用于MEMS镜的反馈传感器制造技术

一种光学镜组件包括镜，其具有反射表面和与该反射表面相对的后表面。该镜围绕第一轴线或垂直于该第一轴线的第二轴线倾斜。该光学镜组件还包括反馈传感器的倒置发光器件(LED)，其布置成将光发射到镜的后表面上；以及反馈传感器的四个光电二极管，其布置成接收从镜的反射由倒置LED发射的光的后表面产生的反射光。四个光电二极管中的每个设置在由第一轴线和第二轴线限定的四个象限中的不同一个中，并且倒置LED设置在四个光电二极管的中心处。倒置LED设置在四个光电二极管的中心处。倒置LED设置在四个光电二极管的中心处。

【技术实现步骤摘要】
用于MEMS镜的反馈传感器


[0001]本公开涉及一种用于微机电系统(MEMS)镜的反馈传感器。

技术介绍

[0002]在许多应用(例如激光雷达传感器中的光束转向、二维光学扫描)中，可以使用光学镜来引导或偏转光。可以使用微机电系统(MEMS)根据需要倾斜光学镜。此所谓的MEMS镜的定向可能无法精确匹配通过MEMS控制的所需定向。也就是说，现实条件比如温度、冲击和振动可能会阻止给MEMS的给定信号导致基于实验室条件所预期的光学镜的定向。因此，期望提供一种用于MEMS镜的反馈传感器。

技术实现思路

[0003]在一示例性实施例中，一种光学镜组件包括镜，其具有反射表面和与该反射表面相对的后表面。该镜围绕第一轴线或垂直于该第一轴线的第二轴线倾斜。该光学镜组件还包括反馈传感器的倒置发光器件(LED)，其布置成将光发射到镜的后表面上；以及反馈传感器的四个光电二极管，其布置成接收从镜的反射由倒置LED发射的光的后表面产生的反射光。四个光电二极管中的每个设置在由第一轴线和第二轴线限定的四个象限中的不同一个中，并且倒置LED设置在四个光电二极管的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学镜组件，包括：镜，其具有反射表面和与该反射表面相对的后表面，其中该镜配置为围绕第一轴线或垂直于该第一轴线的第二轴线倾斜；反馈传感器的倒置发光器件(LED)，其布置成将光发射到镜的后表面上；以及反馈传感器的四个光电二极管，其布置成接收从镜的反射由倒置LED发射的光的后表面产生的反射光，四个光电二极管中的每个设置在由第一轴线和第二轴线限定的四个象限中的不同一个中，并且倒置LED设置在四个光电二极管的中心处。2.根据权利要求1所述的光学镜组件，还包括致动器，其配置为基于提供给致动器的控制信号使所述镜围绕所述第一轴线或第二轴线倾斜。3.根据权利要求2所述的光学镜组件，其中，每个致动器是微机电系统。4.根据权利要求2所述的光学镜组件，还包括控制器，其配置为向所述致动器提供所述控制信号，以使所述镜以围绕第一轴线的期望倾斜角和围绕第二轴线的期望倾斜角定向。5.根据权利要求4所述的光学镜组件，其中，所述控制器配置为获得由所述四个光电二极管中的每个接收的反射光的强度的指示，所述控制器配置为基于从四个光电二极管接收的反射光的强度确定所述镜的实际定向，其包括围绕第一轴线的实际倾斜角和围绕第二轴线的实际倾斜角，从所有四个光电二极管接收的反射光的强度用于确定围绕第一轴线的实际倾斜角和围绕第二轴线的实际倾斜角，所述控制器配置为将定向校正确定为围绕第一轴线的实际倾斜角与期望倾斜角之间的差和围绕第二轴线的实际倾斜角与期望倾斜角之间的差，并且所述控制器配置为基于定向校正向所述致动器提供校正控制信号，以实现围绕第一轴线的期望倾斜角和围绕第二轴线的期望倾斜角。6.一种组装光...

【专利技术属性】
技术研发人员：SA德尔盖佐，V奎恩林，
申请(专利权)人：通用汽车环球科技运作有限责任公司，
类型：发明
国别省市：