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本实用新型提供了一种晶圆保持器的安装检具，所述安装检具的主体呈圆环形结构，所述圆环形结构的中间位置设有通孔，所述通孔分为上部通孔和下部通孔，前者的直径大于后者，使得安装检具的内环形成阶梯结构，阶梯平面上设有至少三个腰形凸起，腰形凸起均匀位于...
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