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本发明的光学装置(1)具备镜驱动部(11)、加热部(15)、及加热控制部(4)。在镜驱动部(11)中，在可动部(23)设置有镜面(31a)。支承部(22)经由弹性连结部(24)支承可动部(23)。动力产生部(50)使动力产生于可动部(23)...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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