光学装置制造方法及图纸

本发明专利技术的光学装置(1)具备镜驱动部(11)、加热部(15)、及加热控制部(4)。在镜驱动部(11)中，在可动部(23)设置有镜面(31a)。支承部(22)经由弹性连结部(24)支承可动部(23)。动力产生部(50)使动力产生于可动部(23)。驱动控制部(3)输出使动力产生部(50)动作的驱动信号。可动部(23)在弹性连结部(24)被加热前的状态下，具有较驱动控制部(3)输出的驱动信号的频率更高的共振频率。可动部(23)通过与动力产生部(50)的动力相应的弹性连结部(24)的弹性变形而摆动。加热控制部(4)取得显示可动部(23)的摆动状态的信号，并基于所取得的信号的相位，反馈控制加热部(15)对弹性连结部(24)的加热。反馈控制加热部(15)对弹性连结部(24)的加热。反馈控制加热部(15)对弹性连结部(24)的加热。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学装置


[0001]本专利技术关于一种光学装置。

技术介绍

[0002]已知有具备设置有镜面的可动部的光学装置(例如专利文献1)。在专利文献1，记载有以可动部以共振频率摆动的方式通过驱动信号控制可动部的摆动。[现有技术文献][专利文献][0003]专利文献1：日本专利特开2015
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36782号公报

技术实现思路

[0004]存在因制造偏差引起的个体差及环境温度等，可动部的共振频率与期望者不同的情形。在驱动可动部的驱动信号的频率与共振频率不匹配的情形，有无法在可动部中获得期望的摆动角、及上述可动部的动作不稳定的顾虑。若以与共振频率匹配的方式控制驱动信号的频率，则可在镜中获得良好的振幅。然而，在该构成中，较难以期望的频率使镜移动。
[0005]本专利技术的一形态的目的在于提供一种可以期望的频率且期望的摆动角实现稳定的可动部的摆动的光学装置。[解决问题的技术手段][0006]本专利技术的一形态的光学装置具备镜驱动部、驱动控制部、加热部、及加热控制部。镜驱动部具有可动部、弹性连结部、支承部及动力产生部。在可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学装置，其具备：镜驱动部，具有：可动部，其设置有镜面；弹性连结部，其连接于所述可动部；支承部，其经由所述弹性连结部支承所述可动部；及动力产生部，其使动力产生于所述可动部；驱动控制部，其输出使所述动力产生部动作的驱动信号；加热部，其加热所述弹性连结部；及加热控制部，其控制所述加热部，所述可动部在所述弹性连结部被加热前的状态下，具有较所述驱动控制部输出的所述驱动信号的频率更高的共振频率，且通过与所述动力产生部的动力相应的所述弹性连结部的弹性变形而摆动，所述加热控制部取得显示所述可动部的摆动状态的信号，并基于所取得的信号的相位，反馈控制所述加热部对所述弹性连结部的加热。2.如权利要求1所述的光学装置，其中，所述可动部包含：第1可动部，其设置有所述镜面；及第2可动部，其包围所述第1可动部；且所述弹性连结部包含：第1连结部，其弹性连接所述第1可动部与所述第2可动部；及第2连结部，其弹性连接所述第2可动部与所述支承部。3.如权利要求1或2所述的光学装置，其中，所述加热部加热第1连结部。4.如权利要求1至3中任一项所述的光学装置，其中，所述加热控制部通过所述加热部以第一功率加热所述弹性连结部后，以较第一功率更小的第二功率加热所述弹性连结部。5.如权利要求1至4中任一项所述的光学装置，其中，所述加热部包含：第1加热部，其将第一热量赋予所述弹性连结部；及第2加热部，其将较所述第一热量更小的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩科进也，中村重幸，樱井直人，森永勇树，铃木大几，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：