一种脉冲化学气相沉积Al2O3膜层的方法技术

本发明专利技术公开了一种脉冲化学气相沉积Al2O3膜层的方法。包括以下步骤：(1)预处理；(2)清除；(3)第一个半反应；(4)部分清除；(5)第二个半反应；(6)清除。本发明专利技术沉积温度比化学气相沉积和金属有机化学气相沉积的反应温度更低，条件更加温和，且过程更加安全可控。本发明专利技术提供的沉积方法操作简单，Al2O3膜层厚度可控，所得膜层非常均匀致密。沉积温度比化学气相沉积和金属有机化学气相沉积的反应温度更低，条件更加温和。采用的前驱体为AlCl3和H2O，安全易得。安全易得。

【技术实现步骤摘要】
一种脉冲化学气相沉积Al2O3膜层的方法


[0001]本专利技术属于脉冲化学气相沉积
，具体涉及一种脉冲化学气相沉积Al2O3膜层的方法。

技术介绍

[0002]二氧化钛(TiO2)是一种多功能材料，广泛用作催化剂、白色颜料、光伏太阳能电池、催化剂载体、紫外吸收剂等方面。对TiO2进行改性可以提高其性能，在实际应用中有着十分重要的意义。TiO2是一种典型的具有光催化活性的半导体材料，在紫外光的激发下，可以产生高活性的自由基(
·
OH，
·
O2‑
)降解有机分子。一方面，水处理、空气净化、太阳能电池等领域的研究集中于利用和提高TiO2的光催化活性；另一方面，在涂料、塑料、造纸等行业，往往需要抑制TiO2的光催化活性。因此，调节TiO2的光催化活性可以使其更好地应用于多个领域。
[0003]TiO2作为催化剂，由于具有化学稳定性、耐光腐蚀、环保无毒、高效等优点吸引了众多研究者的关注。但是TiO2的禁带宽度较大，只能吸收紫外光，可吸收光谱只占总光谱的5％左右，且载流子的快速复合和缓慢的电荷迁移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种脉冲化学气相沉积Al2O3膜层的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)预处理于120～170℃加热基底材料2～5h后，置于反应器中；(2)清除将前驱体AlCl3置于反应器中并密封，然后去除反应器内的空气；(3)第一个半反应将反应器加热至150～240℃，使AlCl3和基底材料反应4～18h；(4)部分清除调整反应器真空度为
‑
0.09～
‑
0.01MPa，部分清除反应器器内剩余的AlCl3和反应副产物；(5)第二个半反应向反应器内通入空气，以空气中的水作为前驱体继续反应1～3h；(6)清除去除反应器内的剩余前驱体和反应副产物。2.根据权利要求1所述的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟山，杨柯，黄先良，唐思扬，岳海荣，马奎，刘长军，宋磊，梁斌，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：发明
国别省市：