极且被安置在所述处理室中。所述衬底支撑件被安置在所述处理室中邻近所述喷头。
[0021]还提供了一种将RF功率供给至衬底处理系统中的电极的RF分配电路，其包含第一RF产生器、第一滤波器、第一匹配网络以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种变压器，其包含：初级线圈，其包含：第一同轴缆线的第一屏蔽件；第二同轴缆线的第二屏蔽件；以及导电互连件，其将所述第一屏蔽件连接至所述第二屏蔽件；以及次级线圈，其包含：所述第一同轴缆线的第一芯；所述第二同轴缆线的第二芯；以及成对的导线，其将所述第一芯连接至所述第二芯。2.根据权利要求1所述的变压器，其中所述第一同轴缆线平行于所述第二同轴缆线延伸。3.根据权利要求1所述的变压器，其中所述第一芯、所述第二芯以及所述成对的导线的长度的总和是以下至少一者：基于或等于所述第一同轴缆线和所述第二同轴缆线中的每一者的长度的倍数。4.根据权利要求1所述的变压器，其中所述第一同轴缆线和所述第二同轴缆线中的每一者的长度是以下至少一者：基于或等于由所述变压器所传输的射频信号的波长的分数倍数。5.一种射频分配电路，其包含：射频产生器，其用于产生第一射频信号，所述第一射频信号包含在一定射频下的频率分量；以及根据权利要求1所述的变压器，其中所述变压器用于将所述第一射频信号转换为第二射频信号，所述第二射频信号包含在所述第一射频下的频率分量。6.一种衬底处理系统，其包含：根据权利要求5所述的射频分配电路；处理室；喷头，其包含电极且被安置在所述处理室中；以及衬底支撑件，其被安置在所述处理室中邻近所述喷头，其中所述变压器用于将所述第二射频信号供给至所述电极。7.一种射频分配电路，其包含：第一滤波器，其用于从至少一个射频产生器接收第一射频信号和第二射频信号并且滤除所述第一射频信号，所述第一射频信号处于第一频率下且所述第二射频信号处于第二频率下，且所述第二频率小于所述第一频率；第二滤波器，其用于从所述至少一个射频产生器接收所述第一射频信号和所述第二射频信号并滤除所述第一射频信号；第一匹配网络，其用于使所述至少一个射频产生器的输出与所述第一滤波器的输入匹配；第二匹配网络，其用于使所述至少一个射频产生器的输出与所述第二滤波器的输入匹配；以及变压器耦合组合器，其用于：将所述第一射频信号转换为第三射频信号；将所述第二射频信号转换为第四射频信号；以及组合所述第一射频信号与所述第二射频信号、或组合所
述第三射频信号与所述第四射频信号，所述第三射频信号包含处于所述第一射频下的频率分量，且所述第四射频信号包含处于所述第二射频下的频率分量。8.根据权利要求7所述的射频分配电路，其中所述变压器耦合组合器包含：第一变压器，其用于接收所述第一滤波器的输出；以及第二变压器，其用于接收所述第二滤波器的输出。9.根据权利要求8所述的射频分配电路，其中，所述第一变压器，其包含：初级线圈，其连接至所述第一滤波器；以及次级线圈；以及所述第二变压器，其包含：初级线圈，其连接至所述第二滤波器以及所述第一变压器的所述初级线圈；以及次级线圈，其连接至所述第一变压器的所述次级线圈。10.根据权利要求9所述的射频分配电路，其中：所述第一变压器的所述初级线圈和所述次级线圈连接至地参考电位，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏尼尔，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：