光扫描系统及光扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术的光扫描系统具备：反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。动角的变化。动角的变化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光扫描系统及光扫描装置


[0001]本公开涉及光扫描系统及光扫描装置。

技术介绍

[0002]已知有光扫描装置，其具备反射镜器件和磁铁，该反射镜器件具有：第一可动部，其设置有反射镜；第二可动部，其以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴摆动的方式支撑第一可动部；以及支撑部，其以反射镜能够以沿着Y轴的第二轴为中心轴摆动的方式支撑第二可动部，该磁铁产生对设置于第一可动部的第一驱动用线圈、及设置于第二可动部的第二驱动用线圈发挥作用的磁场(例如，参照专利文献1)。在这种光扫描装置中，有时使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动。此外，对于以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜，线性模式是指，输入第一驱动用线圈的电流信号的频率低于以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜的共振频率，且以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜的摆动角与该电流信号的电流值成比例的模式。另外，对于以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜，线性模式是指：输入第二驱动用线圈的电流信号的频率低于以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜的共振频率，且以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜的摆动角与该电流信号的电流值成比例的模式。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2011
‑
33980号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]在将上述那样的光扫描装置用于例如3D打印机、光学相干断层扫描仪、激光扫描显微镜等的情况下，需要将相对于目标摆动角的误差抑制在例如
±
0.1
°
以下。
[0008]因此，本公开的目的在于，提供能够在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下实现高精度的动作的光扫描系统及光扫描装置。
[0009]用于解决问题的手段
[0010]本公开的一方面提供一种光扫描系统具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部的第二可动部、以及以反射镜能够以沿着与X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于第一驱动用线圈及第二驱动用线圈的磁场；温度传感器，其测量反射镜器件及磁铁的使用温度；以及运算部，其将用于使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入第一驱动用线圈，并且将用于使反射镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入第二驱动用线圈，运算部：获取第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率；从温度传感器获
取使用温度；并且基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。
[0011]本专利技术人等发现：在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下，相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，对每个个体(即，对每个反射镜器件及磁铁的组合)不一致；以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离，对每个个体不一致；以及相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化主要由于磁铁的温度特性而产生。因此，通过如上述那样构成光扫描系统并如上述那样生成第一电流信号及第二电流信号，能够使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动，并且能够使反射镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动。因此，根据该光扫描系统，能够在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下实现高精度的动作。
[0012]也可以为，本公开一方面的光扫描系统还具备：存储部，其存储第一数据、第二数据及第三数据，运算部从存储部获取第一数据、第二数据及第三数据。由此，能够实现系统结构的简化。
[0013]也可以为，本公开一方面的光扫描系统还具备：输入接收部，其接收第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率的输入，运算部从输入接收部获取第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率。由此，使用者能够容易地设定第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率。
[0014]在本公开一方面的光扫描系统中，也可以为，第二数据是在将第二轴看作Y轴的情况下，用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离的数据，运算部，以修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离的方式，生成第二电流信号。由此，能够减轻运算部生成第一电流信号及第二电流信号时的处理负荷。
[0015]本公开的一方面的光扫描装置具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部的第二可动部、以及以反射镜能够以沿着与X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于第一驱动用线圈及第二驱动用线圈的磁场；以及运算装置，其将用于使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入第一驱动用线圈，并且将用于使反射镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入第二驱动用线圈，运算装置：获取基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、以及第一数据的数据，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化；获取反射镜器件及磁铁的使用温度；并且基于数据、使用温度、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜
从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。
[0016]根据该光扫描装置，由于与上述理由一样的理由，能够在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下，实现高精度的动作。
[0017]也可以为，本公开一方面的光扫描装置还具备测量使用温度的温度传感器，运算装置从温度传感器获取使用温度。由此，能够获取适当的使用温度。
[0018]也可以为，本公开一方面的光扫描装置还具备存储第二数据及第三数据的存储装置，运算装置从存储装置获取第二数据及第三数据。由此，能够实现装置结构的简化。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光扫描系统，其中，具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场；温度传感器，其测量所述反射镜器件及所述磁铁的使用温度；以及运算部，其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈，并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈，所述运算部：获取所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、以及所述第二目标摆动角及所述第二目标频率；从所述温度传感器获取所述使用温度；并且基于所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、所述第二目标摆动角及所述第二目标频率、所述使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成所述第一电流信号及所述第二电流信号，其中，所述第一数据用于修正相对于输入所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的所述反射镜的摆动角的变化，所述第二数据用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离及以所述第二轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述X轴的偏离中的至少一方，所述第三数据用于修正相对于所述使用温度的变化的所述反射镜的摆动角的变化。2.根据权利要求1所述的光扫描系统，其中，还具备：存储部，其存储所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据，所述运算部从所述存储部获取所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据。3.根据权利要求1或2所述的光扫描系统，其中，还具备：输入接收部，其接收所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、以及所述第二目标摆动角及所述第二目标频率的输入，所述运算部从所述输入接收部获取所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、以及所述第二目标摆动角及所述第二目标频率。4.根据权利要求1～3中任一项所述的光扫描系统，其中，所述第二数据是在将所述第二轴看作所述Y轴的情况下，用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的...

【专利技术属性】
技术研发人员：河冈秀宜，藁科祯久，北浦隆介，铃木大几，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：