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可移动装置制造方法及图纸
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文档序号:33237430
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一种可移动装置(13),包括:包括被配置成反射光的反射镜(102)的可移动单元(103);包括第一端和第二端的支撑部(104a、104b),所述第一端连接至可移动单元,所述支撑部被配置成可摆动地支撑可移动单元;以及连接至支撑部的第二端的固定...
该专利属于株式会社理光所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社理光授权不得商用。
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