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本发明公开了一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备，本发明的有益效果是，复杂的工艺条件和顺序下，沉积工艺可以在多腔体中按照工艺顺序进行传递，尤其是在会产生具有毒性、高污染的物质的工艺段中，一个相对独立的腔体尤其重要，可以采用特殊的材质...
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