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本申请具体涉及在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币，属于原子层沉积领域，包括步骤：前驱体沉积：将第一前驱体沉积在衬底表面，得到沉积膜；前驱体反应：将第二前驱体与所述沉积膜进行反应，得到二氧化硅层；循环进行所述前驱体沉积和所述前驱...
该专利属于嘉兴科民电子设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴科民电子设备技术有限公司授权不得商用。

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