【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备
[0001]本专利技术涉及化学气相沉积膜设备
，特别是一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备。
技术介绍
[0002]典型的化学气相沉积工艺是将基材暴露在一种或多种不同的前趋物下，在高温、等离子等反应条件下，让多种气相发生化学反应或/及化学分解，在基材表面产生被沉积的薄膜。相对于等离子技术，热丝法可制备大面积金刚石薄膜，且综合成本最低，具有良好的工业推广潜能，
[0003]目前市场上主流设备生产厂家的设备通常只有一个反应腔，不能同时进行多种工艺，由于沉积不同层次的薄、不同尺寸的膜时，气相的成分和流量不一样，所需的温度也不一样，这样当一种工艺完成后进行另一种工艺时，更改反应条件需要的时间较长，从而造成较高的成本，还会引起瑕疵，造成质量问题。例如，金刚石膜材料沉积时，所需的工作温度范围从1600摄氏度到2400摄氏度，反应压力在5
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100毫巴之间，反应的气相在氢气、甲烷、乙硼烷、氧气、氮气中形成不同的排列组合，适用于不同形态的膜，再加上热丝的使...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，包括：化学气相沉积反应箱，其特征在于，所述化学气相沉积反应箱的内侧安装于分流腔结构、运输结构、清洁结构以及气体调节结构；所述分流腔结构包含有：若干个分流反应腔、活性气体罐、若干个中转箱、若干个中转引流阀门、抽气泵、分流阀门、若干个引流管以及密封组件；若干个所述分流反应腔均匀的安装于所述化学气相沉积反应箱的内侧，所述活性气体罐安装于所述化学气相沉积反应箱上，若干个所述中转箱分别安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述中转引流阀门分别插装于若干个所述分流反应腔上，且若干个所述中转引流阀门分别插装于若干个所述中转箱上，所述抽气泵安装于所述活性气体罐上，所述分流阀门安装于所述抽气泵上，且所述分流阀门连接于若干个所述引流管上，若干个所述引流管分别插装于若干个所述分流负压腔上，所述密封组件分别安装于若干个所述分流反应腔上。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，所述运输结构包含有：多项式螺纹杆、若干个搬运螺纹管、若干个限位轴、若干个载物凹型搬运块、搬运驱动机、若干个热丝、若干个钼电极、若干个热丝支架以及升降组件；所述多项式螺纹杆通过轴承插装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述限位轴分别插装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述搬运螺纹管分别插装于若干个所述载物凹型搬运块上，若干个所述搬运螺纹管分别套装于多项式螺纹杆上，所述搬运驱动机安装于所述化学气相沉积反应箱上，若干个所述热丝支架分别通过升降组件安装于若干个所述载物凹型搬运块上，若干个所述热丝以及若干个所述钼电极分别安装于若干个所述热丝支架以及若干个所述载物凹型搬运块上。3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，所述气体调节结构包含有：若干个分流圆环管、若干个网状分流管、若干个中转收集箱、若干个抽气收集泵、若干个电热管、若干个冷却管以及若干个散热器；若干个所述分流圆环管分别安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述网状分流管分别连接于若干个所述引流管上，且若干个所述网状分流管分别连接于若干个所述分流圆环管上，若干个所述中转收集箱分别安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述抽气收集泵分别连接于若干个所述中转收集箱上，且若干个所述抽气收集泵另一端分别连接于若干个所述分流反应腔上，若干个所述电热管以及若干个所述冷却管分别连接于若干个所述中转箱上，若干个所述散热器分别安装于若干个所述中转箱的外侧上。4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积设备内部配件的清洁设备，其特征在于，所述清洁结构包含有：若干个限位轴管、若干个电磁圆环、若干个磁铁圆环、若干个回形清洁块以及若干个回形清洁刷；若干个所述限位轴管分别两两平行安装于若干个所述分流反应腔上，若干个所述回形清洁块分别套装于若干个所述限位轴管上，若干个所述电磁铁圆环分别水平平行套装于若干个所述限位轴管上，若干个所述磁铁圆环分别安装于若干个所述回形清洁块，若干个所述回形清洁刷分别安装于...
【专利技术属性】
技术研发人员：王萍，
申请(专利权)人：德州智南针机械科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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