晶片外观检测仪制造技术

技术编号:33409839 阅读:42 留言:0更新日期:2022-05-11 23:37
本实用新型专利技术旨在提供一种能自动补料和调节工作环境湿度,替代人工操作,大大提升检测效率和精度的晶片外观检测仪。它包括机台1、设置在机台1上的转盘2、振动上料盘3、晶片外观检测机构、下料吹气机构、良品收料机构以及不良品收料盘4,振动上料盘3、晶片外观检测机构、下料吹气机构依次设置在转盘2外侧,良品收料机构以及不良品收料盘4设置位置与下料吹气机构位置对应,振动上料盘3一侧还设置有螺纹补料机5以及感应摄像头6,感应摄像头6对准振动上料盘3并与螺纹补料机5电性连接,在转盘2中央设置有温湿度传感器7,在机台1上还设置有加湿器8,加湿器8与温湿度传感器7电性连接。本实用新型专利技术可应用于晶片加工领域。新型可应用于晶片加工领域。新型可应用于晶片加工领域。

【技术实现步骤摘要】
晶片外观检测仪


[0001]本技术涉及一种晶片加工设备,尤其涉及一种晶片外观检测仪。

技术介绍

[0002]石英晶体是硅石的一种,是目前世界上用量最大的晶体。利用石英晶体本身的物理特性制作的电子元件,具有很高的频率稳定性,广泛用于数字电路、计算机、通讯等领域。它的作用就是在电子线路中作为频率源或频率基准。随着通讯、电子技术的发展,对石英晶片的需求量也相应大幅度上升。天然的和人工制造的石英晶体都是六角锥形,具有各向异性的物理特性。晶振中的各种晶片,就是按照与各轴不同角度,切割成正方形、长方形、圆形的薄片,不同切型的晶片性能有所不同。石英晶片在晶片分频后需要进行外观的检测,外观检测的目的是剔除崩边、亮点、表面污染等影响晶体电性能的缺陷。传统的外观测试采用人工放大镜方式肉眼观察,检测速度慢、判断有误差,工作效率低;市面上的石英晶片检测仪器亦无法做到完全自动化,由于石英晶片加工需要在十万级无尘车间内进行,工作人员进入时需要穿戴工服、口罩、头罩、鞋套等等,如果检测仪器每次加料、调整湿度等均需要人工操作,效率将会非常低。
技术内
[000本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片外观检测仪,它包括机台(1)、设置在所述机台(1)上的转盘(2)、振动上料盘(3)、晶片外观检测机构、下料吹气机构、良品收料机构以及不良品收料盘(4),所述振动上料盘(3)、所述晶片外观检测机构、所述下料吹气机构依次设置在所述转盘(2)外侧,所述良品收料机构以及所述不良品收料盘(4)设置位置与所述下料吹气机构位置对应,其特征在于:所述振动上料盘(3)一侧还设置有螺纹补料机(5)以及感应摄像头(6),所述感应摄像头(6)对准所述振动上料盘(3)并与所述螺纹补料机(5)电性连接,在所述转盘(2)中央设置有温湿度传感器(7),在所述机台(1)上还设置有加湿器(8),所述加湿器(8)与所述温湿度传感器(7)电性连接。2.根据权利要求1所述的晶片外观检测仪,其特征在于:所述螺纹补料机(5)包括机壳(51)、设置在所述机壳(51)正面并位于所述振动上料盘(3)上方的出料口(52)、设置在所述机壳(51)背面的进料口(53)以及设置在所述机壳(51)内并所述出料口(52)以及所述进料口(53)相连通的螺纹槽(54),所述螺纹槽(54)在电机驱动下与所述机壳(51)转动配合。3.根据权利要求1所述的晶片外观检测仪,其特征在于:所述晶片外观检测机构包括正面检测器(9)和反面检测器(10),所述正面检测器(9)包括固定设置在所述机台(1)上的第一支座(91)、设置在所述第一支座(91)上并位于所述转盘(2)上方的第一摄像头(92)以及第一光圈(93),所述第一摄像头(92)设置在所述第一光圈(93)上方并与...

【专利技术属性】
技术研发人员:谢尚平孙黎明刘兴波
申请(专利权)人:珠海东锦石英科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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