一种掩膜版框架及掩膜版组件制造技术

技术编号:33349890 阅读:22 留言:0更新日期:2022-05-08 09:53
本申请提供一种掩膜版框架及掩膜版组件,包括框架本体,所述框架本体开设有开窗,所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部,所述安装部用于固定掩膜版,所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。本申请提供的掩膜版框架及掩膜版组件,由于在所述框架本体上开设有至少两个间隔的安装部,每个安装部用于固定一个掩膜版,当所述框架本体与掩膜版配合时,由现有技术的一个框架本体与一个掩膜版配合变成一个框架本体能搭配至少两个具不同开口尺寸的掩膜版使用,也即节省了框架本体的数量,从而节省了掩膜版组件的成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版框架及掩膜版组件


[0001]本申请涉及显示
,尤其涉及一种成膜用的掩膜版框架及包括所述掩膜版框架的掩膜版组件。

技术介绍

[0002]目前,在大尺寸Inline OLED(有机发光二极管)成膜过程中,往往需要两种掩膜版(Mask)进行配合成膜。一种为形成OLED的有机发光层的掩膜版,一种为形成OLED金属阴极层的掩膜版,为保证连续生产性,至少一种类型的掩膜版需要一用一备两套,整条线至少需要4套掩膜版。从而,导致掩膜版需求量巨大,由于掩膜版的特殊材质,决定了掩膜版的单价高,增加了成膜的成本。
[0003]因此,现有技术存在缺陷,急需解决。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种掩膜版框架,能够解决掩膜版的成本过高的问题。
[0005]为解决上述问题,本申请提供的技术方案如下:
[0006]一种掩膜版框架,其包括:
[0007]框架本体,所述框架本体开设有开窗,所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部,所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。
[0008本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版框架,其特征在于,包括:框架本体,所述框架本体开设有开窗,所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部,所述安装部用于固定掩膜版,所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。2.根据权利要求1所述的掩膜版框架,其特征在于,所述安装部为凹槽。3.根据权利要求2所述的掩膜版框架,其特征在于,所述框架本体还包括上表面以及与所述上表面相对的下表面,所述凹槽自所述上表面向所述下表面开设。4.根据权利要求3所述的掩膜版框架,其特征在于,所述下表面开设有至少两个顶针槽,每组顶针槽与一组所述安装部相对应且相连通。5.根据权利要求4所述的掩膜版框架,其特征在于,所述顶针槽的宽度小于对应的安装部的宽度。6.根据权利要求1所述的掩膜版框架,其特征在于,所述掩膜版框架还包括与所述框架本体固定的支撑肋条,所述支撑肋条垮设于所述开窗的相对侧。7.根据权利要求1所述的掩膜版框架,其特征在于,所述掩膜版框架还包括环绕所述开窗且与所述开窗相连通的凹设部。8.一种掩膜版组件,其特征在于,包括:掩膜版框架,且所述掩膜版框架是如权利要求1

【专利技术属性】
技术研发人员:匡友元
申请(专利权)人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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