在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币技术

本申请具体涉及在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币，属于原子层沉积领域，包括步骤：前驱体沉积：将第一前驱体沉积在衬底表面，得到沉积膜；前驱体反应：将第二前驱体与所述沉积膜进行反应，得到二氧化硅层；循环进行所述前驱体沉积和所述前驱体反应，直至所述二氧化硅层的厚度达到目标厚度，得到二氧化硅膜；其中，所述第二前驱体包括含硅前驱体和含氧前驱体。通过首先在衬底上沉积第一前驱体，得到沉积膜，然后再将含氧前驱体和含硅前驱体与沉积膜反应，得到二氧化硅层，多次循环沉积后得到二氧化硅膜，二氧化硅膜硬度高，耐磨性强，进而沉积在银币表面时使得银币表面耐磨性强。耐磨性强。耐磨性强。

【技术实现步骤摘要】
在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币


[0001]本申请涉及原子层沉积领域，尤其涉及一种在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币。

技术介绍

[0002]银具有白色金属光泽，在纪念币、奖章、首饰、装饰品等方面有广泛应用。近年来，由于经济的快速发展，银制纪念币也越来越收到收藏爱好者的喜爱。但是由于银币表面活性较强，与空气、汗渍接触一段时间后，存在金属光泽变得暗淡甚至出现发黑的现象，会严重影响银币表面的观感及质量。原因是多种腐蚀介质及环境因素导致银币表面发生了硫化和氧化反应。通常，对于银币表面的防护处理主要有电镀贵金属表面处理、电化学及化学钝化法。
[0003]电镀贵金属表面处理需要一定的贵金属厚度才能防止银币表面变色，但是会改变银币表面的金属光泽，且成本高昂；电化学及化学钝化法形成的无机钝化膜由于膜层不致密，结构比较复杂，对于一些图形结构难以全部覆膜，效果并不好。原子层沉积技术可以有效的解决上述问题。现有技术中，在银币表面用原子层沉积生长的主要是三氧化二铝和二氧化钛，但三氧化二铝和二氧化钛的耐磨性不佳。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在银币表面制备二氧化硅膜的方法，其特征在于，包括步骤：前驱体沉积：将第一前驱体沉积在衬底表面，得到沉积膜；前驱体反应：将第二前驱体与所述沉积膜进行反应，得到二氧化硅层；循环进行所述前驱体沉积和所述前驱体反应，直至所述二氧化硅层的厚度达到目标厚度，得到二氧化硅膜；其中，所述第二前驱体包括含硅前驱体和含氧前驱体。2.根据权利要求1所述的在银币表面制备二氧化硅膜的方法，其特征在于，所述第一前驱体包括含铝前驱体、含锌前驱体、含钛前驱体中的一种或多种，其中，所述含铝前驱体包括AlCl3、Al(Me)3、Al(Me)2Cl、Al(Et)3和Al(OEt)3中的一种或多种。3.根据权利要求1所述的在银币表面制备二氧化硅膜的方法，其特征在于，所述含硅前驱体包括SiH[N(Me)2]3、SiH2[N(CH2CH3)2]2、[CH3CH2C(CH3)2O]3SiOH和[(CH3)3CO]3SiOH中的一种或多种，所述含氧前驱体包括H2O和O3中的一种或多种。4.根据权利要求1所述的在银币表面制备二氧化硅膜的方法，其特征在于，所述衬底的材料为银。5.根据权利要求1所述的在银币表面制备二氧化硅膜的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浙加，李明，明帅强，夏洋，冯嘉恒，
申请(专利权)人：嘉兴科民电子设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：