一种晶圆保持器的安装检具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆保持器的安装检具，所述安装检具的主体呈圆环形结构，所述圆环形结构的中间位置设有通孔，所述通孔分为上部通孔和下部通孔，前者的直径大于后者，使得安装检具的内环形成阶梯结构，阶梯平面上设有至少三个腰形凸起，腰形凸起均匀位于同一圆周上；所述圆环形结构的环形侧壁上设有贯穿外壁和上部通孔内壁的侧孔，侧孔的数量至少为三个，沿环形侧壁均匀分布。本实用新型专利技术所述安装检具根据晶圆保持器的结构进行设计，采用检具对晶圆保持器的整体结构尺寸及其上相应结构的位置等特征进行检测，保证晶圆保持器结构尺寸的精确性，使之安装时能够与溅射机台的结构相匹配，无需返工操作，降低生产成本，提高客户满意度。满意度。满意度。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆保持器的安装检具


[0001]本技术属于半导体产品检测
，涉及一种晶圆保持器的安装检具。

技术介绍

[0002]半导体晶圆是现代电子行业的基础，是制作硅半导体电路的基础部件，随着半导体技术的不断发展，对晶圆品质的要求在逐渐提高，因而对其生产加工过程也会有更高的要求。晶圆的生产过程通常需要与晶圆保持器配套使用，晶圆保持器起到支撑晶圆的作用，为了与晶圆的结构相匹配，晶圆保持器通常为环形结构，使用时安装到溅射机台，该晶圆保持器的结构与机台是否匹配对晶圆的生产及应用具有重要影响。
[0003]目前，晶圆保持器的生产一般是根据图纸尺寸进行加工，在使用前并未经过实际安装，若直接发货给客户端，经常存在安装不匹配的问题，需要进行返回，费时费力，成本较高，因而需要将晶圆保持器加工完成后，先进行结构及尺寸的检验，而相应检具的结构设计需要与晶圆保持器的结构相匹配，尤其是与机台安装相关的结构部件。
[0004]CN 106033738A公开了一种晶圆保持器，其包括保持器主体、支撑件及限制件，其中保持器主体具有圆形通孔，支撑件包含支撑主体及多个支撑脚，所述支撑主体固定于圆形通孔上，所述支撑脚间隔环设于该支撑主体的内侧壁，用以支撑晶圆，限制件固定于支撑主体上，且位于相邻两支撑脚之间，其中限制件设置对应朝向该晶圆的一平边，用以限制晶圆产生转动；该专利主要介绍了晶圆保持器的结构特征，并未涉及到安装时是否匹配，也没有明确需要进行结构尺寸的检测。
[0005]CN 213026092U公开了一种保持半导体晶圆的设备，该设备包括晶圆搬运器和与晶圆接触的晶圆保持器，所述晶圆搬运器和所述晶圆保持器通过全轴线形状锁定和末端位置固定连接而被连接。该设备只介绍了晶圆搬运器和晶圆保持器的位置及连接关系，并未涉及到晶圆保持器的具体结构，也并未明确晶圆保持器安装前需要进行尺寸检测。
[0006]综上所述，为保证晶圆保持器安装时结构尺寸的匹配性，需要涉及相应的安装检具，使之能够提前对晶圆保持器的结构进行检测，减少返工，降低成本，更好的满足使用要求。

技术实现思路

[0007]针对现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种晶圆保持器的安装检具，所述安装检具根据晶圆保持器的结构进行设计，采用检具对晶圆保持器的整体结构尺寸及其上相应结构的位置等特征进行检测，使之安装于溅射机台时的匹配性较好，满足装配要求，减少返工操作，降低成本。
[0008]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0009]本技术提供了一种晶圆保持器的安装检具，所述安装检具的主体呈圆环形结构，所述圆环形结构的中间位置设有通孔，所述通孔分为上部通孔和下部通孔，所述上部通孔的直径大于下部通孔的直径，使得安装检具的内环形成阶梯结构；所述阶梯结构的阶梯
平面上设有至少三个腰形凸起，所述腰形凸起均匀位于同一圆周上，所述腰形凸起的圆周上还设有螺丝孔；
[0010]所述圆环形结构的环形侧壁上设有贯穿外壁和上部通孔内壁的侧孔，所述侧孔的数量至少为三个，沿环形侧壁均匀分布。
[0011]本技术中，由于晶圆生产要求的精细性，对溅射机台上晶圆保持器的安装也有严格的要求，因而需要在生产后进行结构及尺寸的检测，以避免在使用端安装不匹配的问题；本技术所述安装检具的主体结构与晶圆保持器相匹配，在圆环形结构中设置梯级通孔，使得晶圆保持器能够置于通孔中，梯级平面起到支撑作用；同时梯级平面上设置腰形凸起便于与晶圆保持器中的腰型槽相匹配，环形侧壁上设置的侧孔也是与晶圆保持器侧面上的安装孔相匹配，通过上述结构的对应能够将晶圆保持器固定在安装检具中，保证晶圆保持器结构尺寸的精确性，使之实际安装时能够与溅射机台的结构相匹配，无需返工操作，降低劳动强度和生产成本，客户满意度高。
[0012]以下作为本技术优选的技术方案，但不作为本技术提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本技术的技术目的和有益效果。
[0013]作为本技术优选的技术方案，所述圆环形结构的上部通孔的直径占圆环形结构外径的90～95％，例如90％、91％、92％、93％、94％或95％等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0014]所述圆环形结构的上部通孔的直径是下部通孔直径的1.25～1.8倍，例如1.25倍、1.3倍、1.4倍、1.5倍、1.6倍或1.8倍等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0015]作为本技术优选的技术方案，所述圆环形结构的上部通孔的高度与下部通孔高度的比例为1.5:1～3:1，例如1.5:1、1.75:1、2:1、2.25:1、2.5:1、2.75:1或3:1等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0016]本技术中，所述安装检具的圆环形结构以及内环的阶梯结构均是为了与晶圆保持器的结构保持一致，尤其是上部通孔的直径和高度需要与晶圆保持器一致，不同尺寸的产品对应不同的安装检具，保证产品尺寸的准确性。
[0017]作为本技术优选的技术方案，所述腰形凸起沿所在圆周呈弧形分布，每个腰形凸起旁对应设有一组螺丝孔，一组螺丝孔的数量至少为一个，优选为两个。
[0018]作为本技术优选的技术方案，所述腰形凸起的圆周上还设有沉孔，每个腰形凸起对应一个沉孔，所述沉孔与螺丝孔位于腰形凸起的同一端。
[0019]作为本技术优选的技术方案，所述晶圆保持器放置于安装检具的上部通孔，所述晶圆保持器上的腰形槽对应安装检具上腰形凸起和螺丝孔的位置。
[0020]本技术中，所述安装检具上腰形凸起的设置是为了放置晶圆保持器时，卡入晶圆保持器的腰型槽中，既能够起到固定晶圆保持器的作用，又能够对腰型槽的位置进行检测；螺丝孔的设置也是为了与实际安装情况相对应，保证螺丝旋入后位置能够居中；而设置沉孔同样是为了在安装时能够与螺丝紧密结合，固定位置。
[0021]作为本技术优选的技术方案，所述晶圆保持器还包括腰形槽调节片，晶圆保持器放置于安装检具的上部通孔后，所述腰形槽调节片放置于腰形槽内，位于腰形凸起和螺丝孔的上方。
[0022]本技术中，所述腰型槽调节片属于晶圆保持器的结构组件，在与机台设备装配时，腰型槽调节片可以验证产品的腰型槽及螺丝孔的位置是否准确，而在安装检具中也可起到类似的作用。
[0023]作为本技术优选的技术方案，所述圆环形结构的侧孔分为两类，每一类侧孔在圆周上对称分布。
[0024]作为本技术优选的技术方案，所述安装检具还包括定位销，所述晶圆保持器放置于安装检具的上部通孔后，安装检具上的侧孔与晶圆保持器侧面上的安装孔对应，定位销插入侧孔，将两者相对位置固定。
[0025]本技术中，所述安装检具上的侧孔是为了与晶圆保持器上的安装孔相对应，保证安装孔位置的准确性，而根据安装孔的不同，侧孔可划分为两类，两类侧孔的尺寸不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆保持器的安装检具，其特征在于，所述安装检具的主体呈圆环形结构，所述圆环形结构的中间位置设有通孔，所述通孔分为上部通孔和下部通孔，所述上部通孔的直径大于下部通孔的直径，使得安装检具的内环形成阶梯结构；所述阶梯结构的阶梯平面上设有至少三个腰形凸起，所述腰形凸起均匀位于同一圆周上，所述腰形凸起的圆周上还设有螺丝孔；所述圆环形结构的环形侧壁上设有贯穿外壁和上部通孔内壁的侧孔，所述侧孔的数量至少为三个，沿环形侧壁均匀分布。2.根据权利要求1所述的晶圆保持器的安装检具，其特征在于，所述圆环形结构的上部通孔的直径占圆环形结构外径的90～95％；所述圆环形结构的上部通孔的直径是下部通孔直径的1.25～1.8倍。3.根据权利要求1所述的晶圆保持器的安装检具，其特征在于，所述圆环形结构的上部通孔的高度与下部通孔高度的比例为1.5:1～3:1。4.根据权利要求1所述的晶圆保持器的安装检具，其特征在于，所述腰形凸起沿所在圆周呈弧形分布，每个腰形凸起旁对应设有一组螺丝孔。5.根据权利要求4所述的晶圆保持器的安装检具，其特征在于，所述腰形凸起的圆周上还设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，周浩，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：