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本发明公开了一种脉冲化学气相沉积Al2O3膜层的方法。包括以下步骤：(1)预处理；(2)清除；(3)第一个半反应；(4)部分清除；(5)第二个半反应；(6)清除。本发明沉积温度比化学气相沉积和金属有机化学气相沉积的反应温度更低，条件更加温和...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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