可移动装置制造方法及图纸

一种可移动装置(13)，包括：包括被配置成反射光的反射镜(102)的可移动单元(103)；包括第一端和第二端的支撑部(104a、104b)，所述第一端连接至可移动单元，所述支撑部被配置成可摆动地支撑可移动单元；以及连接至支撑部的第二端的固定单元(108)，其中所述支撑部包括多个梁单元(115)以及连接所述多个梁单元中的相邻梁单元的连接单元(116)，其中在所述支撑部在预定或给定位置被分成两个部分，并且这两个部分包括较靠近固定单元的第一部分和较靠近可移动单元的第二部分的情况下，所述第一部分中的多个梁单元之中的梁单元与所述第二部分中的多个梁单元之中的梁单元相比具有更高的刚度，并且所述第二部分中的多个梁单元之中的梁单元比所述第一部分中的多个梁单元之中的梁单元长。梁单元长。梁单元长。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可移动装置


[0001]本文中所述的实施例涉及一种可移动装置。

技术介绍

[0002]近年来，随着应用了半导体制造技术的微加工技术的发展，通过硅和玻璃的微制造生产的微机电系统(MEMS)的发展已经取得了进展。
[0003]例如，已知的MEMS装置的一个实例包括通过在晶片上形成设有反射表面和弹性梁的可移动单元而获得的可移动装置，其中通过在弹性梁上叠置薄压电材料而构造的驱动梁被配置成驱动(旋转)该可移动单元(例如参见PTL1)。
[0004]已知的是，二维光学偏转装置和使用该二维光学偏转装置的图像显示装置是用这种可移动装置实现的。

技术实现思路

[0005]技术问题
[0006]为了提高机械驱动灵敏性并利用光偏转器(这种可移动装置的一个实例)获得大扫描角度，能想到增大用作包含在曲折结构中的振动梁的梁单元的长度。但是，在增大用作振动梁的梁单元的长度时，存在整个致动器的自然共振频率降低的问题。因此，机械强度降低，并且容易发生抖动。
[0007]本公开是鉴于上述问题做出的，本公开的目的是提供一种能够减轻自然共振频率的降低并能够获得大扫描角度的可移动装置。
[0008]问题的解决方案
[0009]根据本公开的一个方面的可移动装置包括：
[0010]包括被配置成反射光的反射镜的可移动单元；
[0011]包括第一端和第二端的支撑部，所述第一端连接至所述可移动单元，并且所述支撑部被配置成可摆动地支撑所述可移动单元；以及
[0012]连接至所述支撑部的第二端的固定单元，
[0013]其中所述支撑部包括：
[0014]多个梁单元；以及
[0015]至少一个连接所述多个梁单元的相邻梁单元的连接单元，
[0016]其中在所述支撑部在预定或给定的位置被分成两部分，并且这两部分包括较靠近所述固定单元的第一部分和较靠近所述可移动单元的第二部分的情况下，
[0017]在所述多个梁单元中，所述第一部分中的梁单元与所述第二部分中的梁单元相比具有更高的刚度，并且
[0018]所述第二部分中的梁单元比所述第一部分中的梁单元长。
[0019]本专利技术的有益效果
[0020]利用根据所公开的技术的可移动装置，能减轻自然共振频率的降低，并且能获得
大扫描角度。
附图说明
[0021]图1是示出光学扫描系统的示意图；
[0022]图2是光学扫描系统的硬件配置图；
[0023]图3是控制装置的功能框图；
[0024]图4是光学扫描系统的处理的一个实例的流程图；
[0025]图5是设有抬头显示装置的汽车的示意图；
[0026]图6是抬头显示装置的示意图；
[0027]图7是设有光学写入装置的成像装置的示意图；
[0028]图8是光学写入装置的示意图；
[0029]图9是设有LiDAR装置的汽车的示意图；
[0030]图10是LiDAR装置的示意图；
[0031]图11是激光头灯的构造的示意图；
[0032]图12是示出头戴式显示器的一个实例的示意图；
[0033]图13是示出头戴式显示器的一部分构造的一个实例的示意图；
[0034]图14是封装好的可移动装置的示意图；
[0035]图15是单轴光偏转器的平面图；
[0036]图16是沿着图15的点划线15A
‑
15B截取的横截面图；
[0037]图17是两端支撑型光偏转器的平面图；
[0038]图18是根据第一实施例的光偏转器的平面图；
[0039]图19是根据第一实施例的光偏转器的横截面图；
[0040]图20是根据第一实施例的光偏转器的特性图；
[0041]图21是根据第一实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0042]图22是根据第一实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0043]图23是根据第一实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0044]图24是根据第一实施例的一种变化的包括单个支撑部的光偏转器的平面图；
[0045]图25是根据第一实施例的一种变化的包括三个支撑部的光偏转器的平面图；
[0046]图26是根据第一实施例的一种变化的包括四个支撑部的光偏转器的平面图；
[0047]图27是根据第一实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0048]图28是根据第一实施例的一种变化实施例的光偏转器的平面图；
[0049]图29是沿着图28的点划线28A
‑
28B截取的横截面图；
[0050]图30是沿着图28的点划线28C
‑
28D截取的横截面图；
[0051]图31是根据第一实施例的一种变化实施例的光偏转器的平面图；
[0052]图32是根据第一实施例的一种变化实施例的光偏转器的平面图；
[0053]图33是根据第二实施例的光偏转器的平面图；
[0054]图34是沿着图33的点划线18A
‑
18B截取的横截面图；
[0055]图35是根据第二实施例的光偏转器的特性图；
[0056]图36是根据第二实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0057]图37是根据第二实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0058]图38是根据第二实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0059]图39是根据第二实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0060]图40是根据第二实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0061]图41是根据第二实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0062]图42是根据第二实施例的一种变化的包括单个支撑部的光偏转器的平面图；
[0063]图43是根据第二实施例的一种变化的包括三个支撑部的光偏转器的平面图；
[0064]图44是根据第二实施例的一种变化的包括四个支撑部的光偏转器的平面图；
[0065]图45是根据第二实施例的一种变化的光偏转器的平面图；
[0066]图46是根据第二实施例的一种变化实施例的光偏转器的平面图；
[0067]图47是沿着图46的点划线31A
‑
31B截取的横截面图；
[0068]图48是沿着图46的点划线31C
‑
31D截取的横截面图；
[0069]图49是根据第二实施例的一种变化实施例的在角部具有不同曲率半径的连接单元的示意图；
[0070]图50是根据第二实施例的一种变化实施例的光偏转器的平面图；
[0071]图51是根据第二实施例的一种变化实施例的光偏转器的平面图；
[0072]图52是根据第三实施例的光偏转器的平面图；
[0073]图53是沿着图52的点划线4A
‑
4B截取的横截面图；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种可移动装置，包括：包括被配置成反射光的反射镜的可移动单元；包括第一端和第二端的支撑部，所述第一端连接至所述可移动单元，并且所述支撑部被配置成可摆动地支撑所述可移动单元；以及连接至所述支撑部的第二端的固定单元，其中所述支撑部包括：多个梁单元；以及至少一个连接所述多个梁单元的相邻梁单元的连接单元，其中在所述支撑部在预定或给定的位置被分成两部分，并且这两部分包括较靠近所述固定单元的第一部分和较靠近所述可移动单元的第二部分的情况下，在所述多个梁单元中，所述第一部分中的梁单元与所述第二部分中的梁单元相比具有更高的刚度，并且所述第二部分中的梁单元比所述第一部分中的梁单元长。2.一种可移动装置，包括：包括被配置成反射光的反射镜的可移动单元；包括第一端和第二端的支撑部，所述第一端连接至所述可移动单元，并且所述支撑部被配置成可摆动地支撑所述可移动单元；以及连接至所述支撑部的第二端的固定单元，其中所述支撑部包括：多个梁单元；以及至少一个连接所述多个梁单元的相邻梁单元的连接单元，其中，在所述支撑部在预定或给定位置被分成第一部分和第二部分，并且第一部分较靠近固定单元，第二部分较靠近可移动单元的情况下，在所述多个梁单元中，所述第一部分中的梁单元比所述第二部分中的梁单元长，并且所述第二部分中的梁单元比所述第一部分中的梁单元轻。3.如权利要求1或2所述的可移动装置，其中所述第一部分中的梁单元的厚度大于所述第二部分中的梁单元的厚度。4.如权利要求1至3中任一项所述的可移动装置，其中所述至少一个连接单元包括：连接所述多个梁单元之中的第一部分中的相邻梁单元的第一连接单元；和连接所述多个梁单元之中的第二部分中的相邻梁单元的第二连接单元，其中所述第一连接单元的厚度大于所述第二连接单元的厚度。5.如权利要求1至4中任一项所述的可移动装置，其中所述第一部分中的梁单元的宽度大于所述第二部分中的梁单元的宽度。6.如权利要求1至5中任一项所述的可移动装置，其中所述至少一个连接单元包括：连接所述多个梁单元之中的第一部分中的相邻梁单元的第一连接单元；和连接所述多个梁单元之中的第二部分中的相邻梁单元的第二连接单元，其中所述第一连接单元的宽度大于所述第二连接单元的宽度。7.一种可移动装置，包括：可移动单元；
包括第一端和第二端的支撑部，所述第一端连接至所述可移动单元，并且所述支撑部被配置成可摆动地支撑所述可移动单元；以及连接至所述支撑部的第二端的固定单元，其中所述支撑部包括：多个梁单元；以及至少一个连接所述多个梁单元的相邻梁单元的连接单元，其中，在所述支撑部在预定或给定位置被分成...

【专利技术属性】
技术研发人员：新川瑞季，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：发明
国别省市：